Heiß-Ionisationsmessgeräte

Trigon™ BCG552

ATM bis Ultrahochvakuum TripleGauge®

BPG552-Trigon

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Personal information
Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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Das TripleGauge® BCG552 kombiniert 3 Vakuumsensorelemente in einem Sensorflansch. Dieses Flaggschiff der neuen Trigon™-Familie bietet einen extrem weiten Messbereich von UHV (5 x10-10) bis zu ATM (1500 mbar). Mit seinem zusätzlichen ATM-Sensor ist der BCG552 prädestiniert für den Einsatz zur Differenzdruckmessung und die Verwendung als Vakuumschalter in verschiedenen Anwendungen.

Das fixierte Bayard-Alpert-Doppelfilament bietet überragende Genauigkeit, Wiederholbarkeit und Langlebigkeit im UHV- und HV-Bereich, während das miniaturisierte Kapazitätsmembranmanometer im ATM-Bereich überragend genau und gasartunabhängig misst.

Vorteile

  • 3 + 1 Sensorelemente für einen extrem großen Messbereich, Kostenreduzierung und Platzersparnis
  • zwei Filamente für das Bayard-Alpert-System
  • Gasartunabhängige Druckmessung oberhalb von 10 Torr bietet eine zuverlässigere Steuerung in Load Lock Kammer Anwendungen für bei beliebigem Gasgemisch.
  • Differenzdruckmessung eliminiert Mess-Unsicherheiten im Zusammenhang mit atmosphärischen Druckschwankungen
  • Automatische Hochvakuum-Pirani-Abgleich reduziert manuelle Bedienereingriffe
  • Galvanisch getrennte Elektronik zur Vermeidung von elektrischen Fremd- und Streuströmen
  • Gleitender Emissionsmodus zur Vermeidung von Drucksprüngen und Einfrieren beim Umschalten des Emissionsstroms
  • Schaltpunkt-Relais
  • Helles und großes OLED-Display (90° drehbar) mit Benutzerschnittstelle
  • Analoger Ausgang, serielle RS232C-Schnittstelle, EtherCAT®
  • Kompatibel nutzbar mit der VGC50x Controller Serie
  • Rückwärtskompatibel zum TripleGauge® BCG450
  • RoHS-konform

Typische Anwendungen

  • Druckmessung in Halbleiterprozessen, Transfer- und Schleusenkammern (Load lock)
  • Industrielle Beschichtung/ optische und dekorative Schichten
  • Allgemeine Vakuummessung und-steuerung an Systemen im ATM/ Niedrig- bis Ultrahochvakuumbereich

Spezifikationen

Messbereich (Luft, O2, CO, N2)5 × 10-10 … 1500 mbar
Genauigkeit 
950 ... 1050 mbar±2.5% des Messwertes
50 ... 950 mbar±5% des Messwertes
1 × 10-8 … 50 mbar±15 des Messwertes
Reproduzierbarkeit5% des Messwertes, 1 × 10-8 … 1050 mbar (nach 10 min. Stabilisierung)
Dem Vakuum ausgesetzte MaterialienEdelstahl, NiFe, Nickel (plated), Hastelloy, Glas, Iridium, Yttriumoxid (Y2O3), Ni, Wolfram

Artikelnummer

BCG552 Ordering Information
BCG552 Ordering Information

Ersatzteile

ArtikelnummerBeschreibung
354-423BCG552 Spare sensor head, KF25
354-424BCG552 Spare sensor head, CF40
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