Kapazitätsmanometer

Stripe® CDG100Dhs

100°C temperaturgesteuert, Skalenendwert 0,1 ... 1000 Torr / mbar

Stripe™-Hochgeschwindigkeits-Kapazitätsmembran-Messgeräte von INFICON sind die schnellsten hochgenauen Vakuummessgeräte auf dem Markt.

Mit Ansprechzeiten von weniger als 2 ms eröffnen sich in Verbindung mit der EtherCAT-Feldbus-Schnittstelle vollständig neue Anwendungsmöglichkeiten. Der bewährte, temperaturgesteuerte, korrosionsbeständige und ultrareine Keramiksensor bietet hervorragende Messbereichsstabilität über viele Jahre sowie modernste Nullpunktstabilität. Das Stripe-Messgerät wird mit INFICONs patentierter Sensorabschirmung geliefert, die das Gerät vor unerwünschten Prozessnebenprodukten schützt.

Das INFICON Stripe nutzt ein innovatives Heizkonzept, dass eine berührbare Außenfläche garantiert. Die hohe Geschwindigkeit ermöglicht eine beispiellose Produktivitätssteigerung, die es zum fortschrittlichsten Vakuumgerät seiner Art macht.

Vorteile

Hohe Produktivität – Ansprechzeit unter 2 ms
Flexible Integration – EtherCAT-Feldbus
Lange Lebensdauer – Bewährter Keramiksensor
Nachkalibrierung praktisch eliminiert – Vollskalenstabilität von 90ppm/Jahr

Typische Anwendungen

Atomlagenabscheidung
Hochgeschwindigkeits-Prozesskontrolle
PVD, CVD, Ätzen
Allgemeine Hochtemperatur-Vakuumanwendungen

Spezifikationen

1000 ... 500 Torr / mbar

200 ... 1 Torr / mbar

0.5 ... 0.1 Torr / mbar

Genauigkeit	% of reading	0.2

Auflösung	percent FS	0.003

Ausgangssignal (analog)	V (dc)	0 … +10

Ansprechzeit	ms	2 ... 20

Werkstoffe gegen Vakuum		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L)

Genauigkeit	% of reading	0.2

Auflösung	percent FS	0.003

Ausgangssignal (analog)	V (dc)	0 … +10

Ansprechzeit	ms	2 ... 20

Werkstoffe gegen Vakuum		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L)

Genauigkeit	% of reading	0.4

Auflösung	percent FS	0.003

Ausgangssignal (analog)	V (dc)	0 … +10

Ansprechzeit	ms	2 ... 20

Werkstoffe gegen Vakuum		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L)

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Broschüren

Stripe Brochure

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EtherCAT Brochure

pdf • 1,6 MB • Englisch

Datenblätter

Stripe® CDG100Dhs 0.1 ... 1000Torr / mbar

pdf • 2,8 MB • Englisch

Stripe CDG100Dhs 0.1 ...1000Torr / mbar JA

pdf • 742,9 KB • Japanisch

스트라이프 CDG100Dhs 0.1 ... 1,000 Torr/mbar KO

pdf • 641,2 KB • Koreanisch

Stripe CDG100Dhs 0.1 ...1000 托/毫巴 ZH

pdf • 728,7 KB • Chinesisch

Stripe CDG100Dhs 0.1 ... 1000Torr / mbar DE

pdf • 596,7 KB • Deutsch

Stripe™ CDG100Dhs 0,1 ... 1000Torr / mbar

pdf • 635,9 KB • Spanisch

Maßzeichnungen

CDGxxxDhs dimension drawing

png • 226,3 KB • Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch

Handbücher

Manual STRIPE CDG100Dhs

pdf • 1,6 MB • Englisch

Communication Protocol Diagnostic Port

pdf • 243,3 KB • Englisch

Communication protocol EtherCAT new generation

pdf • 2,1 MB • Englisch

Manual CDG100Dhs ZH

pdf • 817,6 KB • Chinesisch

Communication protocol EtherCAT

pdf • 972,1 KB • Englisch

Gebrauchsanleitung STRIPE CDG100Dhs

pdf • 1,6 MB • Deutsch

3D Step Files

MCDG100Dhs_4-VCR male_ECAT_II

stp • 8,5 MB

MCDG100Dhs_4-VCR female_ECAT_II

Andere

EtherCAT ESI file CDGhs V1_2_0

xml • 789,9 KB • Englisch

EtherCAT new generation CDGhs ESI file V2_0_0_0

zip • 10,5 KB • Englisch

Das Produkt wird in folgenden Märkten verwendet

Analytische Instrumente

Der Markt für analytische Instrumente unterstützt mit seinen hochentwickelten Werkzeugen Anwender in einem breiten Feld von Anwendungen und Märkten.

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Display

INFICONs Sensoren für den Display-Markt nutzen eine Reihe von Prozesssensortechnologien, darunter Dünnschichtregler, Restgasanalyse, optische Emissionsspektrometrie, Quarzkristall-Mikrowaagen, Leckdetektoren, Druckmesser und RF-Messungen.

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Energie

Die herkömmliche Öl- und Gasförderung hat in den letzten Jahrzehnten eine steigende Nachfrage verzeichnet, die durch das Bevölkerungswachstum, die Verstädterung und die konsumierende Mittelschicht in den Entwicklungsländern angetrieben wird.

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Industrielle Fertigung

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Mobilität & Automotive

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Pharma & Medizin

Produktivitätssteigerung und Unterstützung bei der Einhaltung von Compliance-Standards und Qualitätsanforderungen in der Pharmaindustrie

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Forschung & Ausbildung

Durch Grundlagenforschung die innersten Geheimnisse des Universums lüften. Wir liefern heute die Innovationen, die die Technologien von morgen ermöglichen.

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Halbleiterhersteller

Sensoren, die auf eine breite Palette von Anwendungen zugeschnitten sind und Produktsicherheit, höhere Erträge und maximale Produktivität gewährleisten.

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Vakuumbeschichtung

Die Märkte für die Vakuumbeschichtung gehen weit über die Optik hinaus und dehnen sich rasch auf Bereiche, Branchen und Folienschichten aus, die noch vor zehn Jahren fast unvorstellbar waren.

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Vorteile

Typische Anwendungen

Spezifikationen

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