Pirani-Messgeräte

PPG550

ATM TO MEDIUM VACUUM GAUGE

Pirani-PPG570
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Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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Das neue INFICON Pirani-Piezo-Kombinationsmessgerät (PPG550) basiert auf der modernsten MEMS-Sensortechnologie (Microelctromechanical Systems). 

Die im MEMS-Verfahren miniaturisierte Pirani-/Piezo-Kombinationstechnologie ermöglicht die Konstruktion eines sehr kleinen und damit platzsparenden Sensors, wodurch die Bauhöhe des Messgerätes sehr gering gehalten werden kann. 

Neben dem Vorteil der geringen Bauhöhe bietet ein Pirani auf Basis der MEMS-Technologie auch den Vorteil, im HV-Bereich tiefer und genauer zu messen als ein klassischer Pirani. In Kombination mit einem MEMS-Piezosensor, der im gleichen Flansch montiert ist, wird das Pirani-Messgerät zu einem echten Vakuum-Weitbereichsmessgerät, das den Messbereich weit über die üblichen 1000 mbar hinaus, auch in Richtung Atmosphäre, erweitert. Gleichzeitig ermöglicht der MEMS-Piezosensor eine gasartunabhängige Druckmessung im Bereich von 2 ... 1333 mbar. Ein weiterer Vorteil der genannten Technologien ist die erhöhte Resistenz gegenüber Beschleunigungskräften und Vibrationen. 

Nicht zuletzt kann der neue INFICON PPG550 als direkter Ersatz für die so genannten MKS910 "DualTrans™ MicroPirani™ - Absolute Piezo Vacuum Pressure Transducer" sowie MKS925 "Micro Pirani™ Vacuum Pressure Transducer" 
eingesetzt werden. Inficon bietet die gleichen Anschlüsse/ Pinbelegung, Analogausgang und RS232/485 Kompatibilität.

Vorteile

  • Gasartunabhängig über 2 mbar - ermöglicht sicheres Entlüften mit jedem Gasgemisch 
  • Hohe Genauigkeit und Reproduzierbarkeit an Atmosphäre - für zuverlässige, schnelle Atmosphärendruckerfassung 
  • Vielseitig in der Einbaulage - bietet technische Freiheit im Werkzeugdesign 
  • Wählbares analoges Ausgangssignal für einfache Systemintegration 
  • Digitale Schnittstellen RS232/ RS485 
  • Konformität & Normen: CE, EN, UL, CSA, RoHS 
  • Kann direkt als Ersatz für MKS910 "DualTrans™ MicroPirani™ - Absolute Piezo-Vakuumdruckmessumformer" sowie MKS925 "Micro Pirani™ Vakuumdruckmessumformer" eingesetzt werden.
  • DualTrans™ MicroPirani™ sind eingetragene Warenzeichen von MKS Instruments, Andover, MA 
  • Konformität und Normen: CE, EN, UL, CSA, RoHS

Typische Anwendungen

  • Verwendung in Analysegeräten/Massenspektrometern 
  • Physikalische Abscheidung aus der Gasphase 
  • Vorlaufmessung 
  • Gasbackfilling

Spezifikationen

Measurement range (N2)mbar1x10-6 … 1333
   
Accuracy  
100 ... 1333 mbar% of reading0.5
800 ... 1099 mbar% of reading0.25
100 ... 800 mbar% of reading0.5
2 ... 99.9 mbar% of reading1
1 x 10-4 ... 1.99 mbar% of reading5
1 x 10-5 ... 9.99 x 10-5 mbar% of reading25
   
Temperature compensation°C+10 … +50
   
Temperature measurement absolute accuracy°C+/-1.5 (0 … +80)
   
Supply voltage at the gaugeV (dc)+12 … 30
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Artikelnummer

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