タイプAセンサー
水晶振動子を自動的に切り替えて生産時間を最大効率化
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OLEDプロセスに関連する低密度材料と低蒸着速度において、薄膜蒸着コントローラーとセンサーには並外れた精度と信頼性が求められます。蒸着速度と膜厚の精度を維持するためには、継続的な蒸着速度制御が必要です。
タイプAセンサーの蒸着モニタートランスデューサーは、水晶を5基、10基、12基搭載できる各仕様を用意しています。
ダウンタイムの最小化のため、水晶はオプションの2つ目のカルーセルにあらかじめセットしておくことができ、その後、消耗した水晶の入ったカルーセルと素早く簡単に交換できます。これによりシステムが開いている時間を最小化できます。
INFICONのCygnus® 2薄膜蒸着コントローラーと一緒に使えば、モーターライズドクリスタルセンサから最大の利益を得ることができます。Cygnus 2はOLED製造専用にデザインされた唯一の薄膜コントローラーです。最大6つのソースを同時に、独立して、または自由に組み合わせてコントロールすることができるため、ユーザーは最も複雑で、要求が高く、ユニークなOLEDアプリケーションのスループットを最大化することができます。
メリット
- プロセス稼働時間を最大化する堅牢な自動スイッチングで水晶を保持
- クラス最小サイズ
- 簡単に取り外せるカルーセルにより、すべての水晶を素早く交換可能
- 前面の蒸着シールドにより、水晶とカルーセルを材料蓄積から保護。簡単に取り外せるため、メンテナンスのためにセンサー全体を取り外す必要性を最小限に抑えます。
- ステッピングモーターが水晶の正確な位置制御を提供
- カルーセルとチョッパー用のモータードライバーが付属
仕様
| 最高使用環境温度 | 250°C (カルーセルカバーにて) |
| 運転モーターの電源電圧 | 24 V (DC) (ステッピングモータードライバー付属 カルーセルおよびチョッパー用) |
| 水流 | Ø6 mm PTFE PTFEチューブ、最低1.0～1.5 L/min、 平均温度 18～20ºC |
| 空気流量 | Ø6 mm PTFEチューブ、最低0.2～0.5 MPa |
