Massenspektrometer
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Massenspektrometer
Transpector® APX mit Multi-Pressure-Inlet-System
Fortgeschrittener Prozessexperte für einen breiten Prozessdruckbereich z.B. für ALD/CVD und ETCH
Transpector® APX mit Multi-Pressure-Inlet-System
- xParts beschichtete Teile für längere Lebensdauer in rauer Chemie
- Mehrdruck-Probenahmeeinlass
- Nachweisgrenze unter 10 ppb
- Branchenführende Ansauggeschwindigkeit
Massenspektrometrie
Transpector® APX ALD für spezialisierten Prozessdruck Bereich
Fortgeschrittener Prozessexperte ALD/CVD und ETCH mit definierten Prozessdruckbereich
Transpector® APX ALD für spezialisierten Prozessdruck Bereich
- xParts beschichtete Teile für längere Lebensdauer in rauer Chemie
- Hochdruck-Eindruckeinlass für hohe Temperaturen
- Nachweisgrenze unter 10 ppb
- Branchenführendes Saugvermögen
Massenspektrometer
Transpector® CPX
Kompakter Prozessexperte für erweiterte Prozessüberwachung
Transpector® CPX
- HexBlock-Mehrdruck-Probenahmeeinlass
- Nachweisgrenze unter 200 ppb
- Branchenführende Ansauggeschwindigkeit
- 30% weniger Systemvolumen
Massenspektrometer
Transpector® XPR 3+
Extreme PVD-Prozessüberwachung Quadrupol-Massenspektrometer
Transpector® XPR 3+
- Branchenführender maximaler Betriebsdruck
- Optionale Verriegelung des Überdruckabsperrventils
- Scannt bis zu 100 amu
Massenspektrometer
Transpector® MPH
Hochleistungs-Quadrupol-Massenspektrometer
Transpector® MPH
- Neun Dekaden Dynamikbereich
- Branchenführende Datenerfassungsrate
- Auswechselbare Sensoren und Elektronik
- Scannt bis zu 300 amu
Massenspektrometer
Transpector® MPS
Mehrzweck-Quadrupol-Massenspektrometer
Transpector® MPS
- Neun Dekaden Dynamikbereich
- Auswechselbare Sensoren und Elektronik
- Optionaler kontinuierlicher Dynoden-Elektronenvervielfacher
- Scannt bis zu 200 amu
Massenspektrometer
Transpector® SPS
Prozessüberwachung im Zieldruckbereich
Transpector® SPS
- Gezielte Hochdruckprozesse
- Einzelner Druck-Probenahme-Eingang
- Nachweisgrenze unter 1 ppm
- Integriertes Differenzialpumpsystem