質量分析計

Transpector® XPR 3+

圧力強化範囲RGA-Sensorizationによる革新

Transpector-XPR3+

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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急速なプロセス変更の監視とコントロール

新しいTranspector XPR 3+残留ガス分析器(RGA)は、業界をリードする測定スピードを提供し、現在の半導体とディスプレイ製造に必要な急速なプロセス変更を監視とコントロールします。Transpector XPR 3+は、元の位置でのエア漏れ、ガス純度、炭化水素、汚染監視に理想的です。Transpector XPR 3+のリアルタイム測定は、上昇テストの周期率と比較して、はるかに優れた製品保護を提供します。

 

ツール使用可能時間を最大にすることで収益性を拡大する

Transpector XPR 3+ RGAは、スパッタリング圧範囲アプリケーションの四重極と二重イオンソースセンサーということを証明されるフィールドです。圧力変換危機は必要なく、長寿命のコンポーネントで、製品の組み合わせを急速に検出および診断する能力があり、ツールの有効性、製品のスループット、産出高を最大にします。センサーはポンプの必要なく、高真空から20 mTorrまで継続して動作可能です。Transpector XPR 3+二重イオンソースのチャンバーは、イオンソース感度を維持して、センサーの平均時をメンテナンスまで広げるために、コーティングを制限するように設計されています。

利点

  • 高真空からPVDプロセス圧力まで高度のエアリークおよび汚染検出によりリアルタイムなウェーハとパネルの保護
  • 迅速かつ信頼できるチャンバー品質でPMの効率とツール使用可能時間を最大にします
  • より長い寿命、汚染に対する耐久、二重イオンソース設計で所有の合計コストを最小にします。ポンプの必要のない20のmTorrまで監視します。低圧力EMバリアントはコストに敏感な選択肢を提供します
  • 強力なデータ収集と同期を通してシームレスな素晴らしい統合と信頼できる停止
  • 調整されたレシピの最適化により独自の製造能力を強化します
  • 専門家から即時にオンサイトで回答し重大なプロセスニーズを保護します

標準的なアプリケーション

  • PVDとスパッタリングプロセスモジュール
  • プレクリーンモジュール
  • 非クラスターのPVD装置
  • クランプされたデガスモジュール

仕様

質量ポジション安定性<0.1 amu over 24 hours
感度 (FCモード)≥4E-7 amps/Torr (3E-7 amps/mbar)
感度 (定格)≥8E-3 amps/Torr (3E-3 amps/mbar)
最小検出可能部分圧力 (FCモード)≤1E-9 Torr (1.3E-9 mbar)
最小検出可能部分圧力 (EMモード)≤6E-12 Torr (8E-12 mbar)
最大動作圧力(FCまたはEMモード)20 mTorr (2.6E-2 mbar)
最大動作圧力(リニア操作)10 mTorr (1.3E-2 mbar)
本製品は以下のマーケットで使用されています。
Analytical-Instrumentation-Navi
分析機器

分析機器市場は、高度に洗練されたツールで、幅広い用途と市場のユーザーをサポートしています。

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Battery-Market-Navi
バッテリー

電極の生産からエンドオブラインテストまで

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Display-Navi
ディスプレイ

INFICONは最先端の技術をサポートし、最高品質のディスプレイ製品を実現します。

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energy-market-navi
エネルギー

従来の石油・ガス生産は、過去数十年の間に需要が増加し、人口増加、都市化、発展途上国の消費者中間層によって推進されています。

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Industrial-Manufacturing-Navi-2
産業用製造業

クリーンな環境を保証するため真空技術は頻繁に使用され、様々なプロセスでは不可欠な要素とされています。

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Mobility_and_Automotive-Navi
モビリティ&オートモーティブ

進化する業界において信頼性の高いリークテストを実現 自動車業界の変化に伴い、リークテストがますます重要になってきています。

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Pharma_and_Medical-Navi
製薬・メディカル

生産性を向上させ、製薬会社のコンプライアンス標準と品質要件を満たすお手伝いをします

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Research-and-Academia-Navi
研究・アカデミア

基礎研究を通じて、宇宙の謎を解き明かす。明日のテクノロジーを支えるイノベーションを、今、お届けします。

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Semiconductur-IDM-and-Foundry-Navi
半導体IDM&ファウンドリ

幅広いアプリケーションをサポートするために作られたセンサは、製品の安全性、歩留まりの向上、そして最大の生産性を保証します。

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Vacuum_Coating-Navi
真空成膜

真空コーティングの市場は、光学だけでなく、わずか10年前にはほとんど想像もできなかった分野、産業、フィルム層へと急速に拡大しています。

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