Trigon™ BCG552
ATM bis Ultrahochvakuum TripleGauge®
Revolutionieren Sie Ihre Vakuummessgeräte-Erfahrung mit uns!
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Das TripleGauge® BCG552 kombiniert 3 Vakuumsensorelemente in einem Sensorflansch. Dieses Flaggschiff der neuen Trigon™-Familie bietet einen extrem weiten Messbereich von UHV (5 x10-10) bis zu ATM (1500 mbar). Mit seinem zusätzlichen ATM-Sensor ist der BCG552 prädestiniert für den Einsatz zur Differenzdruckmessung und die Verwendung als Vakuumschalter in verschiedenen Anwendungen.
Das fixierte Bayard-Alpert-Doppelfilament bietet überragende Genauigkeit, Wiederholbarkeit und Langlebigkeit im UHV- und HV-Bereich, während das miniaturisierte Kapazitätsmembranmanometer im ATM-Bereich überragend genau und gasartunabhängig misst.
Vorteile
- 3 + 1 Sensorelemente für einen extrem großen Messbereich, Kostenreduzierung und Platzersparnis
- zwei Filamente für das Bayard-Alpert-System
- Gasartunabhängige Druckmessung oberhalb von 10 Torr bietet eine zuverlässigere Steuerung in Load Lock Kammer Anwendungen für bei beliebigem Gasgemisch.
- Differenzdruckmessung eliminiert Mess-Unsicherheiten im Zusammenhang mit atmosphärischen Druckschwankungen
- Automatische Hochvakuum-Pirani-Abgleich reduziert manuelle Bedienereingriffe
- Galvanisch getrennte Elektronik zur Vermeidung von elektrischen
- Gleitender Emissionsmodus zur Vermeidung von Drucksprüngen und Einfrieren beim Umschalten des Emissionsstroms
- Schaltpunkt-Relais
- Helles und großes OLED-Display (90° drehbar) mit Benutzerschnittstelle
- Analoger Ausgang, serielle RS232C-Schnittstelle, EtherCAT®
- Kompatibel nutzbar mit der VGC50x Controller Serie
- Rückwärtskompatibel zum TripleGauge® BCG450
- RoHS-konform
Typische Anwendungen
- Druckmessung in Halbleiterprozessen, Transfer- und Schleusenkammern (Load lock)
- Industrielle Beschichtung/ optische und dekorative Schichten
- Allgemeine Vakuummessung und-steuerung an Systemen im ATM/ Niedrig- bis Ultrahochvakuumbereich
Spezifikationen
| Messbereich (Luft, O2, CO, N2) | 5 × 10-10 … 1500 mbar |
| Genauigkeit | |
| 950 ... 1050 mbar | ±2.5% des Messwertes |
| 50 ... 950 mbar | ±5% des Messwertes |
| 1 × 10-8 … 50 mbar | ±15 des Messwertes |
| Reproduzierbarkeit | 5% des Messwertes, 1 × 10-8 … 1050 mbar (nach 10 min. Stabilisierung) |
| Dem Vakuum ausgesetzte Materialien | Edelstahl, NiFe, Nickel (plated), Hastelloy, Glas, Iridium, Yttriumoxid (Y2O3), Ni, Wolfram |
Artikelnummer
Ersatzteile
| Artikelnummer | Beschreibung |
| 354-423 | BCG552 Spare sensor head, KF25 |
| 354-424 | BCG552 Spare sensor head, CF40 |
