Heiß-Ionisationsmessgeräte

Trigon™ BPG552

ATM bis Ultrahochvakuum DualGauge

BPG552-Trigon
Drop-in-Optionen

Revolutionieren Sie Ihre Vakuummessgeräte-Erfahrung mit uns!

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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Für Anwendungen, die einen Messbereich von UHV (5 x10-10) bis hinunter zu ATM (1000 mbar) erfordern, enthält die Trigon™-Familie das Dualtechnologie-Messgerät BPG552. Das BPG552 besteht sowohl aus einem Bayard-Alpert Heiß-Ionisations-Sensorelement als auch aus einem klassischen, robusten und zuverlässigen Pirani-Sensorelement. Das fixierte Bayard-Alpert-Doppelfilament bietet überlegene Genauigkeit, Wiederholbarkeit und Langlebigkeit.

VacXplor Software

VacXplor™ ist unsere vielseitige Anwendersoftware, die speziell entwickelt wurde, um Ihre Nutzung der INFICON Trigon-Messgeräte zu optimieren. VacXplor™ bietet eine benutzerfreundliche Oberfläche, dynamische Datenvisualisierung und erweiterte Anpassungsoptionen – und das alles ohne die Notwendigkeit von Administratorrechten bei der Installation.

Download VacXplor™
Icon - VacXplor 1
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Vorteile

  • DualGauge (2 Sensorelemente) für einen großen Messbereich, Kostenreduzierung und Platzersparnis
  • zwei Filamente für das Bayard-Alpert-System
  • Pirani-Interlock-Schutz, um ein vorzeitiges Ausbrennen der Filamente zu vermeiden
  • Automatischer Hochvakuum-Pirani Abgleich reduziert manuelle Bedienereingriffe
  • Galvanisch getrennte Elektronik zur Vermeidung von elektrischen Fremd- und Streustrom
  • Gleitender Emissionsmodus zur Vermeidung von Drucksprüngen und Einfrieren beim Umschalten des Emissionsstroms
  • Erweiterte Backfähigkeit durch herausnehmbare Kalibrierdatenchips
  • Schaltpunkt-Relais
  • Helles & großes OLED-Display (90° drehbar) mit Benutzeroberfläche
  • Analoger Ausgang, serielle RS232C-Schnittstelle, EtherCAT®
  • Kompatibel nutzbar mit der VGC50x Controller-Serie
  • Rückwärtskompatibel zur BPG402
  • RoHS-konform

Typische Anwendungen

  • Druckmessung in Halbleiterprozessen
  • Industrielle Beschichtung, z.B. optische und dekorative Schichten
  • Allgemeine Vakuummessung und -steuerung an Systemen im ATM, Niedrig- bis Ultrahochvakuumbereich

Spezifikationen

Messbereich (Luft, O2, CO, N2)5 × 10-10 … 1000 mbar
Genauigkeit 
1 × 10-8 … 1 x 10-2 mbar ±15 des Messwertes
1 x 10-2 mbar … 1000 mbar           ±30% des Messwertes
Reproduzierbarkeit5% der Lesung, 10-8 …  10-2 mbar (nach 10 min. Stabilisierung)
Dem Vakuum ausgesetzte MaterialienEdelstahl, NiFe, Nickel (plated), Hastelloy, Glas, Iridium, Yttriumoxid (Y2O3), Ni, Wolfram

Artikelnummer

BPG552 Ordering Information
BPG552 Ordering Information

Ersatzteile

ArtikelnummerBeschreibung
354-420  BPG552 Ersatz-Sensorkopf, KF25
354-421BPG552 Ersatz-Sensorkopf, CF40
Das Produkt wird in folgenden Märkten verwendet
Vacuum_Coating-Navi
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Produktivitätssteigerung und Unterstützung bei der Einhaltung von Compliance-Standards und Qualitätsanforderungen in der Pharmaindustrie 

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