前駆体モニタリング用SemiQCM™ CRセンサー

高精度な膜厚レートモニターで半導体プロセスの収益性の向上に貢献します

SemiQCM™ CRセンサは化学的に不活性なセンサであり、最も過酷なCVDまたはALDチャンバに設置することが可能です。SemiQCM CRはプリカーサモニタリングシステムの1つで、他のコンポーネントはIMM-200とFabGuard（バージョン19.12.00-aまたはそれ以上）です。

SEMIプロセスモニタリングは半導体アプリケーションにおいて、フォアラインやチャンバー排気中のプリカーサーの量をモニタリングすることにより、エンドポイントの検出や故障の除去に使用することができます。in situ QCMを使用することで、安価にプロセスモニタリングを実現し、半導体プロセスの収益性を向上させることができます。

プリカーサをウェハに供給できない不具合は、限りなく無駄なウェハを出すことなく検出することが可能です。

特徴

10HzでモニターされるQCMデータ
FabGuardはQCMデータをツール状態とプロセスステップに相関させます。
デポジションまたはエッチ速度の精密な測定
サブモノレイヤー厚さ測定のための感度と精度

利点

リアルタイム、in situプロセスモニタリング
オーバーエッチングの防止、チャンバークリーニングエンドポイントの特定
装置またはプロセス状態の不具合の特定

標準的なアプリケーション

半導体製造

仕様

最高温度	200°C

センサーヘッドサイズ（最大外形）	15 mm O.D. x 39.2 mm (0.59 in. O.D. x 1.54 in.)

素材
SemiQCM CR本体とホルダー	6061アルミニウム
SemiQCM CRスプリング	ベリリウムニッケル
SemiQCM CRナットと導体チューブ	インコネル625
SemiQCM CR その他の機構部品	ニッケル200、アルミニウム、またはインコネル625
絶縁体	真空中で>99%Al2O3: Teflon®を他の場所で使用。
ワイヤー	1.Ni（真空中） 2. NiメッキCu（その他） 3.

仕様の詳細はこちらからダウンロードできます。

消耗品

品番	商品説明
750-7053-G1S	8 mm CR Crystal Holder Assembly with Alloy Crystal Installed
750-7053-G2S	8 mm CR Crystal Holder Assembly with Alumina Crystal Installed
750-7053-G3S	8 mm CR Crystal Holder Assembly with Yttria Crystal Installed
750-7055-G1S	Crystal Holder, Finger Spring, and Retainer Spring Spare Assembly
750-1089-G10	SENSOR CRYSALS, 6 MHZ, ALLOY, 8 mm, 10 crystals
750-1127-G5	SENSOR CRYSTALS, 6 MHz, ALUMINA, 8 mm, 5 crystals
750-1128-G5	SENSOR CRYSALS, 6 MHZ, YTTRIA, 8 mm, 5 crystals

スペアパーツ