PBR 260
ATM bis ultrahochvakuum Heisskathodenmessgerät
Revolutionieren Sie Ihre Vakuummessgeräte-Erfahrung mit uns!
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Das INFICON PBR 260 ist ein Kombinationsmessgerät, das als zwei Messgeräte in einer einzigen, kompakten Einheit arbeitet. Das führende Messprinzip ist ein Heißkathodenmessgerät nach dem Bayard-Alpert-Prinzip, das durch ein Pirani, welches nach dem Wärmeleitfähigkeitsmessprinzip arbeitet, ergänzt und unterstützt wird. Das PBR 260 Pirani/Bayard-Alpert Heißkathoden-Kombinationsmessgerät misst vom UHV-Bereich (5×10-10) mbar bis zum Atmosphärenbereich (1000 mbar). Einer der Hauptvorteile des PBR 260 ist seine Drop-in Kompatibilität mit Messgeräten vom PBR 260 Typ anderer Hersteller, dank der Kombination zweier Messtechnologien, dem gleichen analogen Ausgangssignal und der verwendeten elektrischen Schnittstelle. Dies führt zu einer einfachen Austausch/ Installation, Inbetriebnahme und Prozessintegration. Das Pirani/Bayard-Alpert Heißkathoden-Kombinationsmessgerät PBR 260 bietet die wirtschaftlichste Lösung für kostengünstige und zuverlässige Basisdruckmessungen auf dem Markt.
Vorteile
- Das Pirani/Bayard-Alpert Heißkathoden-Kombinationsmessgerät PBR 260 bietet allgemeine Vakuummessung und -regelung im niedrigen bis ultrahohen Vakuumbereich mit nur einem kompakten Messgerät
- Flanschgröße: DN 25 ISO-KF, DN 40 CF-R, DN 40 ISO-KF
- Maximaler Druck gilt für inerte Gase und Temperaturen von weniger als 55°C
- Hochpräzise, hervorragende Wiederholbarkeit im Prozessbereich 10-8 ... 10-2 mbar
- Bayard-Alpert-Sensor ON/OFF automatisch gesteuert durch Pirani-Sensor
- Langlebiges, mit Yttriumoxid beschichtetes Iridium-Filament (Kathode)
- RoHS-Konformität
Drop-In kompatibel zu PBR 260 Pirani/Bayard-Alpert Heißkathodenmessgeräten anderer Hersteller
- Artikelnummer IGG27000 passt zu PT R27 000
- Artikelnummer IGG27001 passt zu PT R27 001
- Artikelnummer IGG27002 passt zu PT R27 002
Typische Anwendungen
- Allgemeine Druckmessung in Halbleiter- und Analytikprozessen
- Optische und andere industrielle Beschichtungsprozesse
Spezifikationen
| Messbereich max. Messbereich min. | mbar mbar | 1000 5·10-10 |
| Ausheiztemperatur | °C | 150 (Elektronik entfernt) |
| Genauigkeit: 10-8 bis 10-2 mbar | % of reading | 15 |
| Reproduzierbarkeit: 10-8 bis 10-2 mbar | % of reading | 5 |
| Filament (Kathode) | Yttriumoxid beschichtetes Iridium | |
| Dem Vakuum ausgesetzte Materialien | Cu,W, Glas, NiFe, Mo, Edelstahl, NiCr | |
| Druck max. | bar | 2 |
| Artikelnummer | Beschreibung |
| IGG27000 | PBR 260 DN 25 ISO-KF |
| IGG27001 | PBR 260 DN 40 ISO-KF |
| IGG27002 | PBR 260 DN 40 CF-R |
| Artikelnummer | Beschreibung |
| IN846517-T | Spare sensor head PBR 260, DN 25 ISO-KF |
| IN846518-T | Spare sensor head PBR 260, DN 40 ISO-KF |
| IN846519-T | Spare sensor head PBR 260, DN 40 CF-R |
