Kapazitätsmanometer

SKY® CDG160D

160°C temperature controlled, full scale 1 … 1000 Torr / mbar

Drop-in-Optionen

Revolutionieren Sie Ihre Vakuummessgeräte-Erfahrung mit uns!

INFICON SKY CDG160D-Hochtemperaturmanometer sind die beste Wahl für präzise Gesamtdruckmessung und -regelung. CDG160D-Messgeräte sind zur besseren Leistung in anspruchsvollen Halbleiter- und Plasmaprozessen auf 160 °C temperaturgeregelt.

Sie sind erhältlich für Vollskalabereiche von 1 Torr bis 1000 Torr mit allen gebräuchlichen Flanschtypen und Feldbusschnittstellen und liefern ein lineares, vom Gastyp unabhängiges Drucksignal von 0 bis 10 V. Kapazitätsmanometer von INFICON verwenden eine ultrareine korrosionsbeständige Keramikmembran aus Aluminiumoxid.

Die Vorteile des Keramiksensors sind eine bessere Signalstabilität, schnellere Wiederherstellung von Atmosphärendruck, kurze Aufheizdauer und eine außerordentlich lange Lebensdauer. INFICON CDGs sind qualitativ hochwertige, kosteneffektive Drucksensoren für anspruchsvolle Halbleiter-, Plasma- und Vakuumanwendungen.

Vorteile

Niedrigere Gesamtbetriebskosten, 50 % schnellere Aufheizung und energieeffizienter niedriger Stromverbrauch
Einfache Integration, breites Spektrum an Vollskalen, Flanschen und Schnittstellen, standardmäßig mit zwei Sollwerten
Einfacher Nullbefehl per Tastendruck oder Remotesignal, Nullpunktverschiebung einstellbar
Diagnoseanschluss für schnelle Wartungsarbeiten
Zwei Jahre Garantie, längere Lebensdauer mit fortschrittlichem Heizkonzept und Messgerätschutz
Keine langfristige Neukalibrierung aufgrund von exzellenter Signalstabilität und Wiederholbarkeit, selbst bei anspruchsvollen Plasmaanwendungen
Compliance und Standards: CE, EN, UL, SEMI, RoHS

Typische Anwendungen

Ätz-, CVD-, PVD- und andere Halbleiterfertigungsprozesse
Chemische und korrosive Prozesse mit hohen Temperaturen
Allgemeine Dünnschicht- und Vakuumprozesse, die Messgerätschutz erfordern

Spezifikationen

1000 ... 500 Torr / mbar

200 ... 1 Torr / mbar

Genauigkeit	% of reading	0.4

Auflösung	percent FS	0.003

Ausgangssignal (analog)	V (dc)	0 … +10

Ansprechzeit	ms	30

Werkstoffe gegen Vakuum		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L)

Genauigkeit	% of reading	0.4

Auflösung	percent FS	0.003

Ausgangssignal (analog)	V (dc)	0 … +10

Ansprechzeit	ms	30

Werkstoffe gegen Vakuum		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L)

Spezifikationen herunterladen

Artikelnummer

Downloads

Sprache auswählen

Broschüren

SKY® CDG100-200D Brochure

pdf • 2,5 MB • Englisch • Broschüren

Vacuum Instrumentation with EtherCAT Broschüre

pdf • 3,3 MB • Englisch • Broschüren

Datenblätter

SKY® CDG160D CDG200D Datasheet

pdf • 739,2 KB • Englisch • Datenblätter

CDG160D 1 ... 1000 Torr / mbar JA

pdf • 1,0 MB • Japanisch • Datenblätter

CDG160D 1 ... 1000 Torr / mbar KO

pdf • 909,4 KB • Koreanisch • Datenblätter

CDG160D 1 ... 1000 Torr / mbar ZH

pdf • 539,6 KB • Chinesisch • Datenblätter

CDG160D 1 ... 1000 Torr / mbar

pdf • 906,4 KB • Spanisch • Datenblätter

CDG160D 1 ... 1000 Torr / mbar DE

pdf • 864,4 KB • Deutsch • Datenblätter

Maßzeichnungen

CDG160D dimension drawing

jpg • 586,2 KB • Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch • Maßzeichnungen

Handbücher

SKY® CDG045D-100D, Edge® CDG025D2-100D2, Stripe® CDG045Dhs-200Dhs EtherCAT New Generation Communication Protocol

pdf • 2,1 MB • Englisch • Bedienungsanleitungen

CDG160D, CDG200D manual

pdf • 1,4 MB • Chinesisch • Bedienungsanleitungen

CDG160D, CDG200D - Gebrauchsanleitung current loop (DE)

pdf • 1,1 MB • Deutsch • Bedienungsanleitungen

CDG160D, CDG200D - manual

pdf • 1,3 MB • Englisch • Bedienungsanleitungen

CDG160D, CDG200D - manual current loop (EN)

pdf • 1,1 MB • Englisch • Bedienungsanleitungen

Gebrauchsanleitung CDG160D CDG200D DE

pdf • 1,3 MB • Deutsch • Bedienungsanleitungen

SKY® CDG025D-200D RS232C Communication Protocol

pdf • 187,4 KB • Englisch • Bedienungsanleitungen

SKY® CDG025D-200D RS232C Kommunikationsanleitung

pdf • 188,5 KB • Deutsch • Bedienungsanleitungen

SKY® CDG045D-100D, Edge® CDG025D2-100D2, Stripe® CDG045Dhs-100Dhs EtherCAT Communication Protocol

pdf • 972,1 KB • Englisch • Bedienungsanleitungen

SKY® CDG045D-200D DeviceNet Communication Protocol

pdf • 474,8 KB • Englisch • Bedienungsanleitungen

SKY® CDG045D-200D PROFIBUS Communication Protocol

pdf • 592,8 KB • Englisch • Bedienungsanleitungen

3D Dateien

SKY® CDG160D 3D 4-VCR-f P-NET

zip • 354,3 KB • 3D Dokumente

SKY® CDG160D 3D 16KF 15DSUB

stp • 937,0 KB • 3D Dokumente

SKY® CDG160D 3D Tube E-CAT

zip • 239,9 KB • 3D Dokumente

SKY® CDG160D 3D 16KF E-CAT

zip • 242,6 KB • 3D Dokumente

SKY® CDG160D 3D 8-VCR-f 9DSUB

zip • 374,9 KB • 3D Dokumente

SKY® CDG160D 3D 4-VCR-f 9DSUB

zip • 543,2 KB • 3D Dokumente

SKY® CDG160D 3D 4-VCR-m 9DSUB

zip • 565,8 KB • 3D Dokumente

SKY® CDG160D 3D 16KF 9DSUB

zip • 536,8 KB • 3D Dokumente

SKY® CDG160D 3D 8-VCR-f Long E-CAT

zip • 934,4 KB • 3D Dokumente

SKY® CDG160D 3D 4-VCR-m E-CAT

zip • 954,3 KB • 3D Dokumente

SKY® CDG160D 3D 8-VCR-f Long P-NET

zip • 366,1 KB • 3D Dokumente

SKY® CDG160D 3D 8-VCR-f P-NET

zip • 296,1 KB • 3D Dokumente

SKY® CDG160D 3D 4-VCR-m P-NET

zip • 385,9 KB • 3D Dokumente

SKY® CDG160D 3D Tube P-NET

zip • 287,2 KB • 3D Dokumente

SKY® CDG160D 3D 16KF P-NET

zip • 293,1 KB • 3D Dokumente

SKY® CDG160D 3D 8-VCR-f Long P-BUS

zip • 821,9 KB • 3D Dokumente

SKY® CDG160D 3D 4-VCR-f P-BUS

zip • 820,0 KB • 3D Dokumente

SKY® CDG160D 3D 4-VCR-m P-BUS

zip • 839,7 KB • 3D Dokumente

SKY® CDG160D 3D 8-VCR-f Long D-NET

zip • 853,0 KB • 3D Dokumente

SKY CDG160D 16CF 9DSUB

zip • 542,8 KB • 3D Dokumente

SKY CDG160D 16CF E-CAT

zip • 250,3 KB • 3D Dokumente

SKY CDG160D 4-VCR-f E-CAT

zip • 768,0 KB • 3D Dokumente

SKY CDG160D 4-VCR-m D-NET

zip • 869,0 KB • 3D Dokumente

SKY CDG160D 8-VCR-f long 9DSUB

zip • 544,7 KB • 3D Dokumente

Andere

SKY® CDG045D, Edge®, EtherCAT New Generation ESI V2

zip • 10,5 KB • Japanisch, Englisch

SKY® CDG045D EtherCAT ESI

xml • 1,3 MB • Englisch

SKY® CDG045D Software EDS

zip • 7,6 KB • Englisch

SKY® CDG045D Software GSD

zip • 1,6 KB • Englisch

Das Produkt wird in folgenden Märkten verwendet

Analytische Instrumente

Der Markt für analytische Instrumente unterstützt mit seinen hochentwickelten Werkzeugen Anwender in einem breiten Feld von Anwendungen und Märkten.

Mehr Erfahren

Display

INFICONs Sensoren für den Display-Markt nutzen eine Reihe von Prozesssensortechnologien, darunter Dünnschichtregler, Restgasanalyse, optische Emissionsspektrometrie, Quarzkristall-Mikrowaagen, Leckdetektoren, Druckmesser und RF-Messungen.

Mehr Erfahren

Mobilität & Automotive

Zuverlässige Lecktests in einer sich entwickelnden Industrie. Der Wandel in der Automobilindustrie macht Dichtheitsprüfung noch bedeutsamer.

Mehr Erfahren

Pharma & Medizin

Produktivitätssteigerung und Unterstützung bei der Einhaltung von Compliance-Standards und Qualitätsanforderungen in der Pharmaindustrie

Mehr Erfahren

Forschung & Ausbildung

Durch Grundlagenforschung die innersten Geheimnisse des Universums lüften. Wir liefern heute die Innovationen, die die Technologien von morgen ermöglichen.

Mehr Erfahren

Halbleiterhersteller

Sensoren, die auf eine breite Palette von Anwendungen zugeschnitten sind und Produktsicherheit, höhere Erträge und maximale Produktivität gewährleisten.

Mehr Erfahren

Vorteile

Typische Anwendungen

Spezifikationen

Artikelnummer

Downloads

Verwandte Produkte