Heiß-Ionisationsmessgeräte

Trigon™ BAG552

Mittel- bis Ultrahochvakuum SingleGauge

BPG552-Trigon

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Personal information
Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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Für Anwendungen, die einen auf die reine Heißioni Technologie reduzierten Sensor erfordern, bietet die Trigon™-Familie das Single Bayard-Alpert Heißionenmessgerät BAG552.

Die BAG552 ist ausgelegt für die Vakuummessung von Gasen im Druckbereich 5 × 10-10 ... 2 × 10-2 mbar. Das fixierte Doppelfilament bietet hervorragende Genauigkeit, Wiederholbarkeit und Langlebigkeit. Die BAG552 kann auch in Verbindung mit den INFICON Vakuummessgerät-Controllern der Serien VGC501, VGC502, VGC503 betrieben werden.

Vorteile

  • Reines Bayard-Alpert basiertes Messsystem für einen weiten UHV & HV Messbereich
  • 2 fixierte Filamente für das Bayard-Alpert-System
  • Galvanisch getrennte Elektronik zur Vermeidung von elektrischen Fremd- und Streustrom
  • Gleitender Emissionsmodus zur Vermeidung von Drucksprüngen und Einfrieren beim Umschalten des Emissionsstroms
  • Erweiterte Ausheizbarkeit durch herausnehmbare Kalibrierdatenchips
  • Schaltpunkt-Relais
  • Helles & großes OLED-Display (90° drehbar) mit Benutzeroberfläche
  • Analoger Ausgang, serielle RS232C-Schnittstelle, EtherCAT®
  • Kompatibel nutzbar mit der VGC50x Controller-Serie
  • Rückwärtskompatibel zur BPG402
  • RoHS-konform

Typische Anwendungen

  • Druckmessung in Halbleiterprozessen
  • Industrielle Beschichtung, z.B. optische und dekorative Schichten
  • Allgemeine Vakuummessung und -steuerung an Systemen im Hoch- bis Ultrahochvakuumbereich

Spezifikationen

Messbereich (Luft, O2, CO, N2)5 × 10-10 … 2 × 10-2 mbar
Genauigkeit 
1 × 10-8 … 2 × 10-2 mbar±15 des Messwertes
Reproduzierbarkeit5% der Lesung, 10-8 … 2 × 10-2 mbar (nach 10 min. Stabilisierung)
Dem Vakuum ausgesetzte MaterialienEdelstahl, NiFe, Vernickelung, Hastelloy, Glas, Iridium, Yttriumoxid (Y2O3), Ni, Wolfram

Artikelnummer

BAG552 Ordering Information
BAG552 Ordering Information

Ersatzteile

ArtikelnummerBeschreibung
352-420BAG552 Ersatz-Sensorkopf, 25KF
352-421BAG552 Ersatz-Sensorkopf, 40CF
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