Pirani-Messgeräte

PPG570

ATM to Medium Vacuum Gauge + ATM Switch

Pirani-PPG570
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Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
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inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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Das neue INFICON Pirani Piezo-Kombinationsmessgerät (PPG570) basiert auf der fortschrittlichsten MEMS-Sensortechnologie (Microelctromechanical Systems), die auch in unserem PPG550 "ATM to Medium Vacuum" Messgerät verwendet wird.

Was das PPG570 vom PPG550 unterscheidet, ist der zusätzlich installierte ATM-Sensor, der den Einsatz des PPG570 in klassischen Load-Lock-Anwendungen ermöglicht. Zum Beispiel in der Halbleiterindustrie oder bei allen anderen Vakuumanwendungen, bei denen eine genaue Druckmessung relativ zum atmosphärischen Umgebungsdruck wichtig ist.

Die im MEMS-Verfahren miniaturisierte Pirani/Piezo-Kombinationstechnologie ermöglicht die Konstruktion eines sehr kleinen und damit platzsparenden Sensors, der es ermöglicht, die Gesamthöhe des Messgeräts sehr gering zu halten.

Neben dem Vorteil der geringen Bauhöhe bietet ein auf MEMS-Technologie basierender Pirani auch den Vorteil, im HV-Bereich tiefer und genauer zu messen als ein klassischer Pirani. In Kombination mit einem MEMS-Piezosensor, der im selben Flansch montiert ist, wird das Pirani-Messgerät zu einem echten Vakuum-Weitbereichsmessgerät, das den Messbereich weit über die üblichen 1000 mbar hinaus, auch in Richtung Atmosphäre, erweitert. Gleichzeitig ermöglicht der MEMS-Piezosensor eine gasartunabhängige Druckmessung im Bereich von 2 ... 1333 mbar. Ein weiterer Vorteil der genannten Technologien ist die erhöhte Widerstandsfähigkeit gegen Beschleunigungskräfte und Vibrationen.  

Nicht zuletzt kann der neue INFICON PPG570 als direkter Ersatz für den so genannten MKS Instruments MKS901P "MicroPirani™ and Piezo Loadlock Vacuum Pressure Transducer" verwendet werden.  Der PPG570 bietet dieselben Anschlüsse und Pinbelegungen, einen analogen Ausgang und ist mit dem digitalen Kommunikationsprotokoll RS232/485 kompatibel. 

Vorteile

  • Gasartunabhängig über 2 mbar - ermöglicht sicheres Entlüften mit jedem Gasgemisch
  • Hohe Genauigkeit und Reproduzierbarkeit an der Atmosphäre - für zuverlässige, schnelle Atmosphärendruckmessung 
  • Atmosphärische Umgebungsdruckmessung 
  • Bis zu 3 Halbleiterrelais 
  • Vielseitig in der Montageausrichtung - bietet technische Freiheit bei der Konstruktion von Geräten  
  • Wählbares analoges Ausgangssignal für einfache Systemintegration 
  • Digitale Schnittstellen RS232/ RS485 
  • Kann direkt als Ersatz für den MKS901P "MicroPirani™ - und Piezo Loadlock Vacuum Pressure Transducer" eingesetzt werden. 
  • Konformität & Normen: CE, EN, UL, CSA, RoHS

Typische Anwendungen

  • Halbleiter-Load-Lock-Anwendungen
  • Verwendung in analytischen Geräten/ Massenselektrometern
  • Physikalische Gasphasenabscheidung 
  • Physikalische Abscheidung aus der Gasphase 

Spezifikationen

Measurement range (N2)mbar1x10-6 … 1333
   
Accuracy   
1100 ... 1333 mbar% of reading0.5
800 ... 1099 mbar% of reading0.25
100 ... 800 mbar% of reading0.5
2 ... 99.9 mbar% of reading1
1 x 10-4 ... 1.99 mbar% of reading5
1 x 10-5 ... 9.99 x 10-5 mbar% of reading25
   
Temperature compensation°C+10 … +50
   
Temperature measurement absolute accuracy°C+1.5 (0 … +80)
   
Supply voltage at the gaugeV (dc)+12 … +30 ripple max. 1 Vpp
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