Heiß-Ionisationsmessgeräte
Trigon™ BAG552
Mittel- bis Ultrahochvakuum SingleGauge
Drop-in-Optionen
Revolutionieren Sie Ihre Vakuummessgeräte-Erfahrung mit uns!
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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Für Anwendungen, die einen auf die reine Heißioni Technologie reduzierten Sensor erfordern, bietet die Trigon™-Familie das Single Bayard-Alpert Heißionenmessgerät BAG552.
Die BAG552 ist ausgelegt für die Vakuummessung von Gasen im Druckbereich 5 × 10-10 ... 2 × 10-2 mbar. Das fixierte Doppelfilament bietet hervorragende Genauigkeit, Wiederholbarkeit und Langlebigkeit. Die BAG552 kann auch in Verbindung mit den INFICON Vakuummessgerät-Controllern der Serien VGC501, VGC502, VGC503 betrieben werden.
Vorteile
- Reines Bayard-Alpert basiertes Messsystem für einen weiten UHV & HV Messbereich
- 2 fixierte Filamente für das Bayard-Alpert-System
- Galvanisch getrennte Elektronik zur Vermeidung von elektrischen Fremd- und Streustrom
- Gleitender Emissionsmodus zur Vermeidung von Drucksprüngen und Einfrieren beim Umschalten des Emissionsstroms
- Erweiterte Ausheizbarkeit durch herausnehmbare Kalibrierdatenchips
- Schaltpunkt-Relais
- Helles & großes OLED-Display (90° drehbar) mit Benutzeroberfläche
- Analoger Ausgang, serielle RS232C-Schnittstelle, EtherCAT®
- Kompatibel nutzbar mit der VGC50x Controller-Serie
- Rückwärtskompatibel zur BPG402
- RoHS-konform
Typische Anwendungen
- Druckmessung in Halbleiterprozessen
- Industrielle Beschichtung, z.B. optische und dekorative Schichten
- Allgemeine Vakuummessung und -steuerung an Systemen im Hoch- bis Ultrahochvakuumbereich
Spezifikationen
| Messbereich (Luft, O2, CO, N2) | 5 × 10-10 … 2 × 10-2 mbar |
| Genauigkeit | |
| 1 × 10-8 … 2 × 10-2 mbar | ±15 des Messwertes |
| Reproduzierbarkeit | 5% der Lesung, 10-8 … 2 × 10-2 mbar (nach 10 min. Stabilisierung) |
| Dem Vakuum ausgesetzte Materialien | Edelstahl, NiFe, Vernickelung, Hastelloy, Glas, Iridium, Yttriumoxid (Y2O3), Ni, Wolfram |
Artikelnummer
Ersatzteile
| Artikelnummer | Beschreibung |
| 352-420 | BAG552 Ersatz-Sensorkopf, 25KF |
| 352-421 | BAG552 Ersatz-Sensorkopf, 40CF |
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