HEISS-IONISATIONSMESSGERÄTE

HPG400

Für Atmosphärendruck bis Ultrahochvakuum

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Revolutionieren Sie Ihre Vakuummessgeräte-Erfahrung mit uns!

Das Hochdruck-Heißionisations-Pirani-Messgerät HPG400 von INFICON kombiniert Heißionisation bei hohem Druck und Pirani-Sensoren zu einem einzigen kompakten und kostengünstigen Paket für Druckmessungen im Bereich von 2×10^-6 mbar bis Atmosphärendruck (1,5×10^-6 Torr bis Atmosphärendruck).

Das HPG400 ermöglicht Druckmessungen mit hoher Wiederholbarkeit und Reproduzierbarkeit für eine präzise Druckkontrolle bei Zerstäubungsvorgängen.

Vorteile

Das HPG400 spart Kosten und Werkzeugplatz und vereinfacht die Installation und Einrichtung des Vakuumsystems.
Das Hochdruck-Heißkathoden-Ionisationsmessgerät bietet präzise, zuverlässige Druckmessungen von 1 X 10^-5 bis 1 mbar zur besseren Prozesssteuerung.
Vom Benutzer auswählbare Aktivierung der Heißkathodenemission zwischen 5 X 10^-2 und 1 mbar
Pirani-Interlock schützt das heiße Filament vor vorzeitigem Ausbrennen
Optionale grafische Anzeige und Feldbus-Schnittstellen erhältlich
Automatische Hochvakuum-Pirani-Justierung reduziert die erforderlichen Eingriffe durch den Betreiber
RoHS-Konformität

Typische Anwendungen

Sputter-Anwendungen in der Halbleiterherstellung und in der Elektronik- und Medienindustrie
Industrielle Beschichtung
Allgemeine Vakuummessung und -steuerung im niedrigen bis hohen Vakuumbereich

Spezifikationen

Measurement range (air, N₂)	mbar Torr	2×10^-6 … 1000 1.5×10^-6 … 750

Accuracy

10^-5 … 1 mbar	% of reading	±15 ⁽¹⁾

Repeatability

10^-5 … 10^-1 mbar	% of reading	2
10^-1 … 100 mbar	% of reading	30

Temperature

Operation (ambient)	°C	0 … +50
Storage	°C	-20 … +70
Bakeout at flange	°C	80
Bakeout electronics removed	°C	150

Supply voltage	V (dc) A (dc)	20 … 28 0.8

Materials exposed to vacuum		Yt₂O₃, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass

(1) Accuracy from 10^-5 mbar to the selected hot ion emission on value

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HPG400 Datasheet

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HPG400 ES

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HPG400 JA

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HPG400 KO

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HPG400 ZH

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HPG400 DE

pdf • 283,4 KB • Deutsch • Datenblätter

Handbücher

TINA31E1_Operating manual_long

pdf • 1,1 MB • Englisch • Bedienungsanleitungen

TIMA31E1_Operating manual_short

pdf • 307,4 KB • Englisch • Bedienungsanleitungen

TIMA32E1_Operating manual for SD_SP_short

pdf • 417,4 KB • Englisch • Bedienungsanleitungen

TIRA03E1_Communication Protocol for DeviceNet

pdf • 323,7 KB • Englisch • Bedienungsanleitungen

TIRA36E1_Communication Protocol for ProfiBus

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3D Step Files

353-520 HPG400 without LCD

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353-521 HPG400 without LCD

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353-522 HPG400 without LCD

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353-523 HPG400 with LCD

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353-525 HPG400-SP with PROFIBUS DP

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353-526 HPG with PROFIBUS DP

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353-527 HPG400-SD with DeviceNet

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353-528 HPG400-SD with DeviceNet

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354-487 HPG Replacment Sensor 25 ISO-KF

zip • 31,1 KB • 3D Dokumente

354-488 HPG Replacment Sensor 25 ISO-KF

zip • 45,4 KB • 3D Dokumente

Andere

HPG400 int EDS

eds • 33,5 KB • Englisch

HPG400 Float EDS

eds • 33,6 KB • Englisch

HPG400 06A8 DPV1 GSD

GSD • 3,6 KB • Englisch

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