3. Gasanalyse

Gasanalyse

Technologie
Massenspektrometrie Optische Spektroskopie
Prozess
PVD CVD ALD Etch Lithographie
Druck
< E-5 Torr > E-4 Torr to 1E-2 Torr 1E-2 Torr to 1 Torr > 1 Torr
Grenzwerte für den Nachweis
1-10 ppm < 1 ppm < 10 ppb
Markt
HVAC/R Industrielle Fertigung Vakuumbeschichtung Sicherheit Energie Halbleiterhersteller Halbleiter Maschinenbauer Display Pharma & Medizin Mobilität & Automobilindustrie Forschung & Ausbildung Analytische Instrumente Batterien
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