Kapazitätsmanometer
Spot™ CDS530D
Skalenendwert 10 ... 1000 Torr / mbar
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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Der keramische Kapazitätsmembransensor Spot CDS530D ist für die Integration in den begrenzten Platz in Ihren spezifischen Vakuumgeräten und -systemen konzipiert.
Der duale Miniatursensor bietet eine hohe Genauigkeit in einem weiten Messbereich und ist korrosionsbeständig, da die Aluminiumoxid-Keramikzellen und eine schweißbare Edelstahldurchführung alle mit Aluminiumoxid beschichtet sind. Die Sensorelektronik bietet eine digitale SPI-Schnittstelle für eine einfache Integration.
Der Sensor zeichnet sich durch eine schnelle Datenzykluszeit für eine sofortige Reaktion auf Druckänderungen, eine hervorragende Wiederholbarkeit und Langzeitstabilität aus.
Vorteile
- Miniatur-Aluminiumoxid (Al2O3)-Keramikbeschichteter Kapazitätsmembransensor mit hoher Korrosionsbeständigkeit und UHP-konformer benetzter Oberfläche
- Großer Messbereich, hohe Präzision
- Ausgezeichnete Wiederholbarkeit und Langzeitstabilität
- Sensorelektronik mit SPI-Schnittstelle für einfache Integration
- Geschweißter kundenspezifischer Flansch für die Integration eines kalibrierten Sensors
- Schnelle Ansprechzeit
- Hohe Überdruckfähigkeit
Das Produkt wird in folgenden Märkten verwendet
