FabGuard®
ASG-100
安全方向スイッチ
サブファブとプロセスデータの統合から安全にベネフィットを実現する。
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半導体製造という厳しい環境において、SEMI S2ガイドラインは、装置が重要な環境・健康・安全要件を満たすことを保証する基準を定めています。この準拠は、人、装置、施設の安全を確保するだけでなく、ファブが確信を持って稼働できることを保証します。
FabGuard® ASG-100 フェイル・トゥ・セーフスイッチはINFICON FabGuardソフトウェアとシームレスに統合され、SEMI S2認証ソリューションによりファブがサブファブシステムや装置を遠隔で安全に制御することを可能にします。
このフェイル・トゥ・セーフ遠隔スイッチは、FabGuard制御ソフトウェアが対象装置との通信を喪失した場合でも、規制対象外の有害ガスや化学物質（CO、CO2、NOxなど）を環境に放出することなくシステムを稼働させ続けるよう設計されています。
ASG-100により、ファブはプロセス制御を改善し、潜在的な影響を明確に把握できます。この情報をもとに、ユーザーはプロセスツールの状態に基づいてサブファブシステムの停止タイミングを判断でき、温室効果ガスの高コストな消費を削減できます。ASG-100をFabGuard Facilities Monitorと組み合わせて処理システムを安全に制御するユーザーは、需要に応じて処理システムをトグルすることで、燃料を約50%節約しています。
利点
- SEMI S2準拠を維持
- 装置稼働率を最適化
- 有害ガスおよび化学物質の放出を防止
- 歩留まりを向上
- 全装置タイプおよびプラットフォームにわたり均一なサブファブ制御ソリューションを獲得
- 燃料および酸化剤の消費量を大幅に削減
業界標準準拠
FabGuard ASG-100 フェイル・トゥ・セーフスイッチは、CEおよび以下の規格への適合が認証されています：
- ISO 12100
- EN ISO 13849-1
- EN ISO 1349-2
- IEC 61010-1
- SEMI S2-0821
- SEMI S10-1117
SEMI S2認証は、以下の規格と組み合わせて使用する場合にのみ有効です： FabGuard Controller.
特徴
- 遠隔操作可能なサブファブシステム
- プラットフォーム非依存
- FabGuardソフトウェアとのシームレスな統合
- 自動安全モード移行
- 多様な設置オプション
- LEDによる視認性の高いアラーム表示
- 最終アラーム発生時刻のタイムスタンプ
- アラーム発生後の手動リセット用リセットボタン
