RFセンシング技術
Sion™
非侵襲的なクランプオンRFディテクタによりiPVD、PECVDおよびエッチングにおいて高速なアーク検出を実現
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Request
Your configuration has been successfully sent!
ウェハ損失と歩留まりを改善
プラズマプロセスでアーク放電が発生すると、ターゲットやチャンバに損傷が生じ、基盤の損傷と粒子の発生につながります。固有のサイズが小さくなるとともに、マイクロエレクトロニクス装置はますますアークによる損傷の影響を受けやすくなります。アーク放電は、イオン化物理気相蒸着 (iPVD) 、プラズマ強化化学気相蒸着 (PECVD) 、エッチングなど、プラズマを利用するどのプロセスでも発生し得ます。INFICON Sionアークディテクターは、非常に重要な第一防衛ラインとなります。Sionはマイクロアークを迅速に検出して、重大な損傷や破損が生じる前に手段を講じることを可能にします。システムには、リアルタイム検出機能と、プラズママイクロアークイベントの分析機能が備わっています。
機能
- 既存のツールセットを容易に改装できる
- 非侵襲的なセンサー取り付け
- 高速データ収集 (250KHz)
- FabGuardでデータマネジメントを統合
本製品は以下のマーケットで使用されています。
