質量分析

トランスペクターAPXマルチプレッシャー

マルチプレッシャーALD/CVDとエッチングの高度なプロセスエキスパート

スクラップの最小化と歩留まりの最大化をリアルタイムで実現

INFICONのTranspector APXは半導体とディスプレイプロセス監視のための、市場をリードする残留ガス分析器（RGA）です。当社は半導体、液晶パネル製造関連のお客様ニーズを熟知しており、Transpector APXの最新製品は、業界をリードする計測速度と感度を維持しながら、特定のアプリケーション要件を満たす仕様、柔軟性を持たせています。Transpector APXはALD、CVD、PVD、エッチングなどの半導体プロセスに理想的なRGAプロセスモニターです。

次世代のTranspector APXマルチプレッシャーインレットシステムは、ALDやPECVDのようなパーティクルやコーティングが発生しやすい化合物に耐える様に設計されています。これにより、すべての重要なプロセス工程でデータポイントを取得するための継続的なモニタリングが可能です。さらにHexBlockインレットモジュールは、チャンバークリーンエンドポイント監視アプリケーションに不可欠な、腐食性ガスに対する耐性を持つINFICON独自のコーティングが施されています。

利点

アプリケーションに特化したプラットフォーム設計により、ALDまたはCVDプロセスで最長のライフタイムを実現。
毎秒550データポイント以上の測定速度でALDに対応
設置面積を30%削減し、設置が容易な高性能ポンピングシステム
当社独自のコーティングを施した構成可能なHexBlockインレットモジュールは、過酷な腐食性化学薬品に耐える圧力注入口付き
自動較正により、長期的なデータの信頼性と精度を確保
Transpector APXはFabGuard®ソフトウェアと統合され、世界クラスのアプリケーション専門家によってサポートされる、強力なプロセス監視と診断ツール。

仕様

100 AMU

200 AMU

300 AMU

総圧力範囲	5E-7 – 1E-3 Torr 6.6E-7 – 1.3E-3 mbar

検出限界	<10 ppb

プロセス圧力範囲	1E-8 Torr – 1.2 atm 1.3E-8 mbar – 1.2 atm

感度（低エミッション）	>4.0E-6 amps/Torr >3E-6 amps/mbar

感度（ハイエミッション）	>2.0E-5 amps/Torr >1.5E-5 amps/mbar

総圧力範囲	5E-7 – 1E-3 Torr 6.6E-7 – 1.3E-3 mbar

検出限界	<25 ppb

プロセス圧力範囲	1E-8 Torr – 1.2 atm 1.3E-8 mbar – 1.2 atm

感度（低エミッション）	>2.0E-6 amps/Torr >1.5E-6 amps/mbar

感度（ハイエミッション）	>1.0E-5 amps/Torr >7.6E-6 amps/mbar

総圧力範囲	5E-7 – 1E-3 Torr 6.6E-7 – 1.3E-3 mbar

検出限界	<50 ppb

プロセス圧力範囲	1E-8 Torr – 1.2 atm 1.3E-8 mbar – 1.2 atm

感度（低エミッション）	>1.0E-6 amps/Torr >7.6E-7 amps/mbar

感度（ハイエミッション）	>5.0E-6 amps/Torr >3.8E-6 amps/mbar

消耗品

品番	商品説明
969-800-G1S	APX CIS Tungsten Filament Kit GOLD
969-800-G2S	APX CIS Coated Filament Kit GOLD
969-801-G1S	APX CIS Tungsten Ion Source Kit GOLD
969-801-G2S	APX CIS Tungsten Ion Source Kit with Anode Liner GOLD
969-801-G3S	APX CIS Coated Ion Source Kit GOLD
969-801-G4S	APX CIS Coated Ion Source Kit with Anode Liner GOLD
961-707-G1	Electron Multiplier Replacement Kit
923-418-G2	Replacement diaphragm kit for 2-stage pump