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水晶式膜厚測定 基礎講座

膜厚計の基礎的な内容となります。初心者でも分かりやすく説明いたします。

12 7月 2024 | 5:00 AM (UTC +2)
1時間
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SMART-Spray, I·BOOST, SPRAY-Check

Smart essentials for intelligent leak detection

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60 minutes
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Temperature Compensation for QCMs

Quartz crystal microbalance (QCM) technology has been used for decades to control deposition rate and thickness for the most complex processes seen in the ophthalmic, optical, display, and solar markets. INFICON has recently made a new advancement in QCM technology to address a problem seen across all of these industries related to QCM temperature effects. Thermal shock can cause QCM thickness errors which can decrease yield and increase manufacturing costs if temperature is not accounted for correctly.

Temperature impacts the frequency measurement and can create false mass readings. Thin film deposition controllers currently on the market have no good way of distinguishing frequency shifts related to mass from frequency shifts related to temperature, resulting in thickness errors and poor PID control. This can be detrimental to complex coating processes due to the low deposition rates and incredibly thin layers required. Thermal shocks can occur at any point in a deposition process and can cause unnecessary PID-loop corrections, triggering non-uniform deposition in respect to time. This means that the quality throughout the bulk of the material is inadequate. For very thin films, the thickness termination may not be at the real intended thickness because the process time window is small compared to the time allowed for a QCM to recover from a thermal shock event.

INFICON has patented a new temperature compensation technique for SC-cut crystals to remove the effects of temperature variation on the QCM without the need for additional hardware or custom and expensive sensors.

Please join us for the ‘Temperature Compensation for QCMs’ webinar, hosted by Sheldon Wayman, Product Engineer for INFICON Inc.

20 minutes
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Air Sampling with HAPSITE CDT

HAPSITE CDT provides versatility for military, civilian and hazardous response teams to identify and quantify narcotics, Chemical Warfare Agents (CWA), Fourth Generation Agents (FGA), explosives and toxic industrial chemical threats on-site to develop critical health risk assessments, quickly.  The new handheld cartridge-based sampling system allows users to carry lighter equipment, quickly deploy and get multiple samples analyzed onsite.  This webinar reviews air sampling using the HAPSITE CDT.

16 minutes
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ELT Vmax

Maximize Efficiency in full automated battery mass production

19 minutes
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QCMs and Thin Film Processes in Semi

QCM use in the semiconductor industry for processes like ALD, E-beam, resistive source and sputtering.

22 minutes
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リークディテクタ 基礎講座

リークディテクタ の基礎的なところから解説します。

12 4月 2024 | 5:00 AM (UTC +2)
1時間
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質量ガス分析計 基礎講座

質量ガス分析計 を基礎的なところから解説いたします。

13 9月 2024 | 5:00 AM (UTC +2)
1時間
日本語
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真空計 基礎講座

真空計の種類、構造等 基礎から丁寧にご説明いたします。
 

08 11月 2024 | 5:00 AM (UTC +2)
1時間
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The INFICON ACADEMYは、 革新的な測定テクノロジー、重要なプロセス用のセンサーテクノロジ、および今日のスマートマニュファクチャリング/インダストリー4.0ソフトウェアソリューションに関する知識を広げるのに役立ちます。