Kapazitätsmanometer

Stripe® CDG100Dhs

100°C temperaturgesteuert, Skalenendwert 0,1 ... 1000 Torr / mbar

Stripe-CDGxxx

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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Stripe™-Hochgeschwindigkeits-Kapazitätsmembran-Messgeräte von INFICON sind die schnellsten hochgenauen Vakuummessgeräte auf dem Markt. 

Mit Ansprechzeiten von weniger als 2 ms eröffnen sich in Verbindung mit der EtherCAT-Feldbus-Schnittstelle vollständig neue Anwendungsmöglichkeiten. Der bewährte, temperaturgesteuerte, korrosionsbeständige und ultrareine Keramiksensor bietet hervorragende Messbereichsstabilität über viele Jahre sowie modernste Nullpunktstabilität. Das Stripe-Messgerät wird mit INFICONs patentierter Sensorabschirmung geliefert, die das Gerät vor unerwünschten Prozessnebenprodukten schützt. 

Das INFICON Stripe nutzt ein innovatives Heizkonzept, dass eine berührbare Außenfläche garantiert. Die hohe Geschwindigkeit ermöglicht eine beispiellose Produktivitätssteigerung, die es zum fortschrittlichsten Vakuumgerät seiner Art macht.

Vorteile

  • Hohe Produktivität – Ansprechzeit unter 2 ms
  • Flexible Integration – EtherCAT-Feldbus
  • Lange Lebensdauer – Bewährter Keramiksensor
  • Nachkalibrierung praktisch eliminiert – Vollskalenstabilität von 90ppm/Jahr

Typische Anwendungen

  • Atomlagenabscheidung
  • Hochgeschwindigkeits-Prozesskontrolle
  • PVD, CVD, Ätzen
  • Allgemeine Hochtemperatur-Vakuumanwendungen

Spezifikationen

1000 ... 500 Torr / mbar
200 ... 1 Torr / mbar
0.5 ... 0.1 Torr / mbar
Genauigkeit (1)% of reading0.2
Auflösungpercent FS0.003
Ausgangssignal (analog)V (dc)0 … +10
Ansprechzeit (2)ms2 ... 20
Werkstoffe gegen Vakuum Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4))
(1) Nichtlinearität, Hysterese, Wiederholbarkeit bei 25 °C Umgebungsbetriebstemperatur ohne Temperatureffekte nach 2-stündigem Betrieb.
(2) Anstieg 10 ... 90 % des Skalenendwerts
Genauigkeit (1)% of reading0.2
Auflösungpercent FS0.003
Ausgangssignal (analog)V (dc)0 … +10
Ansprechzeit (2)ms2 ... 20
Werkstoffe gegen Vakuum Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4))
(1) Nichtlinearität, Hysterese, Wiederholbarkeit bei 25 °C Umgebungsbetriebstemperatur ohne Temperatureffekte nach 2-stündigem Betrieb.
(2) Anstieg 10 ... 90 % des Skalenendwerts
Genauigkeit (1)% of reading0.4
Auflösungpercent FS0.003
Ausgangssignal (analog)V (dc)0 … +10
Ansprechzeit (2)ms2 ... 20
Werkstoffe gegen Vakuum Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4))
(1) Nichtlinearität, Hysterese, Wiederholbarkeit bei 25 °C Umgebungsbetriebstemperatur ohne Temperatureffekte nach 2-stündigem Betrieb.
(2) Anstieg 10 ... 90 % des Skalenendwerts
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