Kapazitätsmanometer

SKY® CDG200D

200°C temperaturgesteuert, Skalenendwert 1 ... 1000 Torr / mbar

SKY-CDG-100D-160D-200D

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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INFICON SKY CDG200D-Hochtemperaturmanometer sind die beste Wahl für präzise Gesamtdruckmessung und -regelung. 

CDG200D-Messgeräte sind zur besseren Leistung in anspruchsvollen Halbleiter- und Plasmaprozessen auf 200 °C temperaturgeregelt. Sie sind erhältlich für Vollskalabereiche von 1 Torr bis 1000 Torr mit allen gebräuchlichen Flanschtypen und Feldbusschnittstellen und liefern ein lineares, vom Gastyp unabhängiges Drucksignal von 0 bis 10 V. Kapazitätsmanometer von INFICON verwenden eine ultrareine korrosionsbeständige Keramikmembran aus Aluminiumoxid. 

Die Vorteile des Keramiksensors sind eine bessere Signalstabilität, schnellere Wiederherstellung von Atmosphärendruck, kurze Aufheizdauer und eine außerordentlich lange Lebensdauer. INFICON CDGs sind qualitativ hochwertige, kosteneffektive Drucksensoren für anspruchsvolle Halbleiter-, Plasma- und Vakuumanwendungen.

SKY® CDG200D ist auch mit mit digitaler EtherCAT-Schnittstelle erhältlich!

Vorteile

  • Niedrigere Gesamtbetriebskosten, 50 % schnellere Aufheizung und energieeffizienter niedriger Stromverbrauch
  • Einfache Integration, breites Spektrum an Vollskalen, Flanschen und Schnittstellen, standardmäßig mit zwei Sollwerten
  • Einfacher Nullbefehl per Tastendruck oder Remotesignal, Nullpunktverschiebung einstellbar
  • Diagnoseanschluss für schnelle Wartungsarbeiten
  • Zwei Jahre Garantie, längere Lebensdauer mit fortschrittlichem Heizkonzept und Messgerätschutz
  • Keine langfristige Neukalibrierung aufgrund von exzellenter Signalstabilität und Wiederholbarkeit, selbst bei anspruchsvollen Plasmaanwendungen
  • Compliance und Standards: CE, EN, UL, SEMI, RoHS

Typische Anwendungen

  • Ätz-, CVD-, PVD- und andere Halbleiterfertigungsprozesse
  • Chemische und korrosive Prozesse mit hohen Temperaturen
  • Allgemeine Dünnschicht- und Vakuumprozesse, die Messgerätschutz erfordern

Spezifikationen

1000 ... 500 Torr / mbar
200 ... 1 Torr / mbar
Genauigkeit % of reading0.4
Auflösungpercent FS0.003
Ausgangssignal (analog)V (dc)0 … +10
Ansprechzeit ms30
Werkstoffe gegen Vakuum Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L)
Genauigkeit % of reading0.4
Auflösungpercent FS0.003
Ausgangssignal (analog)V (dc)0 … +10
Ansprechzeit ms30
Werkstoffe gegen Vakuum Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L)
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CDG200D_9DSUB_8VCRf
stp 2,1 MB 3D Dokumente
CDG200D_9DSUB_8VCR long
stp 3,0 MB 3D Dokumente
CDG200D_8-VCR female long_P-Net
stp 1,9 MB 3D Dokumente
CDG200D_4-VCR male_ECAT_II
stp 5,7 MB 3D Dokumente
CDG200D_8-VCR female_long_ECAT_II
stp 5,6 MB 3D Dokumente
CDG200D_9DSUB_16KF
stp 2,9 MB 3D Dokumente
CDG200D_9DSUB_16CF
stp 3,0 MB 3D Dokumente
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CDG200D_8-VCR female long_D-Net
stp 5,0 MB 3D Dokumente
CDG200D_4-VCR male_P-Bus
stp 5,0 MB 3D Dokumente
CDG200D_4-VCR female_P-Bus
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CDG200D_8-VCR female_P-Net
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CDG160, CDG200D 4VRC female
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CDG160D, CDG200 4VCR male
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CDG160D, CDG200D 16CF
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CDG160D, CDG200D 16CF D-Net
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CDG160D, CDG200D 16CF ECAT
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CDG160D, CDG200D 16KF D-Net
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CDG160D, CDG200D 16KF ECAT
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CDG160D, CDG200D 16KF P-Bus
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CDG160D, CDG200D 4VCR D-Net
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CDG160D, CDG200D 8VCR D-Net
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CDG160D, CDG200D 8VCR ECAT
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CDG160D, CDG200D 8VCR female
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CDG160D, CDG200D 8VCR female long
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CDG160D, CDG200D 8VCR P-Bus
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CDG160D, CDG200D tube
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CDG160D, CDG200D tube D-Net
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CDG160D, CDG200D tube ECAT
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