Kapazitätsmanometer

SKY® CDG045D

45°C temperaturgesteuert, Skalenendwert 0,05 ... 1000 Torr / mbar

SKY-CDG045D---45C
Drop-in-Optionen

Revolutionieren Sie Ihre Vakuummessgeräte-Erfahrung mit uns!

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
Request
Personal information
Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
Your configuration has been successfully sent!

INFICON SKY CDG045D-Manometer sind die beste Wahl für hochpräzise Gesamtdruckmessung und -steuerung. 

CDG045D-Messgeräte sind temperaturgeregelt auf 45 °C für bessere Signalstabilität und Wiederholbarkeit. Sie sind erhältlich für Vollskalenbereiche von 50 mTorr bis 1000 Torr mit allen gebräuchlichen Flanschtypen und Feldbusschnittstellen und liefern ein lineares, vom Gastyp unabhängiges Drucksignal von 0 bis 10 V. Kapazitätsmanometer von INFICON verwenden eine ultrareine korrosionsbeständige Keramikmembran aus Aluminiumoxid. 

Die Vorteile des Keramiksensors sind eine bessere Signalstabilität, schnellere Wiederherstellung von Atmosphärendruck, kurze Aufheizdauer und eine außerordentlich lange Lebensdauer. INFICON CDGs sind qualitativ hochwertige, kosteneffektive Drucksensoren für anspruchsvolle Vakuumanwendungen.

SKY® CDG045D ist auch mit der digitalen EtherCAT-Schnittstelle erhältlich!

Vorteile

  • Niedrigere Gesamtbetriebskosten, 50 % schnellere Aufheizung und energieeffizienter niedriger Stromverbrauch
  • Einfache Integration, breites Spektrum an Vollskalen, Flanschen und Schnittstellen, standardmäßig mit zwei Sollwerten
  • Einfacher Nullbefehl per Tastendruck oder Remotesignal, Nullpunktverschiebung einstellbar
  • Diagnoseanschluss für schnelle Wartungsarbeiten
  • Zwei Jahre Garantie, längere Lebensdauer mit fortschrittlichem Heizkonzept und Messgerätschutz
  • Keine langfristige Neukalibrierung aufgrund von exzellenter Signalstabilität und Wiederholbarkeit, selbst bei anspruchsvollen Plasmaanwendungen
  • Konformität und Standards: CE, EN, UL, SEMI, RoHS

Typische Anwendungen

  • Ätz-, CVD-, PVD- und andere Halbleiterfertigungsprozesse
  • Chemische und korrosive Vakuumprozesse
  • Allgemeine Dünnschicht- und Vakuumprozesse
  • Referenzsensor zur Überwachung von Testinstrumenten gemäß internationaler Standards
  • Transferstandard für Verfolgbarkeitsmessungen

Spezifikationen

1000 Torr, 1100 mbar
500 ... 1 Torr / mbar
0.5 ... 0.05 Torr / mbar
Genauigkeit % of reading0.15
Auflösungpercent FS0.003
Ausgangssignal (analog)V (dc)0 … +10
Ansprechzeit ms30
Werkstoffe gegen Vakuum Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L)
Genauigkeit % of reading0.15
Auflösungpercent FS0.003
Ausgangssignal (analog)V (dc)0 … +10
Ansprechzeit ms30
Werkstoffe gegen Vakuum Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L)
Genauigkeit % of reading0.15
Auflösungpercent FS0.003
Ausgangssignal (analog)V (dc)0 … +10
Ansprechzeit ms130 / 30 (3)
Werkstoffe gegen Vakuum Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L)
Spezifikationen herunterladen

Downloads

3D Step Files
CDG045D_9DSUB_8VCRf
stp 2,1 MB 3D Dokumente
CDG045D_9DSUB_8VCR long
stp 3,0 MB 3D Dokumente
CDG045D 4VCR female ECAT II
stp 1,4 MB 3D Dokumente
CDG045D_8-VCR female_long_ECAT_II
stp 5,6 MB 3D Dokumente
CDG045D_9DSUB_16KF
stp 2,9 MB 3D Dokumente
CDG045D - 200D_9DSUB_16CF
stp 3,0 MB 3D Dokumente
CDG045D_9DSUB_tube
stp 2,9 MB 3D Dokumente
CDG045D_9DSUB_4VCR male
stp 3,1 MB 3D Dokumente
CDG045D_9DSUB_4VCR female
stp 3,0 MB 3D Dokumente
CDG045D 16KF P-Net
zip 230,9 KB 3D Dokumente
CDG045D tube P-Net
zip 231,6 KB 3D Dokumente
CDG045D_4-VCR male_D-Net
stp 5,1 MB 3D Dokumente
CDG045D_8-VCR female long_D-Net
stp 5,0 MB 3D Dokumente
CDG045D_4-VCR male_P-Bus
stp 5,0 MB 3D Dokumente
CDG045D_4-VCR female_P-Bus
stp 4,9 MB 3D Dokumente
CDG045D_8-VCR female long_P-Bus
stp 4,9 MB 3D Dokumente
CDG045D 8VCR P-Net
zip 235,4 KB 3D Dokumente
CDG045D 16CF P-Net
zip 241,3 KB 3D Dokumente
CDG045D_4-VCR male_P-Net
stp 2,0 MB 3D Dokumente
CDG045D_4-VCR female_P-Net
stp 1,9 MB 3D Dokumente
CDG045D_8-VCR female long_P-Net
stp 1,9 MB 3D Dokumente
CDG045D_4-VCR male_ECAT_II
stp 5,7 MB 3D Dokumente
CDG045D 16CF
zip 151,3 KB 3D Dokumente
CDG045D 16CF D-Net
zip 179,1 KB 3D Dokumente
CDG045D 16CF ECAT
stp 1,4 MB 3D Dokumente
CDG045D 16CF P-Bus
zip 177,9 KB 3D Dokumente
CDG045D 16KF
zip 146,5 KB 3D Dokumente