MESSGERÄTCONTROLLER

VGC094

Die modulare Komplettlösung für die Vakuumsteuerung.

Preise und Verfügbarkeit
VGC094
Drop-in-Optionen

Revolutionieren Sie Ihre Vakuummessgeräte-Erfahrung mit uns!

Der VGC094 ist eine repräsentative Lösung für die Messung, Steuerung und Datenaufzeichnung von Vakuumprozessen. Er ist mit der breiten Palette der passiven Messgeräte von INFICON kompatibel und kann den gesamten Vakuumdruckbereich von 1×10-11 bis 1000 mbar überwachen. Der VGC094 kann vom Benutzer so konfiguriert werden, dass er bis zu vier passive Messköpfe (Pirani-Messköpfe, invertierte Magnetron-Messköpfe) über zwei Messkarten steuert. Der Controller bietet die neuesten digitalen Kommunikationsschnittstellen (USB, RS485, Ethernet) und kann dank individueller Schnittstellenkarten (PROFIBUS, PROFINET) an die spezifischen Kommunikationsstandards des Anwenders angepasst werden. Der VGC094 ist die ideale Lösung für Anwendungen mit hohen Leistungsanforderungen, wie z. B. Betrieb über große Entfernungen, hohe Temperaturen oder hohe ionisierende Strahlung.

Vorteile

  • Komplette Lösung für die Überwachung und Steuerung des Vakuums von 1×10-11 bis 1000 mbar, auch auf große Entfernung
  • Heller und klarer Bildschirm
  • Bargraph-Anzeige mit Sollwert- und Druck-Zeit-Darstellung
  • Einfache Sensorbedienung mit intuitiven und geführten Menüs für Parameter-, Sensor- oder allgemeine Einstellungen
  • Daten- und Parameter-Log-Funktion mit USB-Anschluss (Rückseite) und USB-Flash-Laufwerk (Vorderseite)
  • Hohe Auflösung - 16 Bit A/D-Wandler
  • Vier programmierbare 0 bis 10 V Schreiberausgänge
  • Vier frei definierbare Sollwerte pro Kanal mit einstellbarer Hysterese
  • RS485, Ethernet, optional RS232 und Feldbus-Kommunikationsschnittstellen

Spezifikationen

VGC094
VGC094
Messkanal4
BildschirmLCD, LED-Hintergrundbeleuchtung
Messrate100 s-1
Anzeigerate10 s-1
Messbereich1 x 10-11 ... 1000  mbar
Messeinheit (wählbar)mbar, Torr, hPa, Micron, V
Steckplätze für Einsteckkarten2 Messkarten
1 Schnittstellenkarte
Schaltfunktions-Relais4
Fehler-Relais1
Kanalzuweisungfrei zuordenbar
Einstellungsbereichsensorabhängig
Hystereseeinstellbar
Relais-Kontaktartpotenzialfreier Umschaltkontakt
Belastung max.30 V (ac) / 1.5 A
30 V (dc) / 1.5 A
Anschluss CONTROLD-sub, 25-pin, female
Analogausgänge4
Spannungsbereich / Strombereich0 ... 10 V / 4 ... 20 mA
Schnittstelle (digital)USB-Slave, Master, RS485, Ethernet, USB Typ A (Flash-Laufwerk), 
USB Typ B, M12 5-polig FCC68/RJ45
Spannung100 ... 240 V (ac)
Frequenz50 ... 60 Hz
Betriebstemperatur+5 ... +50°C

Bestellinformationen

Produkt
Zubehör
VGC094
398-401
PSG010 DN 10 ISO-KF
350-400
PSG018 DN 16 ISO-KF
350-420
PSG018 DN 40 CF-F
350-423
PSG018 DN 16 CF-F
350-424
IF500PN Schnittstellenkarte
398-421
MAG050 Magnetron Gauge DN25KF
399-840
MAG050 Magnetron Gauge DN40KF
399-841
MAG050 Magnetron Gauge DN40CF
399-842
MAG060 Magnetron Gauge DN40KF
399-845
MAG060 Magnetron Gauge DN40CF
399-846
MAG070 Magnetron Gauge DN40CF
399-848
MAG084 DN 40 ISO-KF
399-849
MAG084 DN 40 CF-F
399-850
Kabel 15m/49ft, 250°C, AM_LM4, Pirani
BG448043-T
Kabel 10m/33ft, 250°C, SHV_SHV, CoCa
BG448045-T
Kabel 10m/33ft, 250°C, AM_LM4, Pirani
BG448047-T
Kabel 3m/9.9ft, 80°C, LMT_LMT, CoCa
BG548306-T
Kabel 3m/9,9ft, 80°C, AM_LM4, Pirani
BG548308-T
Kabel 6m/19,8ft, 80°C, AM_LM4, Pirani
BG548309-T
Kabel 6m/19.8ft, 80°C, LMT_LMT, CoCa
BG548317-T
Kabel 3m/9.9ft, 80°C, AM_AM, Pirani
BG548402-T
Kabel 6m/19.8ft, 80°C, AM_AM, Pirani
BG548403-T
Kabel 3m/9.9ft, 80°C, SHV_SHV, CoCa
BG548406-T
Kabel 6m/19.8ft, 80°C, SHV_SHV, CoCa
BG548407-T
Kabel 3m/9.9ft, 250°C, AM_LM4, Pirani
BG548414-T
Kabel 10m/33ft, 80°C, SHV_SHV, CoCa
BG548419-T
Kabel 10m/33ft, 80°C, AM_AM, Pirani
BG548450-T
Kabel 15m/49ft, 80°C, AM_AM, Pirani
BG548451-T
Kabel 10m/33ft, 80°C, AM_LM4, Pirani
BG548456-T
Kabel 15m/49ft, 80°C, AM_LM4, Pirani
BG548457-T
Kabel 6m/19.8ft, 250°C, AM_LM4, Pirani
BG548465-T
Kabel, verl. 10m/33ft, 80°C,AM_AM,Pirani
BG548466-T
Kabel, verl. 20m/65ft, 80°C,AM_AM,Pirani
BG548468-T
Kabel, verl. 30m/99ft,80°C,AM_AM, Pirani
BG548470-T
Kabel 15m/49ft, 80°C, SHV_SHV, CoCa
BG548483-T
Kabel 10m/33ft, 80°C, LMT_LMT, CoCa
BG548490-T
Kabel 15m/49ft, 80°C, LMT_LMT, CoCa
BG548491-T
Kabel 3m/9.9ft, 250°C, SHV_SHV, CoCa
BG548542-T
Kabel 6m/19.8ft, 250°C, SHV_SHV, CoCa
BG548543-T
Kabel 15m/49ft, 250°C, SHV_SHV, CoCa
BG548989-T
CP300C9 Pirani/Kaltkathoden-Messkarte
IG441000-T
CP300T11 Pirani/Kaltkathoden-Messkarte
IG441080-T
CP300C10 Pirani/Kaltkathoden-Messkarte
IG441114-T
CP 300 T11L Pirani/Kaltkath.-Messkarte
IG441120-T
IF300A Schnittstellen- und Relaiskarte
IG441130-T
IF300B Schnittstellen- und Relaiskarte
IG441250-T
PE 300 DC9 Doppelkaltkathoden-Messkarte
IG441375-T
IF300C Schnittstellen- und Relaiskarte
IG441390-T
IF300P Schnittstellen- und Relaiskarte
IG441395-T
IF301P Schnittstellen- und Relaiskarte
IG441396-T
PI300D Doppelpirani-Messkarte
IG546920-T
PI300DL Doppelpirani-Messkarte
IG549212-T
PI300DN Doppelpirani-Messkarte
IG549214-T

Pirani-Messgeräte

PSG010
PSG017
PSG018
Druckbereich8×10-4 … 1000 mbar
Durchführung | Interne DichtungGlas | Elastomer (FPM)
Ausheiztemperaturbereich≤100°C
Toleranz gegenüber ionisierender Strahlung-
MerkmaleWolfram (W) Glühfaden
Druckbereich8×10-4 … 1000 mbar
Durchführung | Interne DichtungAI2O3 Keramik | Metall
Ausheiztemperaturbereich≤250°C
Toleranz gegenüber ionisierender Strahlung106 Gy
MerkmaleNickel (Ni)-Faden, korrosionsbeständig
Druckbereich8×10-4 … 1000 mbar
Durchführung | Interne DichtungAI2O3 Keramik | Metall
Ausheiztemperaturbereich≤250°C
Toleranz gegenüber ionisierender Strahlung106 Gy
MerkmaleWolfram (W) Glühfaden

Kaltkathodenmessgeräte mit invertiertem Magnetron

MAG050
MAG060
MAG070
MAG084
Druckbereich 2×10-9 mbar to 5×10-3 mbar
Durchführung | Interne DichtungAI2O Keramik | Elastomer (FPM)
Ausheiztemperaturbereich≤150°C
Toleranz gegenüber ionisierender Strahlung-
Immunität gegen magnetische Felder-
MerkmaleKoax-Stecker
Druckbereich1×10-10 mbar to 5×10-3 mbar
Durchführung | Interne DichtungAI2O3 Keramik | Metall
Ausheiztemperaturbereich≤250°C
Toleranz gegenüber ionisierender Strahlung107 Gy
Immunität gegen magnetische Felder-
MerkmaleTriax-Stecker
Druckbereich1×10-11 mbar to 5×10-3 mbar
Durchführung | Interne DichtungAI2O3 Keramik | Metall
Ausheiztemperaturbereich≤250°C
Toleranz gegenüber ionisierender Strahlung107 Gy
Immunität gegen magnetische Felder-
MerkmaleTriax-Stecker
Druckbereich1×10-8 mbar to 5×10-3 mbar
Durchführung | Interne DichtungAI2O3 Keramik | Metall
Ausheiztemperaturbereich≤230°C
Toleranz gegenüber ionisierender Strahlung107 Gy
Immunität gegen magnetische Felder 
Axial≤280 mT
Radial≤180 mT
MerkmalePrinzip der doppelten Ionisationskammer
Koaxialer Anschluss

Ansicht Kontroller

Konfigurationen für Messungen

Einschub A + B
Einschub C
Karten-Typ

Doppel Piranimesskarte (PI 300D, DN or DL)

Doppel Kaltkathoden Messkarte (PE 300 DC9)

Pirani- und Kaltkahtoden Kombination-Messkarte (CP 300 C9, C10, T11, T11L)

Karten-Typ

Schnittstellenkarte

IF 300 A, B, C, P, IF301 P, IF 500 PN

Messkarten - Pirani

PI 300 D
PI 300 DN
PI 300 DL
MesskanäleDoppel Pirani (2 Sensoren)
MessgerätetypPSG010 / PSG018
Maximaler Arbeitsabstand 
Pirani≤100 m
Kaltkathode-
MesskanäleDoppel Pirani (2 Sensoren)
MessgerätetypPSG017
Maximaler Arbeitsabstand 
Pirani≤100 m
Kaltkathode-
MesskanäleDoppel Pirani (2 Sensoren)
MessgerätetypPSG010 / PSG018
Maximaler Arbeitsabstand 
Pirani≤500 m
Kaltkathode-

Messkarten - Kaltkathode

PE 300 DC9
PE 300 DC9
MesskanäleDoppel Kaltkathode (2 Sensoren)
MessgerätetypMAG050 / MAG060
Maximaler Arbeitsabstand-
Pirani-
Kaltkathode≤100 m1)

 

1) ≤40 m (MAG050) / 6 m (MAG060) bei Verwendung des unteren Messbereichs

Messkarten - Pirani / Kaltkathoden-Kombination

CP 300 C9
CP 300 C10
CP 300 T11
CP 300 T11L
MesskanäleKombination Pirani + Kaltkathode
MessgerätetypPSG010 or PSG018
MAG050 or MAG60 or MAG084
Maximaler Arbeitsabstand 
Pirani≤100 m
Kaltkathode≤100 m 1)

1) ≤40 m (MAG050) / 6 m (MAG060) bei Verwendung des unteren Messbereichs
MesskanäleKombination Pirani + Kaltkathode
MessgerätetypPSG010 or PSG018
MAG050 or MAG60
Maximaler Arbeitsabstand 
Pirani≤100 m
Kaltkathode≤100 m 1)

1) ≤40 m (MAG050) / 6 m (MAG060) bei Verwendung des unteren Messbereichs
MesskanäleKombination Pirani + Kaltkathode
MessgerätetypPSG010 or PSG018
MAG070
Maximaler Arbeitsabstand 
Pirani≤100 m
Kaltkathode≤500 m
MesskanäleKombination Pirani + Kaltkathode
MessgerätetypPSG010 or PSG018
MAG070
Maximaler Arbeitsabstand 
Pirani≤500 m
Kaltkathode≤500 m

Schnittstellenkarten

IF 300 A
IF 300 B
IF 300 C
IF 300 P
IF 301 P
IF 500 PN
KommunikationsprotokollRS232C-Schnittstelle und Relais (1,5 A)
KommunikationsprotokollRS232-Schnittstelle und Relais (4,0 A)
KommunikationsprotokollRS422-Schnittstelle und Relais (1,5 A)
KommunikationsprotokollPROFIBUS-Schnittstelle und Relais (1,5 A)
KommunikationsprotokollPROFIBUS-Schnittstelle und Halbleiterrelais (0,5 A)
KommunikationsprotokollPROFINET-Schnittstelle
Das Produkt wird auf den folgenden Märkten verwendet
Analytical-Instrumentation-Navi
Analytische Instrumente

Der Markt für analytische Instrumente unterstützt mit seinen hochentwickelten Werkzeugen Anwender in einem breiten Feld von Anwendungen und Märkten.

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Battery-Market-Navi
Batterie

Von der Elektrodenproduktion bis zur End-of-Line-Prüfung

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Display-Navi
Display

INFICONs Sensoren für den Display-Markt nutzen eine Reihe von Prozesssensortechnologien, darunter Dünnschichtregler, Restgasanalyse, optische Emissionsspektrometrie, Quarzkristall-Mikrowaagen, Leckdetektoren, Druckmesser und RF-Messungen.

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energy-market-navi
Energie

Die herkömmliche Öl- und Gasförderung hat in den letzten Jahrzehnten eine steigende Nachfrage verzeichnet, die durch das Bevölkerungswachstum, die Verstädterung und die konsumierende Mittelschicht in den Entwicklungsländern angetrieben wird. 

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Industrial-Manufacturing-Navi-2
Industrielle Fertigung

Vakuum wird immer häufiger eingesetzt, um eine saubere Umgebung zu gewährleisten und wird für verschiedene Prozesse benötigt, die ohne Vakuum nicht funktionieren. 

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Mobility_and_Automotive-Navi
Mobilität & Automotive

Zuverlässige Lecktests in einer sich entwickelnden Industrie. Der Wandel in der Automobilindustrie macht Dichtheitsprüfung noch bedeutsamer.

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Pharma_and_Medical-Navi
Pharma & Medizin

Produktivitätssteigerung und Unterstützung bei der Einhaltung von Compliance-Standards und Qualitätsanforderungen in der Pharmaindustrie 

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Research-and-Academia-Navi
Forschung & Ausbildung

Durch Grundlagenforschung die innersten Geheimnisse des Universums lüften. Wir liefern heute die Innovationen, die die Technologien von morgen ermöglichen.

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Semiconductur-IDM-and-Foundry-Navi
Halbleiterhersteller

Sensoren, die auf eine breite Palette von Anwendungen zugeschnitten sind und Produktsicherheit, höhere Erträge und maximale Produktivität gewährleisten.

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