Kapazitätsmanometer

SKY® CDG045D

45°C temperaturgesteuert, Skalenendwert 0,05 ... 1000 Torr / mbar

SKY-CDG045D---45C

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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INFICON SKY CDG045D-Manometer sind die beste Wahl für hochpräzise Gesamtdruckmessung und -steuerung. 

CDG045D-Messgeräte sind temperaturgeregelt auf 45 °C für bessere Signalstabilität und Wiederholbarkeit. Sie sind erhältlich für Vollskalenbereiche von 50 mTorr bis 1000 Torr mit allen gebräuchlichen Flanschtypen und Feldbusschnittstellen und liefern ein lineares, vom Gastyp unabhängiges Drucksignal von 0 bis 10 V. Kapazitätsmanometer von INFICON verwenden eine ultrareine korrosionsbeständige Keramikmembran aus Aluminiumoxid. 

Die Vorteile des Keramiksensors sind eine bessere Signalstabilität, schnellere Wiederherstellung von Atmosphärendruck, kurze Aufheizdauer und eine außerordentlich lange Lebensdauer. INFICON CDGs sind qualitativ hochwertige, kosteneffektive Drucksensoren für anspruchsvolle Vakuumanwendungen.

SKY® CDG045D ist auch mit der digitalen EtherCAT-Schnittstelle erhältlich!

Vorteile

  • Niedrigere Gesamtbetriebskosten, 50 % schnellere Aufheizung und energieeffizienter niedriger Stromverbrauch
  • Einfache Integration, breites Spektrum an Vollskalen, Flanschen und Schnittstellen, standardmäßig mit zwei Sollwerten
  • Einfacher Nullbefehl per Tastendruck oder Remotesignal, Nullpunktverschiebung einstellbar
  • Diagnoseanschluss für schnelle Wartungsarbeiten
  • Zwei Jahre Garantie, längere Lebensdauer mit fortschrittlichem Heizkonzept und Messgerätschutz
  • Keine langfristige Neukalibrierung aufgrund von exzellenter Signalstabilität und Wiederholbarkeit, selbst bei anspruchsvollen Plasmaanwendungen
  • Konformität und Standards: CE, EN, UL, SEMI, RoHS

Typische Anwendungen

  • Ätz-, CVD-, PVD- und andere Halbleiterfertigungsprozesse
  • Chemische und korrosive Vakuumprozesse
  • Allgemeine Dünnschicht- und Vakuumprozesse
  • Referenzsensor zur Überwachung von Testinstrumenten gemäß internationaler Standards
  • Transferstandard für Verfolgbarkeitsmessungen

Spezifikationen

1000 Torr, 1100 mbar
500 ... 1 Torr / mbar
0.5 ... 0.05 Torr / mbar
Genauigkeit % of reading0.15
Auflösungpercent FS0.003
Ausgangssignal (analog)V (dc)0 … +10
Ansprechzeit ms30
Werkstoffe gegen Vakuum Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L)
Genauigkeit % of reading0.15
Auflösungpercent FS0.003
Ausgangssignal (analog)V (dc)0 … +10
Ansprechzeit ms30
Werkstoffe gegen Vakuum Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L)
Genauigkeit % of reading0.15
Auflösungpercent FS0.003
Ausgangssignal (analog)V (dc)0 … +10
Ansprechzeit ms130 / 30 (3)
Werkstoffe gegen Vakuum Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L)
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CDG045D_9DSUB_8VCRf
stp 3,0 MB Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch
CDG045D_9DSUB_8VCR long
stp 3,0 MB Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch
CDG045D 4VCR female ECAT II
stp 1,4 MB Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch
CDG045D_8-VCR female_long_ECAT_II
stp 5,6 MB Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch
CDG045D_9DSUB_16KF
stp 2,9 MB Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch
CDG045D - 200D_9DSUB_16CF
stp 3,0 MB Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch
CDG045D_9DSUB_tube
stp 2,9 MB Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch
CDG045D_9DSUB_4VCR male
stp 3,1 MB Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch
CDG045D_9DSUB_4VCR female
stp 3,0 MB Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch
CDG045D 16KF P-Net
zip 230,9 KB Englisch
CDG045D tube P-Net
zip 231,6 KB Englisch
CDG045D_4-VCR male_D-Net
stp 5,1 MB Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch
CDG045D_8-VCR female long_D-Net
stp 5,0 MB Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch
CDG045D_4-VCR male_P-Bus
stp 5,0 MB Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch
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CDG045D 8VCR P-Net
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CDG045D 16CF P-Net
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CDG045D_4-VCR female_P-Net
stp 1,9 MB Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch
CDG045D_8-VCR female long_P-Net
stp 1,9 MB Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch
CDG045D_4-VCR male_ECAT_II
stp 5,7 MB Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch
CDG045D 16CF
zip 151,3 KB Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch
CDG045D 16CF D-Net
zip 179,1 KB Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch
CDG045D 16CF ECAT
stp 1,4 MB Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch
CDG045D 16CF P-Bus
zip 177,9 KB Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch
CDG045D 16KF
zip 146,5 KB Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch
CDG045D 16KF P-Bus
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CDG045D 16KF D-Net
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CDG045D 16KF ECAT
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CDG045D 4VCR D-Net
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CDG045D 4VCR female
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CDG045D 4VCR male
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CDG045D 8VCR D-Net
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CDG045D 8VCR female
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CDG045D 8VCR female long
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CDG045D 8VCR P-Bus
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CDG045D tube
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CDG045D tube D-Net
zip 175,2 KB Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch
CDG045D tube ECAT
stp 1,3 MB Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch
CDG045D tube P-Bus
zip 173,7 KB Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch
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