Stripe® CDG100Dhs
100°C temperaturgesteuert, Skalenendwert 0,1 ... 1000 Torr / mbar
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Stripe™-Hochgeschwindigkeits-Kapazitätsmembran-Messgeräte von INFICON sind die schnellsten hochgenauen Vakuummessgeräte auf dem Markt.
Mit Ansprechzeiten von weniger als 2 ms eröffnen sich in Verbindung mit der EtherCAT-Feldbus-Schnittstelle vollständig neue Anwendungsmöglichkeiten. Der bewährte, temperaturgesteuerte, korrosionsbeständige und ultrareine Keramiksensor bietet hervorragende Messbereichsstabilität über viele Jahre sowie modernste Nullpunktstabilität. Das Stripe-Messgerät wird mit INFICONs patentierter Sensorabschirmung geliefert, die das Gerät vor unerwünschten Prozessnebenprodukten schützt.
Das INFICON Stripe nutzt ein innovatives Heizkonzept, dass eine berührbare Außenfläche garantiert. Die hohe Geschwindigkeit ermöglicht eine beispiellose Produktivitätssteigerung, die es zum fortschrittlichsten Vakuumgerät seiner Art macht.
Vorteile
- Hohe Produktivität – Ansprechzeit unter 2 ms
- Flexible Integration – EtherCAT-Feldbus
- Lange Lebensdauer – Bewährter Keramiksensor
- Nachkalibrierung praktisch eliminiert – Vollskalenstabilität von 90ppm/Jahr
Typische Anwendungen
- Atomlagenabscheidung
- Hochgeschwindigkeits-Prozesskontrolle
- PVD, CVD, Ätzen
- Allgemeine Hochtemperatur-Vakuumanwendungen
Spezifikationen
| Genauigkeit (1) | % of reading | 0.2 |
| Auflösung | percent FS | 0.003 |
| Ausgangssignal (analog) | V (dc) | 0 … +10 |
| Ansprechzeit (2) | ms | 2 ... 20 |
| Werkstoffe gegen Vakuum | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4)) | |
| (1) Nichtlinearität, Hysterese, Wiederholbarkeit bei 25 °C Umgebungsbetriebstemperatur ohne Temperatureffekte nach 2-stündigem Betrieb. (2) Anstieg 10 ... 90 % des Skalenendwerts | ||
| Genauigkeit (1) | % of reading | 0.2 |
| Auflösung | percent FS | 0.003 |
| Ausgangssignal (analog) | V (dc) | 0 … +10 |
| Ansprechzeit (2) | ms | 2 ... 20 |
| Werkstoffe gegen Vakuum | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4)) | |
| (1) Nichtlinearität, Hysterese, Wiederholbarkeit bei 25 °C Umgebungsbetriebstemperatur ohne Temperatureffekte nach 2-stündigem Betrieb. (2) Anstieg 10 ... 90 % des Skalenendwerts | ||
| Genauigkeit (1) | % of reading | 0.4 |
| Auflösung | percent FS | 0.003 |
| Ausgangssignal (analog) | V (dc) | 0 … +10 |
| Ansprechzeit (2) | ms | 2 ... 20 |
| Werkstoffe gegen Vakuum | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4)) | |
| (1) Nichtlinearität, Hysterese, Wiederholbarkeit bei 25 °C Umgebungsbetriebstemperatur ohne Temperatureffekte nach 2-stündigem Betrieb. (2) Anstieg 10 ... 90 % des Skalenendwerts | ||
