UL3000 Fab Series
ULTRATEST ™ センサー技術
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
半導体アプリケーションにおけるリークチェックのニーズに合わせて特別に設計されました。
柔軟性、機動性、高速起動、高感度、高速かつ高精度なテスト結果、信頼性を特徴としています。
- エアポンプスピードが速いため、ポンプ停止（排気）時間が短縮されます。
- 低メンテナンスのルーツラフティングポンプにより、総所有コスト（TCO）が削減されます。
- HYDRO-Sソフトウェアが水蒸気バックグラウンドを除去するため、リークチェックを早期に開始し、敏感な測定範囲に素早く到達することが可能
- UL3000 Fab ULTRAでは、実績あるスニファーラインSL3000（最大10m長）を使用してスニファー能力を向上させることもできます。SL3000には独立した接続ポートがあるため、真空吸入口への接続は必要ありません。
迅速な結果
低メンテナンスの真空ポンプを使用した改良型真空システムにより、大気圧からリークを検出することができます。堅牢な質量分析計システムにより、長時間の稼働と低メンテナンスコストを実現します。
回転式ディスプレイとリモートコントロール可能なユーザーインターフェイス
新しいタッチスクリーンディスプレイは、遠距離からでもテスト結果やステータス情報を表示します。ユーザーガイド付きのメニュー構造により、経験の浅いオペレーターでも簡単に操作できます。スマートフォンやタブレット端末でUL3000 Fab (ULTRA)をワイヤレスでコントロールできます。プッシュボタンで試験結果を記録・保存し、他の記憶媒体に転送してさらに分析することができます。
スリムなデザインで高い操作性を実現
低重心、大径キャスター、人間工学に基づいたハンドル、スリムな筐体により、狭い場所での移動が可能です。
利点
- 10-9～10-12 mbar-l/sの範囲で高速測定を行うI-CALソフトウェア・アルゴリズムで時間を短縮
- 高い測定感度を維持しながら、バックグラウンドの高速抑制のために改良されたインテリジェント機能を持つI-ZERO 2.0を使用した最も効率的なリークチェック
- 真空およびスニファーリークサーチに適用可能
- 素早い排気と応答時間によりリークチェック作業を最低限に抑制
- スリムなデザインによる簡単な操作性で時間を節約
- 堅牢なイオンソース（3年保証）とカウンターフロー真空システムによって可能になった低い総所有コスト（TCO）
- フルカラー高解像度回転式ディスプレイによる
- 使いやすい操作ガイド付きHMI
- UL3000 Fab ULTRA:UL3000 Fab ULTRA：ルーツポンプの高いエアポンプスピードにより、より速いポンプダウン（排気）時間
- UL3000 Fab ULTRA：低メンテナンスのルーツラフィングポンプにより、低い総所有コスト（TCO）を実現します。
- UL3000 Fab ULTRA：リークディテクターは、定評あるスニファーラインSL3000（長さ10mまで）を使用することによって、スニファー能力も向上しています。SL3000は独立した接続ポートを備えているため、真空吸入口への接続は不要です。
標準的なアプリケーション
- 半導体工場
- フラットパネルディスプレイ製造
- 太陽電池製造
- ガラス・ウェブ（Roll to Roll）コーティング
- 一般的な真空コーティングとアプリケーション
仕様
| 粗引きポンプの最高送液速度 | m³/h | >30 |
| ヘリウム排気速度（高感度モード ULTRA） | L/s | 4 |
| 外形寸法図（LxWxH） | mm in. | 1050x472x987 42x21x34 |
| その他の機能 | 最高速の空気ポンプ、HYDRO-S、SL3000用スニッファラインポート、バキュームホースホルダー | |
| 粗引きポンプの最高送液速度 | m³/h | >36 |
| ヘリウム排気速度（高感度モード ULTRA） | L/s | 4 |
| 外形寸法図（LxWxH） | mm in. | 1050x472x987 42x21x34 |
| その他の機能 | 最高速の空気ポンプ、HYDRO-S、SL3000用スニッファラインポート、バキュームホースホルダー | |
| 550-260 | UL3000 Fab ULTRA |
|---|---|
| 550-200 | UL3000 Fab |
| 品番 | 商品説明 |
| 551-010 | Remote Control RC1000C, wired, with 4m coiled cable |
| 551-202 | Vaccuum Hose Holder for UL3000 Fab (incl. for ULTRA version) |
| 525-001 | SL3000-3, sniffer line 3 m length |
| 525-002 | SL3000-5, sniffer line 5 m length |
| 525-003 | SL3000-10, sniffer line 10 m length |
| 551-203 | Bracket for SL3000 |
| 551-210 | SL200, Sniffer line + el. extension for UL3000 |
| 551-201 | Helium Bottle Holder |
| 560-310 | I/O 1000 module |
| 560-315 | BM1000 PROFIBUS module |
| 560-316 | BM1000 PROFINET IO module |
| 560-317 | BM1000 DeviceNet module |
| 560-318 | BM1000 Ethernet/IP module |
| 560-334 | Data Cable for IO1000,BM1000, 0.5m |
| 560-332 | Data Cable 2 m |
| 560-335 | Data Cable 5 m |
| 560-340 | Data Cable 10 m |
| 551-005 | TC1000Test Chamber,DN25KF,ESD wrist band |
| 551-205 | extension cable for TC1000/SL200, UL3000 |
| 品番 | 商品説明 |
| 200007656 | Airfilter Kit UL3 Housing Ventilation |
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真空法、スニファー法、蓄積法に対応したラインナップがあります。 測定対象や検出したいガス（ヘリウム、水素、各種冷媒ガスなど）に合わせてご選定ください。
内部校正は、リークディテクタに搭載された内部校正器を使用してリークディテクタを校正します。 外部校正は、外部校正器やマスターワークなどを使用してリークディテクタを校正します。
リークディテクタ起動から20分以上経過してからの校正を推奨しています。
測定環境の変化に対応する上では、リークディテクタ校正の頻度は高いほうが望ましいです。 定期的に校正を要求するメッセージを表示させることもできます。
リークディテクタ本体のみの校正は行っておりません。 校正された校正器をご用意いただき、使用環境において校正を実施いただくことを推奨しております。
製品によって異なりますが、1年に1回の定期メンテナンス実施を推奨しています。
・Pa m3/s：SI単位、日本工業規格（JIS）に規定されています。
・atm cc/s：非SI単位、大気圧における1秒当たりのリーク量（cc)であり、イメージしやすい単位です。（1 atm cc/s≒0.1031 Pa m3/s）
・mbar l/s：欧州圏で使用されている単位です。（1 mbar l/s = 0.1 Pa m3/s）
・g/a：主に冷媒ガスの測定に使用され、1年間のリークするガスの重量（g）です。
Extrima防爆認証水素リークディテクタは、Zone 0（Division 1に相当）に対応しています。
検出の感度の違いを表しており、GROSS < FINE < ULTRA の順で感度が高くなります。 感度が高くなることで微少なリークを検出できるようになりますが、高い真空が必要になります。
Standard cc/sの略称であり、標準状態における1分当たりの量（cc）を表しています。
E3000は、質量ガス分析計を搭載しており、原子質量単位2～200amuのガスを任意に測定できます。 HLD6000は、赤外線センサーを搭載しており、使用するプローブに応じてハロゲンベースの冷媒ガス、CO2、R600a/R290をそれぞれ測定できます。
P3000(XL)、XL3000flex共に、高流量モード（3000sccm）に対応しています。 P3000(XL)はヘリウム専用ですが、XL3000flexはヘリウムと水素を検出できます。
大気圧チャンバを使用したヘリウムリーク検査です。 水没試験や圧力変化法によるリーク検査からの置き換えを期待できます。