Massenspektrometer
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Massenspektrometer
Transpector APX Multidruck
Fortgeschrittener Prozessexperte für Multidruck ALD/CVD und Ätzen
Transpector APX Multidruck
- xParts beschichtete Teile für längere Lebensdauer in rauer Chemie
- Mehrdruck-Probenahmeeinlass
- Nachweisgrenze unter 10 ppb
- Branchenführende Ansauggeschwindigkeit
Massenspektrometrie
Transpector® APX ALD Einzeldruck
Fortgeschrittener Prozessexperte für Single Pressure ALD/CVD und Ätzen
Transpector® APX ALD Einzeldruck
- xParts beschichtete Teile für längere Lebensdauer in rauer Chemie
- Hochdruck-Eindruckeinlass für hohe Temperaturen
- Nachweisgrenze unter 10 ppb
- Branchenführendes Saugvermögen
Massenspektrometer
Transpector® XPR 3+
Extreme PVD-Prozessüberwachung Quadrupol-Massenspektrometer
Transpector® XPR 3+
- Branchenführender maximaler Betriebsdruck
- Optionale Verriegelung des Überdruckabsperrventils
- Scannt bis zu 100 amu
Massenspektrometer
Transpector® MPH
Hochleistungs-Quadrupol-Massenspektrometer
Transpector® MPH
- Neun Dekaden Dynamikbereich
- Branchenführende Datenerfassungsrate
- Auswechselbare Sensoren und Elektronik
- Scannt bis zu 300 amu
Massenspektrometer
Transpector® MPS
Mehrzweck-Quadrupol-Massenspektrometer
Transpector® MPS
- Neun Dekaden Dynamikbereich
- Auswechselbare Sensoren und Elektronik
- Optionaler kontinuierlicher Dynoden-Elektronenvervielfacher
- Scannt bis zu 200 amu
Massenspektrometer
Transpector® CPM 3
Vielseitige Prozessüberwachung von der Basislinie bis zum Prozessdruck
Transpector® CPM 3
- Idealer Halbleiter-Prozessmonitor
- Mehrdruck-Probenahmeeingang
- Nachweisgrenze unter 1 ppm
- Integrierte Differenzialpumpe
Massenspektrometer
Transpector® SPS
Prozessüberwachung im Zieldruckbereich
Transpector® SPS
- Gezielte Hochdruckprozesse
- Einzelner Druck-Probenahme-Eingang
- Nachweisgrenze unter 1 ppm
- Integriertes Differenzialpumpsystem
Massenspektrometer
Gerätewagen für Transpector® CPM
Ermöglicht den Einsatz des Transpector CPM als mobiles Instrument zur Fehlersuche
Gerätewagen für Transpector® CPM
- Flexibel genug, um einen Transpector CPM dorthin zu bringen, wo Sie ihn brauchen
- Eine kleine Stellfläche, die auch in enge Räume passt
- Ein komplettes System, das alles enthält, was für den Betrieb des Transpector CPM benötigt wird
Massenspektrometer
QMG 700
QMG 700 Analytisches Massenspektrometer zum Durchbrechen von Nachweisgrenzen und zum Vorantreiben Ihres Prozesses auf die nächste Stufe der Innovation
QMG 700
- Massenbereichvarianten von 1-512 AMU
- Dynamischer Bereich über mehr als neun Messdekaden
- Extrem hohe Messgeschwindigkeiten: 0,125 ms/amu
- MDPP < 10E-16 mbar