センサー＆フィードスルー
Easy Rate Single Sensor
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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Easy Rateシングルセンサは、コストを最小限に抑えながら、生産性を最大化できます。これらのセンサは、センサ寿命を長く、メンテナンスを少なくすることにより可用性を最大化します。初期投資と総所有コストも最小なので、生産コストも最小限に抑えられます。現場で簡単に交換できる部品を使用している、信頼性の高いセンサです。
膜厚監視の最もコスト効率のよいソリューションを提供する、 INFICON Easy Rateシングルセンサは、標準と直角向きのものが利用可能です。また、標準チューブフィッティング付き、またはフィッティング無しのフィードスルーを含めるように構成できます。
注：Easy Rateシングルセンサは外径4.8 mm (3/16 in.) の水冷却チューブを使用します。 Ultra-Torr装備フィードスルーとは互換性がありません。外径 4.8 mm (3/16インチ)水冷却チューブで標準フィードスルーに溶接するためにチュービングアダプターが必要です。
機能
- Minimum investment with lowest upfront cost
- Lowest total cost of ownership from extended sensor life
- Maximum throughput with less maintenance
- Easy installation
- Available in standard and right angle configurations
- Optional shutter available
- Sensor / Feedthrough combinations available with or without bored-through tube fittings
仕様
| 最小水流での最大動作等温環境温度 | 400° C |
| 振動子交換 | Front loading; self-contained package for ease of exchange |
| Water Tubes | S-304, 4.76 mm (0.188 in) OD x 0.51 mm (0.020 in.) wall thickness seamless stainless steel tubing |
| Feedthrough Specifications-1 in. Bolt | |
| 材料 | 304 stainless steel, Teflon®, ceramic, beryllium nickel, VITON® |
| 温度 | Operational environment to 300° C with water cooling or 165° C without |
| マウンティング | 1.015 in. ±0.010 in. diameter aperture |
アクセサリー
消耗品
スペアパーツ
| Name | Description |
| Easy Rate Sensor Feedthroughs | Easy Rate Sensor Feedthroughs |
| Name | Description |
| Quartz Monitor Crystals | Quartz Monitor Crystals |
| Part Number | Description |
| 784-205-G1 | Crystal Retainer Assembly |
| 784-204-G1 | Crystal Holder Assembly |
| 784-403-P1 | Crystal Finger Spring |
| 784-404-P1 | Retaining Ring |
| 784-300-P1 | Crystal Holder |
| 784-405-P1 | Holder Finger Spring |
| 750-174-P2 | Female coax |
| 080-011-P3 | SCREW 0-80 x .125 LG SLOT PAN HD SS GP |
| 080-013 | #0-80 Split washer |
| 784-209-G1 | Shutter Kit, Single (Unassembled Parts) |
| 784-305-P1 | Easy Rate Single Sensor Shutter |
| 784-206-G1 | Easy Rate Sensor Actuator Assembly |
| 784-306-P1 | Easy Rate Sensor Actuator Clamp |
| 084-054S | Split Washer #4 Stainless Steel Spare |
| 084-027 | Socket Screw |
| 783-500-023 | In-vacuum cable, 25.4 cm (10 in.) |
| 783-500-024 | In-vacuum cable, 76.2 cm (30 in.) |
ダウンロード
3Dファイル
本製品は以下のマーケットで使用されています。
