Vakuum-Messgerät-Controller
IM540
IM540
Vielseitiges Heißkathoden-Ionisations-Passivmessgerät
Drop-in-Optionen
Revolutionieren Sie Ihre Vakuummessgeräte-Erfahrung mit uns!
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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Der Vakuummesskontroller IM540 ist ein vielseitiger Ionisationsmesscontroller, der eine komplette Vakuummessung und -regelung im Bereich zwischen 10-12 mbar und Atmosphärendruck bietet. Abhängig von der Anwendung und den Bedürfnissen des Anwenders ist der IM540 Ihre Komplettlösung, da er bis zu 4 verschiedene Prinzipien der Vakuummessung kombinieren kann - Pirani, kapazitive Membran, Bayard-Alpert und Extraktor. Dieser Kontroller ermöglicht eine zuverlässige und vollständige Integration in komplexe Prozesssteuerungssysteme.
Vorteile
- Unterstützt den Betrieb des IE414 (Bayard-Alpert) und des IE514 (Extraktor) Heißkathoden-Ionisationsmessgerätes
- Anschluss und Betrieb von zwei aktiven Messgeräten der Baureihen PSG5xx (Pirani), PCG55x (Pirani-Capacitance diaphragm) und CDG (Capacitance diaphragm) möglich
- Einfache Bedienung mit menügeführter Anzeige für Parameter-, Sensor- oder allgemeine Einstellungen
- Eingebaute RS232-Kommunikationsschnittstelle, optional PROFIBUS DP-Schnittstellenkarte (IF 540 P)
- Zwei Stellwerte (optional 7) mit einstellbarer Hysterese
- Hohe Auflösung - 16 Bit A/D-Wandler
- 2 programmierbare 0 bis 10 V Schreiberausgänge
Messgeräte Übersicht
IE414
IE514
PSG5xx
PCG55x
CDG (e.g. CDG025D, CDG045D)
| Messgerätprinzip | Bayard-Alpert, Heißkathoden-Ionisation |
| Druckbereich | 2×10-11 ... 1×10-2 mbar (mit modularem Emissionsstrom) |
| Ausheiztemperatur | ≤400 °C |
| Messgerätprinzip | Extraktor, Heißkathoden-Ionisation |
| Druckbereich | 2×10-12 ... 1×10-4 mbar |
| Ausheiztemperatur | ≤400 °C |
| Messgerätprinzip | Pirani (aktiver Messgerätetyp) |
| Druckbereich | 8x10-4 mbar to ATM |
| Ausheiztemperatur | ≤80 / 250 °C (modellabhängig) |
| Messgerätprinzip | Pirani-Kapazitätsmembran (aktiver Manometer-Typ) |
| Druckbereich | 5×10-5 mbar to 1.5×103 mbar |
| Ausheiztemperatur | ≤80 / 250 °C (modellabhängig) |
| Messgerätprinzip | Kapazitätsmembran (aktiver Messgerätetyp) |
| Druckbereich | 4 vom Benutzer wählbare Druckdekaden |
| Ausheiztemperatur | modellabhängig |
Konfigurationen für Messungen
Kanal 1 + 2
Kanal 3 + 4
| Messgerätprinzip | Heißkathoden-Ionisationsmessgerät |
| Messgerätmodell | IE414 (Bayard-Alpert) IE514 (Extraktor) |
| Messgerätprinzip | Aktives Messgerät: Pirani Pirani-Kapazitätsmembran Kapazitätsdiaphragma |
| Messgerätmodell | PSG5xx PCG55x CDG (e.g. CDG025D, CDG045D) |
Schnittstellenkarte
IF 540 P
IF 540 P
| Kommunikationsprotokoll | PROFIBUS-Schnittstelle und Relais (1,5 A) |
Spezifikationen
IM540
IM540
| Messkanal | 4 |
| Anzeige | LCD, LED-Hintergrundbeleuchtung |
| Anzeigegeschwindigkeit | 4 s-1 |
| Messbereich | 1 x 10-12 ... 1100 mbar |
| Messeinheit (wählbar) | mbar, Torr, Pa, hPa, Mikron, V |
| Messbereichsumschaltung | automatische oder dekadische Vorwahl (vorab auswählbar) |
| Schreiberausgang | logarithmisch 0 bis 10 V (1 V / dez) oder linear 0 bis 10 V |
| Schnittstelle | RS232C, PROFIBUS (mit IF540P) |
| Schaltschwellen (Einzelbetrieb oder Intervall) | 2 mit potentialfreiem Umschaltkontakt |
| Spannungsversorgung | 90 ... 264 V (ac) |
| Frequenz | 47 ... 63 Hz |
| Betriebstemperatur | +5 ... +40°C |
Artikelnummer
Artikelnummer
Zubehör
| 399-660 | IM540 Vakuum-Messgerätesteuerung |
| 399-661 | IE414 DN 40 CF-F |
| 399-676 | Ersatzkathode IE414 |
| 399-663 | IE514 DN 40 CF-F |
| 399-677 | Ersatzkathode IE514 |
| Schnittstellenkarte | |
| 399-670 | IF540P PROFIBUS DP Schnittstellenkarte |
| Messkopfkabel zu IE414/514, 80 °C | |
| 399-680 | 3 m |
| 399-681 | 5 m |
| 399-682 | 10 m |
| 399-685 | 50 m |
| Messkopfkabel nach IE414/514, 200 °C | |
| 399-686 | 3 m |
| 399-687 | 5 m |
| 399-688 | 10 m |
| 399-690 | 50 m |
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