光学式ガス分析計 kljsfdl
Augent® OPG550
光学式プラズマ真空計
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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INFICONのAugent®光学プラズマゲージは、真空監視のためのコンパクトでインテリジェントなソリューションです。
Augentは2つのセンサ技術を1つのコンパクトな装置にまとめ、1 x 10-7 から5 mbarまでのガスタイプの監視と、1 x 10-7 mbarから大気圧までの全圧を同時に計測することが可能です。Augentは、20mbar以上のプラズマをオフにするための内蔵ピラニセンサーで保護されています。高速光学測定原理により、原理的にあらゆる種類のガスを検出することができます。
利点
- 高速リーク検出によるチャンバーリークテスト
- 生産性と歩留まりの向上
- 長寿命、フィラメント焼けなし、エアインラッシュ保護
- 耐プロセス化学性
- スマートアルゴリズムによる容易な統合
- コンパクト設計と小さなフットプリント
- 信頼性と素早いスタートアップ
ステップバイステップのチュートリアルで、INFICON Augent®光プラズマゲージのセンサを自分で簡単にクリーニングする方法をご覧ください。
仕様
| Measurement range N2 | mbar Torr | 1×10-7 … 5
|
| Accuracy total pressure reading N2 | ||
| 1 x 10-7 ... 100 mbar | % of reading | 30 |
| 100 ... 1000 mbar | % of reading | 50 |
| Repeatability total pressure reading N2 | ||
| 1 x 10-7 ... 100 mbar | % of reading | 5 |
| Temperature | ||
| Operation (ambient) | °C | +5 … +50 |
| Storage | °C | -20 … +70 |
| Bakeout at flange with electronic unit | °C | <80 |
| Bakeout at flange w/o electronic unit | °C | <120 |
| Supply voltage | ||
| At gauge | V (dc) | +14.5 … +30 |
| Ripple | V (p-p) | <1 |
| Power consumption | W | <5 |
| Fuse to be connected | AT | 1 |
| Materials exposed to vacuum | ||
| General | General | Al2O3, Stainless seel 1.4435 |
| Anode | Anode | Molybdenum |
| Ionization chamber | Ionization chamber | Titanium, stainless steel 1.4016 |
| Ignition aid | Ignition aid | Stainless steel 1.4310 |
品番
アクセサリー
スペアパーツ
| 品番 | 商品説明 |
| 3OF0-011-010P | OPG550 TI,LC,9DSub,16KF |
| 3OF0-013-010P | OPG550 TI,LC,9DSub,16CF-R |
| 3OF0-01E-010P | OPG550 TI,LC,9DSub,8-VCR f |
| 3OF1-016-010P | OPG550 TI,LC,9DSub,25KF |
| 3OF1-017-010P | OPG550 TI,LC,9DSub,40KF |
| 3OF1-01Q-010P | OPG550 TI,LC,9DSub,40CF-F |
| 品番 | 商品説明 |
| 303-333 | Diagnostic cable for Diagnostic Port (RS232), 2 m |
| 351-051 | 24 V (dc) power supply with analog out and RS232 line |
| 351-052 | Optical window cleaning kit (for gauges with PN 3OF1-xxx-xxxx) |
| 品番 | 商品説明 |
| 351-594 | Replacement sensor DN ISO 16 KF |
| 351- 595 | Replacement sensor DN 16 CF-R |
| 351-597 | Replacement sensor DN ISO 25 KF |
| 351-598 | Replacement sensor DN ISO 40 KF |
| 351-599 | Replacement sensor DN ISO 40 CF-F |
| 351-596 | Replacement sensor 8 VCR female |
| 351-055 | Spare ion chamber TI - OPG550 |
| 351-995 | MxG40x/50x, OPG550 Spare parts ignition aid (10) |
ダウンロード
取扱説明書
