PPG550
ATM TO MEDIUM VACUUM GAUGE
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Das neue INFICON Pirani-Piezo-Kombinationsmessgerät (PPG550) basiert auf der modernsten MEMS-Sensortechnologie (Microelctromechanical Systems).
Die im MEMS-Verfahren miniaturisierte Pirani-/Piezo-Kombinationstechnologie ermöglicht die Konstruktion eines sehr kleinen und damit platzsparenden Sensors, wodurch die Bauhöhe des Messgerätes sehr gering gehalten werden kann.
Neben dem Vorteil der geringen Bauhöhe bietet ein Pirani auf Basis der MEMS-Technologie auch den Vorteil, im HV-Bereich tiefer und genauer zu messen als ein klassischer Pirani. In Kombination mit einem MEMS-Piezosensor, der im gleichen Flansch montiert ist, wird das Pirani-Messgerät zu einem echten Vakuum-Weitbereichsmessgerät, das den Messbereich weit über die üblichen 1000 mbar hinaus, auch in Richtung Atmosphäre, erweitert. Gleichzeitig ermöglicht der MEMS-Piezosensor eine gasartunabhängige Druckmessung im Bereich von 2 ... 1333 mbar. Ein weiterer Vorteil der genannten Technologien ist die erhöhte Resistenz gegenüber Beschleunigungskräften und Vibrationen.
Nicht zuletzt kann der neue INFICON PPG550 als direkter Ersatz für die so genannten MKS910 "DualTrans™ MicroPirani™ - Absolute Piezo Vacuum Pressure Transducer" sowie MKS925 "Micro Pirani™ Vacuum Pressure Transducer"
eingesetzt werden. Inficon bietet die gleichen Anschlüsse/ Pinbelegung, Analogausgang und RS232/485 Kompatibilität.
Vorteile
- Gasartunabhängig über 2 mbar - ermöglicht sicheres Entlüften mit jedem Gasgemisch
- Hohe Genauigkeit und Reproduzierbarkeit an Atmosphäre - für zuverlässige, schnelle Atmosphärendruckerfassung
- Vielseitig in der Einbaulage - bietet technische Freiheit im Werkzeugdesign
- Wählbares analoges Ausgangssignal für einfache Systemintegration
- Digitale Schnittstellen RS232/ RS485
- Konformität & Normen: CE, EN, UL, CSA, RoHS
- Kann direkt als Ersatz für MKS910 "DualTrans™ MicroPirani™ - Absolute Piezo-Vakuumdruckmessumformer" sowie MKS925 "Micro Pirani™ Vakuumdruckmessumformer" eingesetzt werden.
- DualTrans™ MicroPirani™ sind eingetragene Warenzeichen von MKS Instruments, Andover, MA
- Konformität und Normen: CE, EN, UL, CSA, RoHS
Typische Anwendungen
- Verwendung in Analysegeräten/Massenspektrometern
- Physikalische Abscheidung aus der Gasphase
- Vorlaufmessung
- Gasbackfilling
Spezifikationen
| Measurement range (N2) | mbar | 1x10-6 … 1333 |
| Accuracy | ||
| 100 ... 1333 mbar | % of reading | 0.5 |
| 800 ... 1099 mbar | % of reading | 0.25 |
| 100 ... 800 mbar | % of reading | 0.5 |
| 2 ... 99.9 mbar | % of reading | 1 |
| 1 x 10-4 ... 1.99 mbar | % of reading | 5 |
| 1 x 10-5 ... 9.99 x 10-5 mbar | % of reading | 25 |
| Temperature compensation | °C | +10 … +50 |
| Temperature measurement absolute accuracy | °C | +/-1.5 (0 … +80) |
| Supply voltage at the gauge | V (dc) | +12 … 30 |
