Kapazitätsmanometer

SKY® CDG160D

160°C temperature controlled, full scale 1 … 1000 Torr / mbar

SKY-CDG-100D-160D-200D

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Personal information
Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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INFICON SKY CDG160D-Hochtemperaturmanometer sind die beste Wahl für präzise Gesamtdruckmessung und -regelung. CDG160D-Messgeräte sind zur besseren Leistung in anspruchsvollen Halbleiter- und Plasmaprozessen auf 160 °C temperaturgeregelt. 

Sie sind erhältlich für Vollskalabereiche von 1 Torr bis 1000 Torr mit allen gebräuchlichen Flanschtypen und Feldbusschnittstellen und liefern ein lineares, vom Gastyp unabhängiges Drucksignal von 0 bis 10 V. Kapazitätsmanometer von INFICON verwenden eine ultrareine korrosionsbeständige Keramikmembran aus Aluminiumoxid. 

Die Vorteile des Keramiksensors sind eine bessere Signalstabilität, schnellere Wiederherstellung von Atmosphärendruck, kurze Aufheizdauer und eine außerordentlich lange Lebensdauer. INFICON CDGs sind qualitativ hochwertige, kosteneffektive Drucksensoren für anspruchsvolle Halbleiter-, Plasma- und Vakuumanwendungen.

Vorteile

  • Niedrigere Gesamtbetriebskosten, 50 % schnellere Aufheizung und energieeffizienter niedriger Stromverbrauch
  • Einfache Integration, breites Spektrum an Vollskalen, Flanschen und Schnittstellen, standardmäßig mit zwei Sollwerten
  • Einfacher Nullbefehl per Tastendruck oder Remotesignal, Nullpunktverschiebung einstellbar
  • Diagnoseanschluss für schnelle Wartungsarbeiten
  • Zwei Jahre Garantie, längere Lebensdauer mit fortschrittlichem Heizkonzept und Messgerätschutz
  • Keine langfristige Neukalibrierung aufgrund von exzellenter Signalstabilität und Wiederholbarkeit, selbst bei anspruchsvollen Plasmaanwendungen
  • Compliance und Standards: CE, EN, UL, SEMI, RoHS

Typische Anwendungen

  • Ätz-, CVD-, PVD- und andere Halbleiterfertigungsprozesse
  • Chemische und korrosive Prozesse mit hohen Temperaturen
  • Allgemeine Dünnschicht- und Vakuumprozesse, die Messgerätschutz erfordern

Spezifikationen

1000 ... 500 Torr / mbar
200 ... 1 Torr / mbar
Genauigkeit % of reading0.4
Auflösungpercent FS0.003
Ausgangssignal (analog)V (dc)0 … +10
Ansprechzeit ms30
Werkstoffe gegen Vakuum Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L)
   
Genauigkeit % of reading0.4
Auflösungpercent FS0.003
Ausgangssignal (analog)V (dc)0 … +10
Ansprechzeit ms30
Werkstoffe gegen Vakuum Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L)
   
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Artikelnummer

CDG160_200D Ordering information
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