1. VGC094
MESSGERÄTCONTROLLER

VGC094

Die modulare Komplettlösung für die Vakuumsteuerung.

VGC094
Drop-in-Optionen

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Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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Der VGC094 ist eine repräsentative Lösung für die Messung, Steuerung und Datenaufzeichnung von Vakuumprozessen. Er ist mit der breiten Palette der passiven Messgeräte von INFICON kompatibel und kann den gesamten Vakuumdruckbereich von 1×10-11 bis 1000 mbar überwachen. Der VGC094 kann vom Benutzer so konfiguriert werden, dass er bis zu vier passive Messköpfe (Pirani-Messköpfe, invertierte Magnetron-Messköpfe) über zwei Messkarten steuert. Der Controller bietet die neuesten digitalen Kommunikationsschnittstellen (USB, RS485, Ethernet) und kann dank individueller Schnittstellenkarten (PROFIBUS, PROFINET) an die spezifischen Kommunikationsstandards des Anwenders angepasst werden. Der VGC094 ist die ideale Lösung für Anwendungen mit hohen Leistungsanforderungen, wie z. B. Betrieb über große Entfernungen, hohe Temperaturen oder hohe ionisierende Strahlung.

Vorteile

  • Komplette Lösung für die Überwachung und Steuerung des Vakuums von 1×10-11 bis 1000 mbar, auch auf große Entfernung
  • Heller und klarer Bildschirm
  • Bargraph-Anzeige mit Sollwert- und Druck-Zeit-Darstellung
  • Einfache Sensorbedienung mit intuitiven und geführten Menüs für Parameter-, Sensor- oder allgemeine Einstellungen
  • Daten- und Parameter-Log-Funktion mit USB-Anschluss (Rückseite) und USB-Flash-Laufwerk (Vorderseite)
  • Hohe Auflösung - 16 Bit A/D-Wandler
  • Vier programmierbare 0 bis 10 V Schreiberausgänge
  • Vier frei definierbare Sollwerte pro Kanal mit einstellbarer Hysterese
  • RS485, Ethernet, optional RS232 und Feldbus-Kommunikationsschnittstellen

Pirani-Messgeräte

PSG010
PSG017
PSG018
Druckbereich8×10-4 … 1000 mbar
Durchführung | Interne DichtungGlas | Elastomer (FPM)
Ausheiztemperaturbereich≤100°C
Toleranz gegenüber ionisierender Strahlung-
MerkmaleWolfram (W) Glühfaden
Druckbereich8×10-4 … 1000 mbar
Durchführung | Interne DichtungAI2O3 Keramik | Metall
Ausheiztemperaturbereich≤250°C
Toleranz gegenüber ionisierender Strahlung106 Gy
MerkmaleNickel (Ni)-Faden, korrosionsbeständig
Druckbereich8×10-4 … 1000 mbar
Durchführung | Interne DichtungAI2O3 Keramik | Metall
Ausheiztemperaturbereich≤250°C
Toleranz gegenüber ionisierender Strahlung106 Gy
MerkmaleWolfram (W) Glühfaden

Kaltkathodenmessgeräte mit invertiertem Magnetron

MAG050
MAG060
MAG070
MAG084
Druckbereich 2×10-9 mbar to 5×10-3 mbar
Durchführung | Interne DichtungAI2O3  Keramik | Elastomer (FPM)
Ausheiztemperaturbereich≤150°C
Toleranz gegenüber ionisierender Strahlung-
Immunität gegen magnetische Felder-
MerkmaleKoax-Stecker
Druckbereich1×10-10 mbar to 5×10-3 mbar
Durchführung | Interne DichtungAI2O3 Keramik | Metall
Ausheiztemperaturbereich≤250°C
Toleranz gegenüber ionisierender Strahlung107 Gy
Immunität gegen magnetische Felder-
MerkmaleTriax-Stecker
Druckbereich1×10-11 mbar to 5×10-3 mbar
Durchführung | Interne DichtungAI2O3 Keramik | Metall
Ausheiztemperaturbereich≤250°C
Toleranz gegenüber ionisierender Strahlung107 Gy
Immunität gegen magnetische Felder-
MerkmaleTriax-Stecker
Druckbereich1×10-8 mbar to 5×10-3 mbar
Durchführung | Interne DichtungAI2O3 Keramik | Metall
Ausheiztemperaturbereich≤230°C
Toleranz gegenüber ionisierender Strahlung107 Gy
Immunität gegen magnetische Felder 
Axial≤280 mT
Radial≤180 mT
MerkmalePrinzip der doppelten Ionisationskammer
Koaxialer Anschluss

Ansicht Kontroller

VGC094
VGC094 Back
VGC094 Back

Konfigurationen für Messungen

Einschub A + B
Einschub C
Karten-Typ

Doppel Piranimesskarte (PI 300D, DN or DL)

Doppel Kaltkathoden Messkarte (PE 300 DC9)

Pirani- und Kaltkahtoden Kombination-Messkarte (CP 300 C9, C10, T11, T11L)

Karten-Typ

Schnittstellenkarte

IF 300 A, B, C, P, IF301 P, IF 500 PN

Messkarten - Pirani

PI 300 D
PI 300 DN
PI 300 DL
MesskanäleDoppel Pirani (2 Sensoren)
MessgerätetypPSG010 / PSG018
Maximaler Arbeitsabstand 
Pirani≤100 m
Kaltkathode-
MesskanäleDoppel Pirani (2 Sensoren)
MessgerätetypPSG017
Maximaler Arbeitsabstand 
Pirani≤100 m
Kaltkathode-
MesskanäleDoppel Pirani (2 Sensoren)
MessgerätetypPSG010 / PSG018
Maximaler Arbeitsabstand 
Pirani≤500 m
Kaltkathode-

Messkarten - Kaltkathode

PE 300 DC9
PE 300 DC9
MesskanäleDoppel Kaltkathode (2 Sensoren)
MessgerätetypMAG050 / MAG060
Maximaler Arbeitsabstand-
Pirani-
Kaltkathode≤100 m1)

 

1) ≤40 m (MAG050) / 6 m (MAG060) bei Verwendung des unteren Messbereichs

Messkarten - Pirani / Kaltkathoden-Kombination

CP 300 C9
CP 300 C10
CP 300 T11
CP 300 T11L
MesskanäleKombination Pirani + Kaltkathode
MessgerätetypPSG010 or PSG018
MAG050 or MAG60 or MAG084
Maximaler Arbeitsabstand 
Pirani≤100 m
Kaltkathode≤100 m 1)

1) ≤40 m (MAG050) / 6 m (MAG060) bei Verwendung des unteren Messbereichs
MesskanäleKombination Pirani + Kaltkathode
MessgerätetypPSG010 or PSG018
MAG050 or MAG60
Maximaler Arbeitsabstand 
Pirani≤100 m
Kaltkathode≤100 m 1)

1) ≤40 m (MAG050) / 6 m (MAG060) bei Verwendung des unteren Messbereichs
MesskanäleKombination Pirani + Kaltkathode
MessgerätetypPSG010 or PSG018
MAG070
Maximaler Arbeitsabstand 
Pirani≤100 m
Kaltkathode≤500 m
MesskanäleKombination Pirani + Kaltkathode
MessgerätetypPSG010 or PSG018
MAG070
Maximaler Arbeitsabstand 
Pirani≤500 m
Kaltkathode≤500 m

Schnittstellenkarten

IF 300 A
IF 300 B
IF 300 C
IF 300 P
IF 301 P
IF 500 PN
KommunikationsprotokollRS232C-Schnittstelle und Relais (1,5 A)
KommunikationsprotokollRS232-Schnittstelle und Relais (4,0 A)
KommunikationsprotokollRS422-Schnittstelle und Relais (1,5 A)
KommunikationsprotokollPROFIBUS-Schnittstelle und Relais (1,5 A)
KommunikationsprotokollPROFIBUS-Schnittstelle und Halbleiterrelais (0,5 A)
KommunikationsprotokollPROFINET-Schnittstelle

Spezifikationen

VGC094
VGC094
Messkanal4
BildschirmLCD, LED-Hintergrundbeleuchtung
Messrate100 s-1
Anzeigerate10 s-1
Messbereich1 x 10-11 ... 1000  mbar
Messeinheit (wählbar)mbar, Torr, hPa, Micron, V
Steckplätze für Einsteckkarten2 Messkarten
1 Schnittstellenkarte
Schaltfunktions-Relais4
Fehler-Relais1
Kanalzuweisungfrei zuordenbar
Einstellungsbereichsensorabhängig
Hystereseeinstellbar
Relais-Kontaktartpotenzialfreier Umschaltkontakt
Belastung max.30 V (ac) / 1.5 A
30 V (dc) / 1.5 A
Anschluss CONTROLD-sub, 25-pin, female
Analogausgänge4
Spannungsbereich / Strombereich0 ... 10 V / 4 ... 20 mA
Schnittstelle (digital)USB-Slave, Master, RS485, Ethernet, USB Typ A (Flash-Laufwerk), 
USB Typ B, M12 5-polig FCC68/RJ45
Spannung100 ... 240 V (ac)
Frequenz50 ... 60 Hz
Betriebstemperatur+5 ... +50°C

Artikelnummer

Artikelnummer
Zubehör
398-401VGC094 Vakuum-Messgerät-Controller
 Kabel für PSG010 80°C
Kabelstecker: Amphenol / Amphenol
BG548402-T3 m (9.9 ft)
BG548403-T6 m (19.8 ft)
BG548450-T10 m (33 ft)
BG548451-T15 m (49 ft)
  
 Kabel für PSG017/018 80°C
Kabelsteckverbinder: Amphenol / Push-Pull selbstverriegelnd
BG548308-T3 m (9.9 ft)
BG548309-T6 m (19.8 ft)
BG548456-T10 m (33 ft)
BG548457-T15 m (49 ft)
  
 Kabel für PSG017/018 250°C
Kabelsteckverbinder: Amphenol / Push-Pull selbstverriegelnd
BG548414-T3 m (9.9 ft)
BG548465-T6 m (19.8 ft)
BG448047-T10 m (33 ft)
BG448043-T15 m (49 ft)
  
 Verlängerungskabel für PSG010/017/018 80°C
Kabelsteckverbinder: Amphenol / Amphenol
BG548466-T10 m (33 ft)
BG548468-T20 m (65 ft)
BG548470-T30 m (99 ft)
  
 Kabel für MAG050/060/084 80°C
Kabelanschlüsse: Bajonett, SHV / SHV
BG548406-T3 m (9.9 ft)
BG548407-T6 m (19.8 ft)
BG548419-T10 m (33 ft)
BG548483-T15 m (49 ft)
  
 Kabel für MAG050/060/084 250°C
Kabelanschlüsse: Bajonett, SHV / SHV
BG548542-T3 m (9.9 ft)
BG548543-T6 m (19.8 ft)
BG448045-T10 m (33 ft)
BG548989-T15 m (49 ft)
  
 Kabel für MAG070 80°C
Kabelanschlüsse: Push-Pull selbstverriegelnd, Triax / Triax
BG548306-T3 m (9.9 ft)
BG548317-T6 m (19.8 ft)
BG548490-T10 m (33 ft)
BG548491-T15 m (49 ft)
  
 Messtafeln
IG546920-TDoppelte Pirani-Messplatte, PI 300 D
IG549212-TDoppelte Pirani-Messplatte, PI 300 DL
IG549214-TDoppelte Pirani-Messplatte, PI 300 DN
IG441375-TDoppelte Pirani-Messplatte, PE 300 DC9
IG441000-TPirani/Kaltkathoden-Messplatte, CP 300 C9
IG441114-TPirani/Kaltkathoden-Messplatte, CP 300 C10
IG441080-TPirani/Kaltkathoden-Messplatte, CP 300 T11
IG441120-TPirani/Kaltkathoden-Messplatte, CP 300 T11L
  
 Schnittstellenkarten
IG441130-TSchnittstelle und Relaiskarte, IF300A RS232C
IG441250-TSchnittstelle und Relaiskarte, IF300B RS232
IG441390-TSchnittstelle und Relaiskarte, IF300C RS422
IG441395-TSchnittstelle und Relaiskarte, IF300P PROFIBUS
IG441396-TSchnittstelle und Relaiskarte, IF301P PROFIBUS semi relay
398-421Schnittstellenkarte, IF500 PROFINET
  
 Pirani-Messgeräte
350-400PSG010 DN 10 ISO-KF
350-430PSG017 DN 16 ISO-KF
350-431PSG017 DN 16 CF-F
350-420PSG018 DN 16 ISO-KF
350-424PSG018 DN 16 CF-F
350-423PSG018 DN 40 CF-F
  
 Kaltkathoden-Messgeräte
399-840MAG050 DN 25 ISO-KF
399-841MAG050 DN 40 ISO-KF
399-842MAG050 DN 40 CF-F
399-845MAG060 DN 40 ISO-KF
399-846MAG060 DN 40 CF-F
399-847MAG070 DN 40 ISO-KF
399-848MAG070 DN 40 CF-F
399-849MAG084 DN 40 ISO-KF
399-850MAG084 DN 40 CF-F
Das Produkt wird auf den folgenden Märkten verwendet
Analytical-Instrumentation-Navi
Analytische Instrumente

Der Markt für analytische Instrumente unterstützt mit seinen hochentwickelten Werkzeugen Anwender in einem breiten Feld von Anwendungen und Märkten.

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Battery-Market-Navi
Batterie

Von der Elektrodenproduktion bis zur End-of-Line-Prüfung

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Display-Navi
Display

INFICONs Sensoren für den Display-Markt nutzen eine Reihe von Prozesssensortechnologien, darunter Dünnschichtregler, Restgasanalyse, optische Emissionsspektrometrie, Quarzkristall-Mikrowaagen, Leckdetektoren, Druckmesser und RF-Messungen.

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Energie

Die herkömmliche Öl- und Gasförderung hat in den letzten Jahrzehnten eine steigende Nachfrage verzeichnet, die durch das Bevölkerungswachstum, die Verstädterung und die konsumierende Mittelschicht in den Entwicklungsländern angetrieben wird. 

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Industrielle Fertigung

Vakuum wird immer häufiger eingesetzt, um eine saubere Umgebung zu gewährleisten und wird für verschiedene Prozesse benötigt, die ohne Vakuum nicht funktionieren. 

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Mobilität & Automotive

Zuverlässige Lecktests in einer sich entwickelnden Industrie. Der Wandel in der Automobilindustrie macht Dichtheitsprüfung noch bedeutsamer.

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Pharma & Medizin

Produktivitätssteigerung und Unterstützung bei der Einhaltung von Compliance-Standards und Qualitätsanforderungen in der Pharmaindustrie 

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Forschung & Ausbildung

Durch Grundlagenforschung die innersten Geheimnisse des Universums lüften. Wir liefern heute die Innovationen, die die Technologien von morgen ermöglichen.

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Halbleiterhersteller

Sensoren, die auf eine breite Palette von Anwendungen zugeschnitten sind und Produktsicherheit, höhere Erträge und maximale Produktivität gewährleisten.

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