xParts
ALD-Beschichtungsservice
xParts-Beschichtungen sind hochgradig gleichmäßige, partikelfreie ALD-Dünnschichten (Atomic Layer Deposition), die auf kundenspezifische dreidimensionale Teile aufgebracht werden und für den Einsatz in extrem rauen Anwendungen, wie z.B. in der Halbleiterproduktion, geeignet sind.
xParts-Beschichtungen verlängern die Lebensdauer kritischer Komponenten und sichern die Betriebszeit der Produktionsanlagen.
Kundenbedürfnisse | xParts Merkmal | Vorteile |
|---|---|---|
| Hohe Korrosionsbeständigkeit | Längere Lebensdauer der Teile |
Diffusionsbarriere | Reduziert die Konditionierung | |
Guter Ertrag | Geringe Metallverschmutzung | Weniger Mängel/Verunreinigungen |
Gute Wafer | Partikelfrei | Weniger Mängel/ Wiederherstellung nach PM |
Kosten des Eigentums | Renovierungsprogramm | Senkung der Betriebskosten |
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