Heiß-Ionisationsmessgeräte
Trigon™ BPG552
ATM bis Ultrahochvakuum DualGauge
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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Für Anwendungen, die einen Messbereich von UHV (5 x10-10) bis hinunter zu ATM (1000 mbar) erfordern, enthält die Trigon™-Familie das Dualtechnologie-Messgerät BPG552. Das BPG552 besteht sowohl aus einem Bayard-Alpert Heiß-Ionisations-Sensorelement als auch aus einem klassischen, robusten und zuverlässigen Pirani-Sensorelement. Das fixierte Bayard-Alpert-Doppelfilament bietet überlegene Genauigkeit, Wiederholbarkeit und Langlebigkeit.
Vorteile
- DualGauge (2 Sensorelemente) für einen großen Messbereich, Kostenreduzierung und Platzersparnis
- zwei Filamente für das Bayard-Alpert-System
- Pirani-Interlock-Schutz, um ein vorzeitiges Ausbrennen der Filamente zu vermeiden
- Automatischer Hochvakuum-Pirani Abgleich reduziert manuelle Bedienereingriffe
- Galvanisch getrennte Elektronik zur Vermeidung von elektrischen Fremd- und Streustrom
- Gleitender Emissionsmodus zur Vermeidung von Drucksprüngen und Einfrieren beim Umschalten des Emissionsstroms
- Erweiterte Backfähigkeit durch herausnehmbare Kalibrierdatenchips
- Schaltpunkt-Relais
- Helles & großes OLED-Display (90° drehbar) mit Benutzeroberfläche
- Analoger Ausgang, serielle RS232C-Schnittstelle, EtherCAT®
- Kompatibel nutzbar mit der VGC50x Controller-Serie
- Rückwärtskompatibel zur BPG402
- RoHS-konform
Typische Anwendungen
- Druckmessung in Halbleiterprozessen
- Industrielle Beschichtung, z.B. optische und dekorative Schichten
- Allgemeine Vakuummessung und -steuerung an Systemen im ATM, Niedrig- bis Ultrahochvakuumbereich
Spezifikationen
| Messbereich (Luft, O2, CO, N2) | 5 × 10-10 … 1000 mbar |
| Genauigkeit | |
| 1 × 10-8 … 1 x 10-2 mbar | ±15 des Messwertes |
| 1 x 10-2 mbar … 1000 mbar | ±30% des Messwertes |
| Reproduzierbarkeit | 5% der Lesung, 10-8 … 10-2 mbar (nach 10 min. Stabilisierung) |
| Dem Vakuum ausgesetzte Materialien | Edelstahl, NiFe, Nickel (plated), Hastelloy, Glas, Iridium, Yttriumoxid (Y2O3), Ni, Wolfram |
Artikelnummer
Ersatzteile
| Artikelnummer | Beschreibung |
| 354-420 | BPG552 Ersatz-Sensorkopf, KF25 |
| 354-421 | BPG552 Ersatz-Sensorkopf, CF40 |
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