質量分析計

QMG 800

比類のない感度、精度、優れた分析能力で限界を超える

INFICON QMG 800はQMG 700の後継となる次世代の分析質量分析計です。QMG 800は市場をリードする分析プロセス監視用残留ガス分析器（RGA）であり続けます。

お客様のユニークなニーズを認識し、INFICONは業界をリードする計測スピードと感度を維持しながら、特定のアプリケーションの要求に応えるため、より柔軟性を持たせるためにQMG 800を作りました。QMG 800は幅広い分析質量分析アプリケーションのために、強化された性能と信頼性を提供するようデザインされています。コンタミネーションモニタリングプロセスにおける精密で正確な分析に最適で、さまざまな産業において最高レベルの純度と品質管理を実現します。QMG 800のデジタル化された進歩は、性能と使用感を向上させる最先端技術を組み込んでおり、ユーザーから高く評価されています。

50年以上にわたって質量ガス分析の卓越性を開拓してきた中で、INFICON QMG 800は、ガス分析への投資に新しい基準を打ち立てます。私たちのグローバルな専門知識と技術革新への取り組みに裏打ちされた、比類のない精度と正確さを体験してください。

QMG 800を選択することで、常に信頼できる結果を得ることができます。

QMG 800を選べば、常に信頼できる結果を得ることができます。

先進のデジタル・プラットフォームでOPC UA経由の通信が可能
シームレスなOEM統合
多様なアプリケーションに対応するイオン源オプション
FabGuard®ソフトウェア一式との完全互換性で、比類のない診断が可能。
ラジカルや非イオン化粒子からのノイズを最小化する90°オフアクシスSEM
シングルイオン検出機能による比類のない精度と感度
1AMUあたり125マイクロ秒の業界をリードする測定速度

代表的なアプリケーション

汚染検出
ガス純度モニタリング
エンド・ポイント検出
分子線エピタキシー・モニタリング

仕様

QMA 400

QMA 430

質量範囲	1-512 amu

ロッド材質	モリブデン

最高使用圧力最高使用圧力（EM）	1 E-5 mbar

ファラデー感度

軸イオン源	3E-4 A/mbar

クロスビームイオン源	7E-5 A/mbar

クロスビームガスタイトイオン源	7E-5 A/mbar

磁石付きクロスビームイオン源	7E-4 A/mbar

磁石付きクロスビーム・ガスタイト・イオン・ソース	7E-4 A/mbar

グリッド・イオン・ソース	2E-4 A/mbar

解像度（調整可能）	0.3 - 7 amu

最小検出分圧	1 E-15 mbar

電子増倍管による分圧比	< 0.5 ppb

最高使用温度動作温度（センサーおよびエレクトロニクス）	150 °C

測定速度	0.125 ms - 60 s/amu

質量範囲	1-300 amu

ロッド材質	ステンレス鋼

最高使用圧力最高使用圧力（EM）	1 E-5 mbar

ファラデー感度

軸イオン源	2E-4 A/mbar

クロスビームイオン源	8E-5 A/mbar

クロスビームガスタイトイオン源	8E-5 A/mbar

磁石付きクロスビームイオン源	7E-4 A/mbar

磁石付きクロスビーム・ガスタイト・イオン・ソース	7E-4 A/mbar

グリッド・イオン・ソース	2E-4 A/mbar

解像度（調整可能）	0.3 - 7 amu

最小検出分圧	2E-15 mbar

電子増倍管による分圧比	< 1 ppb

最高使用温度動作温度（センサーおよびエレクトロニクス）	150 °C

測定速度	0.125 ms - 60 s/amu