Vakuummessgeräte & Controller
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Ausgelegt zur Verwendung mit dem Vakuummeter-Controller VGC083C.
- Zuverlässiges und bewährtes Messkopfdesign
- Ausheizbar bis 150 °C (MAG050) oder 250 °C (MAG060)
- Gute Zündeigenschaften
- Korrosionsbeständig mit Keramikdurchführung
Die invertierten Magnetron-Pirani-Messgeräte MPG400 und MPG401 messen von 5 x 10-9 mbar (3,8 x 10-9 Torr) bis Atmosphärendruck.
- Kombinationsmessgerät – invertiertes Magnetron und Pirani
- Großer Messbereich von 5 x 10-9 mbar bis Atmosphärendruck
- Kein Filament, das ausbrennen kann
- Ausgezeichnete Zündeigenschaften
Das invertierte Magnetron-Vakuummessgerät MAG470 ist für alle Ultrahochvakuumanwendungen geeignet. Der Messbereich reicht von 5x10-11 mbar bis 1x10-2 mbar.
- Kein ausbrennbares Filament
- Erweiterte Version, Sensor-Bakeout bis zu 250°C
- Ausgezeichnete Zündeigenschaften
- Leicht zu reinigen
Das invertierte Magnetron Vakuummessgerät Gemini™ ist das neue Arbeitspferd für alle Vakuummessapplikationen
- Lange Lebensdauer in rauen Einsatzumgebungen
- Geringes magnetisches Streufeld
- Zuverlässige und schnelle Zündung
- Schnellste Wartung - austauschbarer Einsatz
Das Hochdruck-Heißionisations-Pirani-Messgerät HPG400 kombiniert Heißionisation bei hohem Druck und Pirani-Sensoren zu einem einzigen kompakten und kostengünstigen Paket für Druckmessungen im Bereich von 2×10-6 mbar bis Atmosphärendruck (1,5×10-6 Torr bis Atmosphärendruck).
- Das HPG400 spart Kosten und Werkzeugplatz und vereinfacht die Installation und Einrichtung des Vakuumsystems.
- Das Hochdruck-Heißkathoden-Ionisationsmessgerät bietet präzise, zuverlässige Druckmessungen von 1 X 10-5 bis 1 mbar zur besseren Prozesssteuerung.
- Vom Benutzer auswählbare Aktivierung der Heißkathodenemission zwischen 5 X 10-2 und 1 mbar
Das Bayard-Alpert-Pirani-Kombinationsmessgerät BPG402-S bietet zwei Messgeräte in einer einzigen kompakten Einheit und misst im Bereich von 5×10-10 mbar bis Atmosphärendruck (3,8×10-10 Torr bis Atmosphärendruck).
- Extrem großer Messbereich von 5 x 10-10 mbar bis Atmosphärendruck (3,8 x 10-10 Torr bis Atmosphärendruck)
- Ausgezeichnete Wiederholbarkeit im Prozessdruckbereich von 10-8 bis 10-2 mbar von 5%
- Das Pirani-Interlock schützt das Filament vor vorzeitigem Ausbrennen
- Zwei langlebige Yttriumoxid-beschichtete Iridiumfilamente
Das Bayard-Alpert-Pirani-Kombinationsmessgerät BPG400 bietet zwei Messgeräte in einer einzigen kompakten Einheit und misst im Bereich von 5×10-10 mbar (3,8×10-10 Torr) bis Atmosphärendruck
- Extrem großer Messbereich von 5 x 10-10 mbar bis Atmosphärendruck (3,8 x 10-10 Torr bis Atmosphärendruck)
- Ausgezeichnete Wiederholbarkeit im Prozessdruckbereich von 10-8 bis 10-2 mbar von 5%
- Das Pirani-Interlock schützt das Bayard-Alpert-System vor vorzeitigem Ausbrennen des Filaments und übermäßiger Verunreinigung durch Hochdruckbetrieb
- Langlebiges Yttriumoxid-beschichtetes Iridiumfilament
Die einfache Bayard-Alpert-Heißionisationsmessröhre BAG402 von INFICON deckt einen breiten Messbereich von 1,3 × 10-9 bis 6,7×10-2 mbar (1 × 10-9 bis 5 × 10-2 Torr) ab.
- Breiter Messbereich von 1,3 × 10-9 bis 6,7×10-2 mbar(1 × 10-9 bis 5 × 10-2 Torr)
- Zwei standardmäßige langlebige Yttriumoxid-beschichtete Iridiumfilamente
- Aktives Komplettmessgerät mit integriertem Display, Sollwert, analogen Ausgangssignalen und standardmäßig integrierter RS485-Schnittstelle
- Helles, digitales OLED-Display
Die einfache Bayard-Alpert-Heißionisationsmessröhre BAG402 deckt einen breiten Messbereich von 5×10-10 mbar bis 2,7×10-2 mbar (3,75×10-10 Torr bis 5×10-2 Torr) ab.
- Messbereich von 5 x 10-10 mbar bis 2,7 x 10-2 mbar (3,75 x 10-10 Torr bis 5 x 10-2 Torr)
- Ausgezeichnete Wiederholbarkeit im Prozessdruckbereich von 10-8 bis 10-2 mbar von 5%
- Überdruckerkennung schützt das Filament vor vorzeitigem Abbrand
- Zwei langlebige Yttriumoxid-beschichtete Iridiumfilamente
Das neue INFICON Pirani Piezo-Kombinationsmessgerät (PPG570) basiert auf der fortschrittlichsten MEMS-Sensortechnologie (Microelctromechanical Systems), die auch in unserem PPG550 "ATM to Medium Vacuum" Messgerät verwendet wird.
- Gasartunabhängig über 2 mbar
- Hohe Genauigkeit und Reproduzierbarkeit an der Atmosphäre
- Atmosphärische Umgebungsdruckmessung
- Bis zu 3 Halbleiterrelais
Das neue INFICON Pirani-Piezo-Kombinationsmessgerät (PPG550) basiert auf der modernsten MEMS-Sensortechnologie (Microelctromechanical Systems).
- Gasartunabhängig über 2 mbar - ermöglicht sicheres Entlüften mit jedem Gasgemisch
- Hohe Genauigkeit und Reproduzierbarkeit an Atmosphäre - für zuverlässige, schnelle Atmosphärendruckerfassung
- Vielseitig in der Einbaulage - bietet technische Freiheit im Werkzeugdesign
Pirani Capacitance Diaphragm Gauge combines Pirani sensor and ceramic capacitance diaphragm sensor in one product
- Unabhängig vom Gastyp über 10 mbar – sichere Lüftung mit beliebigen Gasmischungen
- Hohe Genauigkeit und Reproduzierbarkeit bei Normaldruck für die zuverlässige Erkennung atmosphärischer Drücke
- Gestaltungsfreiheit beim Werkzeugdesign durch vielseitige Montagemöglichkeiten
passive convection enhanced Pirani gauges, vacuum gauge controller VGC031 and VGC083 needed
- Passive gauge without electronic unit
- Wide measurement range and higher accuracy near atmosphere
Das INFICON Pirani Gauge Enhanced (PGE) in der DeviceNet-Version ist mit der neuesten digitalen konvektionserweiterten Pirani-Technologie ausgestattet, die auf dem Markt erhältlich ist.
- Konvektionsverstärkte Pirani-Technologie für einen großen Messbereich und höhere Genauigkeit in der Nähe der Atmosphäre
- Aktives All-in-One-Messgerät mit eingebautem Display, 2 Sollwerten und digitaler DeviceNet-Schnittstelle
Anschluss an die INFICON CDG-Produktlinie zur Bereitstellung einer 4-stelligen Anzeige
- 4 Digit display for easy read out
- Large 10mm active LED display -
readable from distance and wide range gauge of angle - In-line plug design
- 15pin D-Sub, no extra power connection
Nachhaltige Lösung für die Prozessmessung, Prozesskontrolle und Datenerfassung
Zur Verwendung in Verbindung mit dem PGE050.
- Anzeige und Steuerung über einen breiten Messbereich von 1,3 x 10-4 mbar bis 1333 mbar (1 x 10-4 Torr bis 1000 Torr)
- Helles, digitales OLED-Display mit Tastenfeld zur einfachen Einrichtung und Bedienung
- 4 Benutzerwählbare analoge Ausgangssignale
- 2 Sollwertrelais
Die passiven INFICON Bayard-Alpert-Vakuummessköpfe BAG050, BAG051, BAG052 und BAG053 sind für die Verwendung mit den INFICON-Vakuummesscontrollern VGC083A & VGC083B vorgesehen.
- Reliable and proven gauge head design
- Drop in for most nude hot ion gauge heads
- Wide range of emission currents
- Available with single / dual yttria coated iridium and dual tungsten filament
Zur Verwendung mit den passiven Messköpfen BAG05x und PGE050.
Konvektionsoptimierte Pirani-Technologie für großen Messbereich, RS485/RS232
- Konvektionsoptimierte Pirani-Technologie für großen Messbereich und bessere Genauigkeit im Normaldruckbereich
- Aktives Komplettmessgerät mit integriertem Display, 2 Sollwert, 4 auswählbaren analogen Ausgangssignalen und 2 digitalen Schnittstellen
- Helles, digitales OLED-Display mit Tastenfeld zur einfachen Einrichtung, Kalibrierung und Bedienung
- 4 optionale analoge Ausgangssignale (3 vom Benutzer auswählbar, 1 Standardsignal)
Konvektionsoptimierte Pirani-Technologie für großen Messbereich
- Konvektionsoptimierte Pirani-Technologie für großen Messbereich und bessere Genauigkeit im Normaldruckbereich
- Aktives Komplettmessgerät mit integriertem Display, 1 Sollwert und 3 auswählbaren analogen Ausgangssignalen
- Helles digitales LED-Display für benutzerfreundliche Kalibrierung und Bedienung
- 3 optionale analoge Ausgangssignale (Vom Benutzer auswählbar)
Most advanced digital Pirani technology, compact size and the variety of features.
- Erhältlich mit Wolfram- (PSG550) oder Nickel- (PSG552) Faden oder mit einer vollständig keramikbeschichteten (PSG554) Sensoreinheit für hochkorrosive Anwendungen
- Optionales Display, Sollwerte und digitale Schnittstellen
- Aktuelles EtherCAT-Protokoll Standard ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0
ATM To Medium Vacuum Gauge - High volume standard applications
- Einfache Anpassung von ATM und HV über Drucktasten
- Platzsparendes, robustes Design
- Aluminiumgehäuse
- Montage in beliebiger Position
Miniatursensor für OEM, Doppelsensor
- Miniatur-Aluminiumoxid (Al2O3)-Keramikbeschichteter Kapazitätsmembransensor mit hoher Korrosionsbeständigkeit und UHP-konformer benetzter Oberfläche
- Großer Messbereich, hohe Präzision
- Ausgezeichnete Wiederholbarkeit und Langzeitstabilität
- Sensorelektronik mit SPI-Schnittstelle für einfache Integration
Miniatursensor für OEM
- Der keramisch beschichtete, kapazitive Miniatur-Membransensor (Al2O3) ist hochgradig korrosionsbeständig.
- Ausgezeichnete Wiederholbarkeit und hervorragende Langzeitstabilität
- Schweißbare Durchführung für kundenseitige Integration und Kalibration oder geschweißter Kundenflansch zur Integrierung eines werkseitig kalibrierten Sensors
Absoluter Druckschalter mit einstellbarem elektrischen Schaltkontakt
- Hohe Schaltgenauigkeit (±0,1 mbar)
- Konstante Eigenschaften für den Langzeitbetrieb
- Robustes, korrosionsbeständiges Design
- Schutz vor Prozessmedien durch Schaltkontakte (normalerweise geschlossen) in der Referenzkammer
Differential zu Ambient - Sicherheitsschalter für Vakuumsysteme
- Zuverlässiger und kostengünstiger Vakuumschalter
- Lange Lebensdauer
- Robuste Bauweise
- Einfache Integration
Differenzialschalter - Genaue und zuverlässige Druckerfassung
- Korrosionsbeständiges Design aus Edelstahl
- Robustes Design, reinraumkonform
- Einfache Installation mit werksseitig voreingestellten Sollwerten oder vor Ort einstellbar
- Atmosphärendruckerkennung bei allen Vakuumanwendungen
Absoluter Schalter - Genaue und zuverlässige Druckerfassung
- IP 44-Schutz
- Relaisausgang mit potenzialfreien Kontakten
- Hochgenauer temperaturkompensierter Sensor
- Anwendungsdruckbereich 1 x 10-9 mbar … 2 bar
Die Referenz, echte Hochpräzision
- Echte hochpräzise Druckmessung – Keramiktechnologie
- Uneingeschränkt stabile Ausgabe – Belegt durch PTB
- Flexible Kommunikation – Mehrere moderne Schnittstellen
- Alle Funktionen sind integriert – Kein Controller erforderlich
Hohe Geschwindigkeit, temperaturgesteuert
- Hohe Produktivität – Ansprechzeit unter 2 ms
- Flexible Integration – EtherCAT-Feldbus
- Lange Lebensdauer – Bewährter Keramiksensor
- Nachkalibrierung praktisch eliminiert – Vollskalenstabilität von 90ppm/Jahr
Hohe Geschwindigkeit, temperaturgesteuert
- Hohe Produktivität – Ansprechzeit unter 2 ms
- Flexible Integration – EtherCAT-Feldbus
- Lange Lebensdauer – Bewährter Keramiksensor
- Nachkalibrierung praktisch eliminiert – Vollskalenstabilität von 90ppm/Jahr
Kleine Stellfläche, temperaturgesteuert
- Kompakt, spart wertvollen Werkzeugplatz
- Einfache Integration, EtherCAT, eine Vielzahl von Messbereichen und Flanschen, standardmäßig mit zwei Sollwerten
- Einfacher Nullbefehl per Tastendruck oder Remotesignal, Nullpunktverschiebung einstellbar
Kleine Stellfläche, temperaturgesteuert
- Kompakt, spart wertvollen Werkzeugplatz
- Einfache Integration, EtherCAT, eine Vielzahl von Messbereichen und Flanschen, standardmäßig mit zwei Sollwerten
- Einfacher Nullbefehl per Tastendruck oder Remotesignal, Nullpunktverschiebung einstellbar
- Diagnoseanschluss für schnelle Wartungsarbeiten
Anwendung bei hohen Temperaturen, temperaturgesteuert
- Niedrigere Gesamtbetriebskosten, 50 % schnellere Aufheizung und energieeffizienter niedriger Stromverbrauch
- Einfache Integration, breites Spektrum an Vollskalen, Flanschen und Schnittstellen, standardmäßig mit zwei Sollwerten
- Einfacher Nullbefehl per Tastendruck oder Remotesignal, Nullpunktverschiebung einstellbar
- Diagnoseanschluss für schnelle Wartungsarbeiten
Anwendung bei hohen Temperaturen, temperaturgesteuert
- Niedrigere Gesamtbetriebskosten, 50 % schnellere Aufheizung und energieeffizienter niedriger Stromverbrauch
- Einfache Integration, breites Spektrum an Vollskalen, Flanschen und Schnittstellen, standardmäßig mit zwei Sollwerten
- Einfacher Nullbefehl per Tastendruck oder Remotesignal, Nullpunktverschiebung einstellbar
- Diagnoseanschluss für schnelle Wartungsarbeiten
Hervorragende Signalstabilität, temperaturgesteuert
- Niedrigere Gesamtbetriebskosten, 50 % schnellere Aufheizung und energieeffizienter niedriger Stromverbrauch
- Einfache Integration, breites Spektrum an Vollskalen, Flanschen und Schnittstellen, standardmäßig mit zwei Sollwerten
- Einfacher Nullbefehl per Tastendruck oder Remotesignal, Nullpunktverschiebung einstellbar
Hervorragende Signalstabilität, temperaturgesteuert
- Niedrigere Gesamtbetriebskosten, 50 % schnellere Aufheizung und energieeffizienter niedriger Stromverbrauch
- Einfache Integration, breites Spektrum an Vollskalen, Flanschen und Schnittstellen, standardmäßig mit zwei Sollwerten
- Einfacher Nullbefehl per Tastendruck oder Remotesignal, Nullpunktverschiebung einstellbar
- Diagnoseanschluss für schnelle Wartungsarbeiten
Stromschleife, temperaturkompensiert
- Der Full Scale Bereich reicht von 100 mTorr … 1000 Torr
- Schnelle Stabilisierung nach dem Einschalten
- Schnelle Erholung nach Atmosphärendruck
- Korrosionsbeständiger Keramiksensor
EtherCAT, temperaturkompensiert
- Einfache Integration, EtherCAT, grosse Angebotsbreite an Messbereichen und Flanschen, Standard mit zwei Schaltpunkten
- Einfaches "zero"-Kommando, entweder manuell mit Knofdruck oder als digitales Signal, einstellbarer Null-Punkt-offset.
- "Diagnostic"- Stecker für schnelle Wartung und Service
- Korrosionsbeständiger Keramiksensor
Raue Prozessanwendung, temperaturkompensiert
- Vollskalenbereich von 100 mTorr bis 1000 Torr
- Schnelle Stabilität nach dem Einschalten
- Schnelle Wiederherstellung von Atmosphärendruck
- Korrosionsbeständiger Keramiksensor
Industrielle Anwendung, temperaturkompensiert
- Vollskalenbereich von 100 mTorr bis 1000 Torr
- Schnelle Stabilität nach dem Einschalten
- Schnelle Wiederherstellung von Atmosphärendruck
- Korrosionsbeständiger Keramiksensor
Große Leistung, kleine Größe
- Ausgezeichnete Messbereichsstabilität - unabhängig von der Gasart
- Korrosionsbeständiger Aluminiumoxid-Sensor
- Kompakt, kleinste Baugröße in seiner Klasse
- Einfache Integration, beliebige Montageausrichtung