1. HPG400
HEISS-IONISATIONSMESSGERÄTE

HPG400

Für Atmosphärendruck bis Ultrahochvakuum

HPG400
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Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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Das Hochdruck-Heißionisations-Pirani-Messgerät HPG400 von INFICON kombiniert Heißionisation bei hohem Druck und Pirani-Sensoren zu einem einzigen kompakten und kostengünstigen Paket für Druckmessungen im Bereich von 2×10-6 mbar bis Atmosphärendruck (1,5×10-6 Torr bis Atmosphärendruck). 

Das HPG400 ermöglicht Druckmessungen mit hoher Wiederholbarkeit und Reproduzierbarkeit für eine präzise Druckkontrolle bei Zerstäubungsvorgängen.

Vorteile

  • Das HPG400 spart Kosten und Werkzeugplatz und vereinfacht die Installation und Einrichtung des Vakuumsystems.
  • Das Hochdruck-Heißkathoden-Ionisationsmessgerät bietet präzise, zuverlässige Druckmessungen von 1 X 10-5 bis 1 mbar zur besseren Prozesssteuerung.
  • Vom Benutzer auswählbare Aktivierung der Heißkathodenemission zwischen 5 X 10-2 und 1 mbar
  • Pirani-Interlock schützt das heiße Filament vor vorzeitigem Ausbrennen
  • Optionale grafische Anzeige und Feldbus-Schnittstellen erhältlich
  • Automatische Hochvakuum-Pirani-Justierung reduziert die erforderlichen Eingriffe durch den Betreiber
  • RoHS-Konformität

Typische Anwendungen

  • Sputter-Anwendungen in der Halbleiterherstellung und in der Elektronik- und Medienindustrie
  • Industrielle Beschichtung
  • Allgemeine Vakuummessung und -steuerung im niedrigen bis hohen Vakuumbereich

Spezifikationen

Measurement range (air, N2)mbar
Torr		2×10-6 … 1000
1.5×10-6 … 750
   
Accuracy  
10-5 … 1 mbar% of reading±15 (1)
   
Repeatability  
10-5 … 10-1 mbar% of reading2
10-1 … 100 mbar% of reading30
   
Temperature  
Operation (ambient)°C0 … +50
Storage°C-20 … +70
Bakeout at flange°C80
Bakeout electronics removed°C150
   
Supply voltageV (dc)
A (dc)		20 … 28
0.8
   
Materials exposed to vacuum Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
   
(1) Accuracy from 10-5 mbar to the selected hot ion emission on value
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Artikelnummern
Zubehör
Ersatzteile
ArtikelnummerBeschreibung
353-520HPG400 DN 25 ISO-KF
353-521HPG400 LCD, DN 25 ISO-KF
353-522HPG400 DN 40 CF-F
353-523HPG400 LCD, DN 40 CF-F
353-525HPG400-SP PBus, DN 25 ISO-KF
353-526HPG400-SP PBus, DN 40 CF-F
353-527HPG400-SD DNet DN 25 ISO-KF
353-528HPG400-SD DNet DN 40 CF-F
ArtikelnummerBeschreibung
211-113Zentrierring mit Baffle DN 25 KF
353-511Netzteil BPG400 24VDC 2.1A
357-499Baffle HPG (10 Stück)
ArtikelnummerBeschreibung
354-487HPG400 Ersatz-Messsystem DN 25 ISO-KF
354-488HPG400 Ersatz-Messsystem DN 40 CF-F
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