VGC094
Die modulare Komplettlösung für die Vakuumsteuerung.

Revolutionieren Sie Ihre Vakuummessgeräte-Erfahrung mit uns!
Der VGC094 ist eine repräsentative Lösung für die Messung, Steuerung und Datenaufzeichnung von Vakuumprozessen. Er ist mit der breiten Palette der passiven Messgeräte von INFICON kompatibel und kann den gesamten Vakuumdruckbereich von 1×10-11 bis 1000 mbar überwachen. Der VGC094 kann vom Benutzer so konfiguriert werden, dass er bis zu vier passive Messköpfe (Pirani-Messköpfe, invertierte Magnetron-Messköpfe) über zwei Messkarten steuert. Der Controller bietet die neuesten digitalen Kommunikationsschnittstellen (USB, RS485, Ethernet) und kann dank individueller Schnittstellenkarten (PROFIBUS, PROFINET) an die spezifischen Kommunikationsstandards des Anwenders angepasst werden. Der VGC094 ist die ideale Lösung für Anwendungen mit hohen Leistungsanforderungen, wie z. B. Betrieb über große Entfernungen, hohe Temperaturen oder hohe ionisierende Strahlung.
Vorteile
- Komplette Lösung für die Überwachung und Steuerung des Vakuums von 1×10-11 bis 1000 mbar, auch auf große Entfernung
- Heller und klarer Bildschirm
- Bargraph-Anzeige mit Sollwert- und Druck-Zeit-Darstellung
- Einfache Sensorbedienung mit intuitiven und geführten Menüs für Parameter-, Sensor- oder allgemeine Einstellungen
- Daten- und Parameter-Log-Funktion mit USB-Anschluss (Rückseite) und USB-Flash-Laufwerk (Vorderseite)
- Hohe Auflösung - 16 Bit A/D-Wandler
- Vier programmierbare 0 bis 10 V Schreiberausgänge
- Vier frei definierbare Sollwerte pro Kanal mit einstellbarer Hysterese
- RS485, Ethernet, optional RS232 und Feldbus-Kommunikationsschnittstellen
Spezifikationen
| Messkanal | 4 |
| Bildschirm | LCD, LED-Hintergrundbeleuchtung |
| Messrate | 100 s-1 |
| Anzeigerate | 10 s-1 |
| Messbereich | 1 x 10-11 ... 1000 mbar |
| Messeinheit (wählbar) | mbar, Torr, hPa, Micron, V |
| Steckplätze für Einsteckkarten | 2 Messkarten 1 Schnittstellenkarte |
| Schaltfunktions-Relais | 4 |
| Fehler-Relais | 1 |
| Kanalzuweisung | frei zuordenbar |
| Einstellungsbereich | sensorabhängig |
| Hysterese | einstellbar |
| Relais-Kontaktart | potenzialfreier Umschaltkontakt |
| Belastung max. | 30 V (ac) / 1.5 A |
| 30 V (dc) / 1.5 A | |
| Anschluss CONTROL | D-sub, 25-pin, female |
| Analogausgänge | 4 |
| Spannungsbereich / Strombereich | 0 ... 10 V / 4 ... 20 mA |
| Schnittstelle (digital) | USB-Slave, Master, RS485, Ethernet, USB Typ A (Flash-Laufwerk), USB Typ B, M12 5-polig FCC68/RJ45 |
| Spannung | 100 ... 240 V (ac) |
| Frequenz | 50 ... 60 Hz |
| Betriebstemperatur | +5 ... +50°C |
Bestellinformationen
Pirani-Messgeräte
| Druckbereich | 8×10-4 … 1000 mbar |
| Durchführung | Interne Dichtung | Glas | Elastomer (FPM) |
| Ausheiztemperaturbereich | ≤100°C |
| Toleranz gegenüber ionisierender Strahlung | - |
| Merkmale | Wolfram (W) Glühfaden |
| Druckbereich | 8×10-4 … 1000 mbar |
| Durchführung | Interne Dichtung | AI2O3 Keramik | Metall |
| Ausheiztemperaturbereich | ≤250°C |
| Toleranz gegenüber ionisierender Strahlung | 106 Gy |
| Merkmale | Nickel (Ni)-Faden, korrosionsbeständig |
| Druckbereich | 8×10-4 … 1000 mbar |
| Durchführung | Interne Dichtung | AI2O3 Keramik | Metall |
| Ausheiztemperaturbereich | ≤250°C |
| Toleranz gegenüber ionisierender Strahlung | 106 Gy |
| Merkmale | Wolfram (W) Glühfaden |
Kaltkathodenmessgeräte mit invertiertem Magnetron
| Druckbereich | 2×10-9 mbar to 5×10-3 mbar |
| Durchführung | Interne Dichtung | AI2O3 Keramik | Elastomer (FPM) |
| Ausheiztemperaturbereich | ≤150°C |
| Toleranz gegenüber ionisierender Strahlung | - |
| Immunität gegen magnetische Felder | - |
| Merkmale | Koax-Stecker |
| Druckbereich | 1×10-10 mbar to 5×10-3 mbar |
| Durchführung | Interne Dichtung | AI2O3 Keramik | Metall |
| Ausheiztemperaturbereich | ≤250°C |
| Toleranz gegenüber ionisierender Strahlung | 107 Gy |
| Immunität gegen magnetische Felder | - |
| Merkmale | Triax-Stecker |
| Druckbereich | 1×10-11 mbar to 5×10-3 mbar |
| Durchführung | Interne Dichtung | AI2O3 Keramik | Metall |
| Ausheiztemperaturbereich | ≤250°C |
| Toleranz gegenüber ionisierender Strahlung | 107 Gy |
| Immunität gegen magnetische Felder | - |
| Merkmale | Triax-Stecker |
| Druckbereich | 1×10-8 mbar to 5×10-3 mbar |
| Durchführung | Interne Dichtung | AI2O3 Keramik | Metall |
| Ausheiztemperaturbereich | ≤230°C |
| Toleranz gegenüber ionisierender Strahlung | 107 Gy |
| Immunität gegen magnetische Felder | |
| Axial | ≤280 mT |
| Radial | ≤180 mT |
| Merkmale | Prinzip der doppelten Ionisationskammer Koaxialer Anschluss |
Ansicht Kontroller
Konfigurationen für Messungen
| Karten-Typ | Doppel Piranimesskarte (PI 300D, DN or DL) Doppel Kaltkathoden Messkarte (PE 300 DC9) Pirani- und Kaltkahtoden Kombination-Messkarte (CP 300 C9, C10, T11, T11L) |
| Karten-Typ | Schnittstellenkarte IF 300 A, B, C, P, IF301 P, IF 500 PN |
Messkarten - Pirani
| Messkanäle | Doppel Pirani (2 Sensoren) |
| Messgerätetyp | PSG010 / PSG018 |
| Maximaler Arbeitsabstand | |
| Pirani | ≤100 m |
| Kaltkathode | - |
| Messkanäle | Doppel Pirani (2 Sensoren) |
| Messgerätetyp | PSG017 |
| Maximaler Arbeitsabstand | |
| Pirani | ≤100 m |
| Kaltkathode | - |
| Messkanäle | Doppel Pirani (2 Sensoren) |
| Messgerätetyp | PSG010 / PSG018 |
| Maximaler Arbeitsabstand | |
| Pirani | ≤500 m |
| Kaltkathode | - |
Messkarten - Kaltkathode
| Messkanäle | Doppel Kaltkathode (2 Sensoren) |
| Messgerätetyp | MAG050 / MAG060 |
| Maximaler Arbeitsabstand | - |
| Pirani | - |
| Kaltkathode | ≤100 m1) |
1) ≤40 m (MAG050) / 6 m (MAG060) bei Verwendung des unteren Messbereichs | |
Messkarten - Pirani / Kaltkathoden-Kombination
| Messkanäle | Kombination Pirani + Kaltkathode |
| Messgerätetyp | PSG010 or PSG018 MAG050 or MAG60 or MAG084 |
| Maximaler Arbeitsabstand | |
| Pirani | ≤100 m |
| Kaltkathode | ≤100 m 1) |
1) ≤40 m (MAG050) / 6 m (MAG060) bei Verwendung des unteren Messbereichs | |
| Messkanäle | Kombination Pirani + Kaltkathode |
| Messgerätetyp | PSG010 or PSG018 MAG050 or MAG60 |
| Maximaler Arbeitsabstand | |
| Pirani | ≤100 m |
| Kaltkathode | ≤100 m 1) |
1) ≤40 m (MAG050) / 6 m (MAG060) bei Verwendung des unteren Messbereichs | |
| Messkanäle | Kombination Pirani + Kaltkathode |
| Messgerätetyp | PSG010 or PSG018 MAG070 |
| Maximaler Arbeitsabstand | |
| Pirani | ≤100 m |
| Kaltkathode | ≤500 m |
| Messkanäle | Kombination Pirani + Kaltkathode |
| Messgerätetyp | PSG010 or PSG018 MAG070 |
| Maximaler Arbeitsabstand | |
| Pirani | ≤500 m |
| Kaltkathode | ≤500 m |
Schnittstellenkarten
| Kommunikationsprotokoll | RS232C-Schnittstelle und Relais (1,5 A) |
| Kommunikationsprotokoll | RS232-Schnittstelle und Relais (4,0 A) |
| Kommunikationsprotokoll | RS422-Schnittstelle und Relais (1,5 A) |
| Kommunikationsprotokoll | PROFIBUS-Schnittstelle und Relais (1,5 A) |
| Kommunikationsprotokoll | PROFIBUS-Schnittstelle und Halbleiterrelais (0,5 A) |
| Kommunikationsprotokoll | PROFINET-Schnittstelle |























