RFセンシング技術

ADC100

ADC100システムは、DC電源に接続して、リアルタイムでプラズマのアーク放電を検出します。

ADC100-Arc-Detector

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Personal information
Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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ADC100システムは、DC電源に接続して、リアルタイムでプラズマのアーク放電を検出します。 これにより、ウェハプロセスを中断し、潜在的なハードウェアや製品の損傷をエンジニアに知らせる機能を提供します。

機能

  • FabGuardセンサー統合および分析システムを通して、ソフトウェアをツールに統合
  • チャンネルごとに250 kHzでデータ収集
  • ほとんどのDC発電装置にカスタムケーブルで接続
  • 定義済みの分析ツールによりアークを迅速に検出
  • エンドポイント検出機能
  • 全世界的なアプリケーションサポート
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