Sensoren & Durchführungen
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Bieten aufgrund ihrer langen Lebensdauer und ihrer geringen Wartung maximale Verfügbarkeit und minimieren Ihre Produktionskosten
- Minimale Investition mit niedrigsten Anfangskosten
- Niedrigste Gesamtbetriebskosten durch längere Lebensdauer der Sensoren
- Maximaler Durchsatz bei geringerem Wartungsaufwand
- Einfache Installation
Bewährte Zuverlässigkeit und Langlebigkeit und besitzen die beste thermische Stabilität aller verfügbaren Sensorköpfe
- Kristallhalter zur Frontbeladung
- Einfache Installation
- Erhältlich mit 2,54-cm-(1 Zoll)-Bolzendurchführung / CF40-Durchführung
- Justierbare Länge bei Bestellung mit Klemmringverschraubungen
Bewährte Zuverlässigkeit und Langlebigkeit und besitzen die beste thermische Stabilität aller kommerziell erhältlichen Sensorköpfe
- Dualkristalle
- Kristallverschluss
- Kristallhalter zur Frontbeladung
- Einfache Installation
Ermöglicht eine seitliche Kristallinstallation im Sensor. Dies ist besonders bei Systemen mit nicht genügend Raum für eine Kristallinstallation über Frontbeladung praktisch.
- Keine internen Kabel
- Cool Drawer-Kristallhalter
- Einfache Installation
- Ausheizbar bei Bestellung mit geschweißtem CF40-Flansch
Für den Einsatz in kritischen Prozessen, bei denen ein zweiter Kristall in der Vakuumkammer empfehlenswert ist.
- Dualkristalle
- Cool Drawer-Kristallhalter
- Keine internen Kabel
- Kristallverschluss
Einfache und kostengünstige Lösung bei QCM-Anwendungen, wenn ein Kristall möglicherweise nicht ausreicht.
- Dualkristalle
- Hohes Preis-Leistungsverhältnis
- Niederprofildesign
- Inklusive Kristallverschluss
Bewährte Zuverlässigkeit und Langlebigkeit und die beste thermische Stabilität aller kommerziell erhältlichen Sensorköpfe
- Hochtemperaturgelötete & geschweißte Bauweise
- Ausheiztemperaturen bis 450 °C
- Kristallverschluss (optional)
- Kristallhalter zur Frontbeladung
Bringt die Wiederholbarkeit, die Präzision und die Langlebigkeit der Quarzkristallmikrowagenmessung (QCM) zur Atomlagenabscheidung (ALD)
- Betriebstemperatur bis zu 450 °C
- Spülgasleitung verhindert Ablagerung von Abscheidungsmaterial auf der Kristallrückseite
- Angeschweißter Conflat-Flansch (CF40) als Alternative
- O-Klemmringverschraubung als Alternative
Speziell für den Einsatz in Zerstäubungsverfahren konzipiert
- Sensorgehäuse und Kühlrohre aus vergoldetem Beryllium-Kupfer für maximale Kühlleistung
- Magnet zur Ablenkung freier Elektronen aus dem Monitorkristall
- Einfache Installation mit biegsamen Wasserschläuchen bietet Flexibilität bei der Sensorplatzierung
- Kristalleinsatz durch rückseitige Beladung ermöglicht einfachen Kristallaustausch
Von entscheidender Bedeutung für lange Prozesse, die eine kontinuierliche Ratensteuerung erfordern
- Enthält 6 Kristalle mit zuverlässigem, automatischem Wechsel für maximale Prozessbetriebszeit
- Stabile Kristalltemperatur aufgrund des pneumatisch angetriebenen Kristallwechsels (Einheiten anderer Hersteller verwenden wärmeerzeugende Motoren)
- 1/8-Zoll-Wasserkühlschläuche sorgen für thermische Stabilität und gestatten flexible Sensorplatzierung
- Optionaler Kristallverschluss erhältlich
In Kombination mit dem INFICON IC6-Dünnschichtabscheidungs-Controller wechselt der INFICON Crystal 12-Sensor seine Kristalle automatisch, ohne Ihren Prozess zu unterbrechen
- Enthält 12 Kristalle mit zuverlässigem, automatischem Wechsel für maximale Prozessbetriebszeit
- Leicht auszubauendes Karussell ermöglicht den raschen Austausch aller 12 Kristalle
- Stabile Kristalltemperatur durch pneumatisch angetriebenen Kristallwechsel (Einheiten anderer Hersteller verwenden wärmeerzeugende Motoren)
- Leicht abnehmbare vordere Abscheidungsabschirmung schützt die Kristalle und das Karussell vor Materialansammlungen und minimiert so die Notwendigkeit, den gesamten Sensor zur Wartung auszubauen
Für anspruchsvolle Prozesse mit sehr dicken Schichten und mehreren verschiedenen Materialien
- Six crystals
- Position feedback (Controller dependent)
- Adjustable length (with optional flange)
- Rugged design
Vielzahl von Quarzkristallmonitor(QCM)-Sensordurchführungen für unterschiedliche QCM-Sensor- und Kammerkonfigurationen
- Ausführungen mit 2,54-cm-(1 Zoll)-Bolzendurchführung oder CF40-Durchführung (2,75-Zoll-ConFlat®) erhältlich
- Erhältliche Ultra-Torr-O-Ringverschraubungen
- Kundenspezifische Durchführungskonfigurationen erhältlich
- Andere Durchführungsbauarten auf Anfrage erhältlich
Ausführungen mit 2,54 cm (1 Zoll) Bolzen oder CF40 (2,75 Zoll ConFlat®) mit durchgebohrten Rohrverschraubungen erhältlich
- Ausführungen mit 2,54 cm (1 Zoll) Bolzen oder CF40 (2,75 Zoll ConFlat®) erhältlich
- Erhältlich mit durchgebohrten Rohrverschraubungen