センサー＆フィードスルー
前駆体モニタリング用SemiQCM® CRセンサー
優れたプロセスを繰返し可能にする
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高精度な膜厚レートモニターで半導体プロセスの収益性の向上に貢献します
SemiQCM CRセンサは化学的に不活性なセンサであり、最も過酷なCVDまたはALDチャンバに設置することが可能です。SemiQCM CRはプリカーサモニタリングシステムの1つで、他のコンポーネントはIMM-200とFabGuard（バージョン19.12.00-aまたはそれ以上）です。
SEMIプロセスモニタリングは半導体アプリケーションにおいて、フォアラインやチャンバー排気中のプリカーサーの量をモニタリングすることにより、エンドポイントの検出や故障の除去に使用することができます。in situ QCMを使用することで、安価にプロセスモニタリングを実現し、半導体プロセスの収益性を向上させることができます。
プリカーサをウェハに供給できない不具合は、限りなく無駄なウェハを出すことなく検出することが可能です。
特徴
- 10 HzでモニターされるQCMデータ
- FabGuardはQCMデータをツール状態とプロセスステップに相関させます。
- デポジションまたはエッチ速度の精密な測定
- サブモノレイヤー厚さ測定のための感度と精度
利点
- リアルタイム、in situプロセスモニタリング
- オーバーエッチングの防止、チャンバークリーニングエンドポイントの特定
- 装置またはプロセス状態の不具合の特定
標準的なアプリケーション
- 半導体製造
仕様
| 最高温度 | 200°C |
| センサーヘッドサイズ（最大外形） | 直径23.9 mm × 長さ29.2 mm（直径0.94インチ × 長さ1.15インチ） |
| センサーの長さ（真空中） | 50–150 mm (1.97–5.91 in.) |
| 取り付けフィードスルー | ISO KF/CF フランジ |
| 素材 | |
| 本体・ホルダー | アルミニウム |
| スプリングス | ベリリウムニッケル |
| 同軸線 | 外径6.4mm（0.250インチ）、ニッケル625 |
| その他機械部品 | ニッケル200、アルミニウム、ニッケルC276 |
| 絶縁体 | 真空中で>96%Al2O3: Teflon®を他の場所で使用。 |
| ワイヤー | 真空中のNi、NiメッキされたCu 他 |
| ブレイズ | 真空プロセス高温用NiCr合金 |
| クリスタル | 直径14.0mm（0.551インチ）。 |
消耗品
| 品番 | 商品説明 |
| 750-1090-G10 | SCカットセンサークリスタル、合金製、10個入りパック |
| 750-1137-G5 | SCカットセンサークリスタル、イットリア製、5個入りパック |
| 750-1138-G5 | SCカットセンサークリスタル、アルミナ製、5個入りパック |
スペアパーツ
| 品番 | 商品説明 |
| 750-7046-G1S | 14mm CR クリスタルリテーナー組立部品（スペア） |
| 750-7074-G1S | 14mm CR ロッキングクリスタルホルダー（スペア） |
| 750-7075-G1S | 14mm CR ロッキングセンサーボディ組立部品（スペア） |
| 750-7085-G1S | 14mm CR クリスタルホルダー組立部品（スペア、イットリア製） |
| 750-7085-G2S | 14mm CR クリスタルホルダー組立部品（スペア、アルミナ製） |
| 750-7085-G3S | 14mm CR クリスタルホルダー組立部品（スペア、合金製） |
本製品は以下のマーケットで使用されています。
