質量分析計
Transpector® APXマルチプレッシャー
瞬時の洞察、よりスマートな制御、そしてより高い歩留まりを実現。
ACADEMY
関連製品について無料のウェビナーにご興味ありますか。
先進的な半導体製造では、1秒単位、分子単位の精度が求められます。プロセス化学の微小な変化が、膜品質、均一性、歩留まりに直接影響を及ぼします。多くの工場では、特に変動する圧力や過酷な化学環境下において、こうした変化をリアルタイムで把握することに依然として苦労しています。気相データを瞬時に捕捉・分析し、即座に対応する能力は、プロセス制御だけでなく、データ駆動型のスマート製造においても不可欠となっています。
ALD、CVD、PVD、エッチングといった今日の先進プロセスには、リアルタイム可視性、再現性、プロセス制御が求められます。これを欠くと、製造業者は以下の課題に直面します：
- エッチング終了点の未検出や残留物の蓄積によるウェハー欠陥、歩留まり低下、高コストな手直し作業
- クロスチャンバープロセス不一致による結果のばらつき、新規ツールセットやレシピの認定期間長期化
- 漏れ、チャンバー状態の劣化、汚染されたプロセスガスによるプロセスドリフトや汚染。これによりダウンタイムが増加し、歩留まりが低下
- センサーと工場分析システム間のデータサイロ。これによりエンジニアは、ガス相信号と歩留まりや装置の健全性をリアルタイムで関連付けることができない
Transpector® APXマルチプレッシャーは、将来のスマートファクトリー向けに設計されており、重要なプロセスを可視化し、理解し、制御することを可能にします。
Transpector APXがリアルタイムガス分析を実現する方法をご覧ください
測定可能な成果
工場の重要プロセスを変革し、エンジニアに重要な場面で必要な可視性を提供します。Transpector® APXマルチプレッシャーは単なるガス分析装置ではなく、プロセスエクセレンスへのスマート製造ゲートウェイです。
- 全工程での化学信号捕捉により、廃棄物と予期せぬ工具停止時間を最小化
- 工具間の一貫したセンサーデータと校正により、立ち上げとレシピ移行を高速化
- 化学的・圧力状態をプロアクティブに監視し、プロセスドリフトとメンテナンスコストを削減。
- 工場全体のデータ活用を強化し、分析システム・FDCシステム・予知保全プラットフォームへ情報を供給します。
利点
- 究極のプロセス監視： 1秒あたり550以上のデータポイントにより、成膜およびエッチング段階のリアルタイムな洞察を実現
- 過酷な化学環境に対応： 独自コーティングを施したHexBlock™マルチインレットシステムにより、腐食性および粒子豊富な環境の監視が可能
- 省スペース設計： 高性能ポンプにより最大30%の設置面積削減を実現、狭い工場レイアウトへの統合を容易に
- シームレスな装置対応と分析機能：自動キャリブレーションとファブ分析システム（FabGuard®経由）との直接連携により、チャンバー動作の一貫性と装置間データの信頼性を確保
- スマートファクトリー全体での拡張性：モニタリング、診断、デジタルツイン対応の多層サポートにより、インダストリー4.0やスマート製造構想に適合
仕様
100 AMU
200 AMU
300 AMU
| 全圧力範囲 | 5E-7 to 1E-3 Torr (6.6E-7 to 1.3E-3 mbar) |
| 検出限界 | <10 ppb |
| プロセス圧力範囲 | 1E-8 Torr to 1.2 atm (1.3E-8 mbar to 1.2 atm) |
| 感度（低排出） | >4.0E-6 A/Torr (>3E-6 A/mbar) |
| 感度（高排出） | >2.0E-5 A/Torr (>1.5E-5 A/mbar) |
| 全圧力範囲 | 5E-7 to 1E-3 Torr (6.6E-7 to 1.3E-3 mbar) |
| 検出限界 | <25 ppb |
| プロセス圧力範囲 | 1E-8 Torr to 1.2 atm (1.3E-8 mbar to 1.2 atm) |
| 感度（低排出） | >2.0E-6 A/Torr (>1.5E-6 A/mbar) |
| 感度（高排出） | >1.0E-5 A/Torr (>7.6E-6 A/mbar) |
| 全圧力範囲 | 5E-7 to 1E-3 Torr (6.6E-7 to 1.3E-3 mbar) |
| 検出限界 | <50 ppb |
| プロセス圧力範囲 | 1E-8 Torr to 1.2 atm (1.3E-8 mbar to 1.2 atm) |
| 感度（低排出） | >1.0E-6 A/Torr (>7.6E-7 A/mbar) |
| 感度（高排出） | >5.0E-6 A/Torr (>3.8E-6 A/mbar) |
消耗品
| Part Number | Description |
| 969-800-G1S | APX CIS タングステンフィラメントキット ゴールド |
| 969-800-G2S | APX CIS コーティングフィラメントキット ゴールド |
| 969-801-G1S | APX CIS タングステンイオンソースキット ゴールド |
| 969-801-G2S | APX CIS アノードライナー付きタングステンイオンソースキット ゴールド |
| 969-801-G3S | APX CIS コーティングイオンソースキット ゴールド |
| 969-801-G4S | APX CIS アノードライナー付きコーティングイオンソースキット ゴールド |
| 961-707-G1 | 電子増倍管交換キット |
| 923-418-G2 | 二段式ポンプ用交換ダイヤフラムキット |
ダウンロード
言語を選択
アプリケーションノート
Transpector APXの詳細
本製品は以下の市場で使用されています
