質量分析計
炭化水素検出器（HCD）
工業製造現場における揮発性有機化合物の検出
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リアルタイムでの重要プロセス監視
INFICONの炭化水素検出器を使用して、製造プロセス制御を次のレベルへ進化させましょう。
当社の広帯域・非選択型センサーは、半導体、太陽電池、製薬、または真空ベースのプロセスを含む過酷な産業製造環境における重要なプロセスを監視し、炭化水素とシリコーンオイルを優れた感度でリアルタイム検出します。
半導体製造におけるフォトレジストの汚染検出や、フリーズドライアプリケーションにおけるポンプオイルの汚染検出など、あらゆる用途に対応するHCDセンサーは、ユーザーフレンドリーで効果的なソリューションです。既存のシステムやINFICON FabGuard®ソフトウェアとシームレスに統合可能で、センサーはあらゆるチャンバー条件に対応し、ポンプシステムのメンテナンスは不要です。
メリット
- リアルタイム監視
- センサーの動作制御を最適化し、データの解釈を容易に
- データ取得によるシームレスなツール統合と信頼性の高い遮断機能
- センサーの迅速かつ簡単な設置、ツールの設置スペースを最小限に抑える
- 総所有コストが低く、投資対効果が高い
仕様
| 動作圧力範囲 | 1 Torr - 1 気圧 |
| 検出限界 | ppmからppbへの換算（操作圧力に基づく） |
| 動作温度範囲 | -25℃から180℃ |
| 感度（高発光） | > 2E-5 アンペア/トルル |
| 取り付けフランジ | 標準仕様 FK25；カスタマイズオプションをご用意しております。 |
| 利用可能な入力/出力 | 4-20mA、0-10 V アナログ、Modbus TCP |
| 紫外線光イオン化法による汚染測定 | 10 / 10.6 eV クリプトン放電 |
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