Gasanalyse
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Fortgeschrittener Prozessexperte für Multidruck ALD/CVD und Ätzen
- xParts beschichtete Teile für längere Lebensdauer in rauer Chemie
- Mehrdruck-Probenahmeeinlass
- Nachweisgrenze unter 10 ppb
- Branchenführende Ansauggeschwindigkeit
Fortgeschrittener Prozessexperte für Single Pressure ALD/CVD und Ätzen
- xParts beschichtete Teile für längere Lebensdauer in rauer Chemie
- Hochdruck-Eindruckeinlass für hohe Temperaturen
- Nachweisgrenze unter 10 ppb
- Branchenführendes Saugvermögen
Echtzeit-Leckerkennung, Endpunkt-Erkennung und Prozessüberwachung für modernste Halbleiterfertigungsprozesse und andere Gasanalyseanwendungen
- Arbeitsbereich von 1 Torr bis zu 450 Torr
- Überlegene Nachweisgrenze < 1 ppm
- Langfristige Zuverlässigkeit: keine Pumpen erforderlich
- Einfache Installation über einen Standard KF25-Anschluss
Extreme PVD-Prozessüberwachung Quadrupol-Massenspektrometer
- Branchenführender maximaler Betriebsdruck
- Optionale Verriegelung des Überdruckabsperrventils
- Scannt bis zu 100 amu
Hochgeschwindigkeits-Kammerlecktest - Gasanalyse
- Hochgeschwindigkeits-Lecksuche ermöglicht Kammer-Lecktest
- Steigerung von Produktivität und Ertrag
- Lange Lebensdauer, kein brennbares Filament, Schutz vor Lufteinbrüchen
Hochleistungs-Quadrupol-Massenspektrometer
- Neun Dekaden Dynamikbereich
- Branchenführende Datenerfassungsrate
- Auswechselbare Sensoren und Elektronik
- Scannt bis zu 300 amu
Mehrzweck-Quadrupol-Massenspektrometer
- Neun Dekaden Dynamikbereich
- Auswechselbare Sensoren und Elektronik
- Optionaler kontinuierlicher Dynoden-Elektronenvervielfacher
- Scannt bis zu 200 amu
Vielseitige Prozessüberwachung von der Basislinie bis zum Prozessdruck
- Idealer Halbleiter-Prozessmonitor
- Mehrdruck-Probenahmeeingang
- Nachweisgrenze unter 1 ppm
- Integrierte Differenzialpumpe
Prozessüberwachung im Zieldruckbereich
- Gezielte Hochdruckprozesse
- Einzelner Druck-Probenahme-Eingang
- Nachweisgrenze unter 1 ppm
- Integriertes Differenzialpumpsystem
Echtzeit-Leckerkennung und Endpunkt-Erkennung für kritische Prozessumgebungen
- Betriebsbereich von 10 mTorr bis 1 Torr
- Ausgezeichnete Nachweisgrenzen bis hinunter zu niedrigen ppm-Werten
- Langfristige Zuverlässigkeit: keine Pumpen erforderlich
- Einfache Installation über einen Standard KF25-Anschluss
Ermöglicht den Einsatz des Transpector CPM als mobiles Instrument zur Fehlersuche
- Flexibel genug, um einen Transpector CPM dorthin zu bringen, wo Sie ihn brauchen
- Eine kleine Stellfläche, die auch in enge Räume passt
- Ein komplettes System, das alles enthält, was für den Betrieb des Transpector CPM benötigt wird
QMG 700 Analytisches Massenspektrometer zum Durchbrechen von Nachweisgrenzen und zum Vorantreiben Ihres Prozesses auf die nächste Stufe der Innovation
- Massenbereichvarianten von 1-512 AMU
- Dynamischer Bereich über mehr als neun Messdekaden
- Extrem hohe Messgeschwindigkeiten: 0,125 ms/amu
- MDPP < 10E-16 mbar