Sensoren & Durchführungen
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Bieten aufgrund ihrer langen Lebensdauer und ihrer geringen Wartung maximale Verfügbarkeit und minimieren Ihre Produktionskosten
- Minimale Investition mit niedrigsten Anfangskosten
- Niedrigste Gesamtbetriebskosten durch längere Lebensdauer der Sensoren
- Maximaler Durchsatz bei geringerem Wartungsaufwand
- Einfache Installation
Bewährte Zuverlässigkeit und Langlebigkeit und besitzen die beste thermische Stabilität aller verfügbaren Sensorköpfe
- Kristallhalter zur Frontbeladung
- Einfache Installation
- Erhältlich mit 2,54-cm-(1 Zoll)-Bolzendurchführung / CF40-Durchführung
- Justierbare Länge bei Bestellung mit Klemmringverschraubungen
Bewährte Zuverlässigkeit und Langlebigkeit und besitzen die beste thermische Stabilität aller kommerziell erhältlichen Sensorköpfe
- Dualkristalle
- Kristallverschluss
- Kristallhalter zur Frontbeladung
- Einfache Installation
Ermöglicht eine seitliche Kristallinstallation im Sensor. Dies ist besonders bei Systemen mit nicht genügend Raum für eine Kristallinstallation über Frontbeladung praktisch.
- Keine internen Kabel
- Cool Drawer-Kristallhalter
- Einfache Installation
- Ausheizbar bei Bestellung mit geschweißtem CF40-Flansch
Für den Einsatz in kritischen Prozessen, bei denen ein zweiter Kristall in der Vakuumkammer empfehlenswert ist.
- Dualkristalle
- Cool Drawer-Kristallhalter
- Keine internen Kabel
- Kristallverschluss
Einfache und kostengünstige Lösung bei QCM-Anwendungen, wenn ein Kristall möglicherweise nicht ausreicht.
- Dualkristalle
- Hohes Preis-Leistungsverhältnis
- Niederprofildesign
- Inklusive Kristallverschluss
Bewährte Zuverlässigkeit und Langlebigkeit und die beste thermische Stabilität aller kommerziell erhältlichen Sensorköpfe
- Hochtemperaturgelötete & geschweißte Bauweise
- Ausheiztemperaturen bis 450 °C
- Kristallverschluss (optional)
- Kristallhalter zur Frontbeladung
Bringt die Wiederholbarkeit, die Präzision und die Langlebigkeit der Quarzkristallmikrowagenmessung (QCM) zur Atomlagenabscheidung (ALD)
- Betriebstemperatur bis zu 450 °C
- Spülgasleitung verhindert Ablagerung von Abscheidungsmaterial auf der Kristallrückseite
- Angeschweißter Conflat-Flansch (CF40) als Alternative
- O-Klemmringverschraubung als Alternative
Von entscheidender Bedeutung für lange Prozesse, die eine kontinuierliche Ratensteuerung erfordern
- Enthält 6 Kristalle mit zuverlässigem, automatischem Wechsel für maximale Prozessbetriebszeit
- Stabile Kristalltemperatur aufgrund des pneumatisch angetriebenen Kristallwechsels (Einheiten anderer Hersteller verwenden wärmeerzeugende Motoren)
- 1/8-Zoll-Wasserkühlschläuche sorgen für thermische Stabilität und gestatten flexible Sensorplatzierung
- Optionaler Kristallverschluss erhältlich
Für anspruchsvolle Prozesse mit sehr dicken Schichten und mehreren verschiedenen Materialien
- Six crystals
- Position feedback (Controller dependent)
- Adjustable length (with optional flange)
- Rugged design
In Kombination mit dem INFICON IC6-Dünnschichtabscheidungs-Controller wechselt der INFICON Crystal 12-Sensor seine Kristalle automatisch, ohne Ihren Prozess zu unterbrechen
- Enthält 12 Kristalle mit zuverlässigem, automatischem Wechsel für maximale Prozessbetriebszeit
- Leicht auszubauendes Karussell ermöglicht den raschen Austausch aller 12 Kristalle
- Stabile Kristalltemperatur durch pneumatisch angetriebenen Kristallwechsel (Einheiten anderer Hersteller verwenden wärmeerzeugende Motoren)
- Leicht abnehmbare vordere Abscheidungsabschirmung schützt die Kristalle und das Karussell vor Materialansammlungen und minimiert so die Notwendigkeit, den gesamten Sensor zur Wartung auszubauen
Vielzahl von Quarzkristallmonitor(QCM)-Sensordurchführungen für unterschiedliche QCM-Sensor- und Kammerkonfigurationen
- Ausführungen mit 2,54-cm-(1 Zoll)-Bolzendurchführung oder CF40-Durchführung (2,75-Zoll-ConFlat®) erhältlich
- Erhältliche Ultra-Torr-O-Ringverschraubungen
- Kundenspezifische Durchführungskonfigurationen erhältlich
- Andere Durchführungsbauarten auf Anfrage erhältlich
Ausführungen mit 2,54 cm (1 Zoll) Bolzen oder CF40 (2,75 Zoll ConFlat®) mit durchgebohrten Rohrverschraubungen erhältlich
- Ausführungen mit 2,54 cm (1 Zoll) Bolzen oder CF40 (2,75 Zoll ConFlat®) erhältlich
- Erhältlich mit durchgebohrten Rohrverschraubungen