Kapazitätsmanometer

Spot™ CDS530D

Skalenendwert 10 ... 1000 Torr / mbar

Spot-CDS530D

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
Request
Personal information
Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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Der keramische Kapazitätsmembransensor Spot CDS530D ist für die Integration in den begrenzten Platz in Ihren spezifischen Vakuumgeräten und -systemen konzipiert. 

Der duale Miniatursensor bietet eine hohe Genauigkeit in einem weiten Messbereich und ist korrosionsbeständig, da die Aluminiumoxid-Keramikzellen und eine schweißbare Edelstahldurchführung alle mit Aluminiumoxid beschichtet sind. Die Sensorelektronik bietet eine digitale SPI-Schnittstelle für eine einfache Integration.

Der Sensor zeichnet sich durch eine schnelle Datenzykluszeit für eine sofortige Reaktion auf Druckänderungen, eine hervorragende Wiederholbarkeit und Langzeitstabilität aus.

Vorteile

  • Miniatur-Aluminiumoxid (Al2O3)-Keramikbeschichteter Kapazitätsmembransensor mit hoher Korrosionsbeständigkeit und UHP-konformer benetzter Oberfläche
  • Großer Messbereich, hohe Präzision
  • Ausgezeichnete Wiederholbarkeit und Langzeitstabilität
  • Sensorelektronik mit SPI-Schnittstelle für einfache Integration
  • Geschweißter kundenspezifischer Flansch für die Integration eines kalibrierten Sensors
  • Schnelle Ansprechzeit
  • Hohe Überdruckfähigkeit