1. MPG40X
Kaltkathoden-Messgeräte

MPG40X

Von Atmosphärendruck bis Ultrahochvakuum

MPG40x
Drop-in-Optionen

Revolutionieren Sie Ihre Vakuummessgeräte-Erfahrung mit uns!

Erfahren Sie mehr

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
Request
Personal information

You can unsubscribe from these communications at any time. For more information please review our Privacy Policy.

Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
Your configuration has been successfully sent!
Back

Die invertierten Magnetron-Pirani-Messgeräte MPG400 und MPG401 von INFICON messen von 5 x 10-9 mbar (3,8 x 10-9 Torr) bis Atmosphärendruck. 

Die Kombination von Technologien in einem einzigen kompakten Gerät mit nur einem logarithmischen analogen Ausgangssignal vereinfacht die Installation, Einrichtung und Integration in Ihre Anlage.

Vorteile

  • Kombinationsmessgerät – invertiertes Magnetron und Pirani
  • Großer Messbereich von 5 x 10-9 mbar bis Atmosphärendruck
  • Kein Filament, das ausbrennen kann
  • Ausgezeichnete Zündeigenschaften
  • Leicht zu reinigen
  • FPM- oder metallversiegelte Durchführung
  • LED-Anzeige für anliegende Hochspannung
  • Logarithmisches analoges Ausgangssignal

Typische Anwendungen

  • Hochvakuum-Drucküberwachung
  • Basisdruck für Verdampfungs- und Sputter-Systeme
  • Allgemeine Vakuummessung und -steuerung im Mittel- und Hochvakuumbereich

Spezifikationen

MPG400 FPM sealed
MPG401 metal-sealed
Messbereich (Luft, N2)mbar
Torr		5 x 10-9 … 1000
3.8 x 10-9 … 760
Genauigkeit (N2)  
1 x 10-8 … 100 mbar% of reading≈±30%
Wiederholbarkeit  
1 x 10-8 … 100 mbar% of reading≈±5%
Zulässige Temperatur  
Betrieb (Umgebung)°C+5 … +55
Lagerung°C–40 … +65
Ausheizen (1)°C150
Versorgungsspannung  
An der MessröhreV (dc)+15 … +30
Bei Versorgungseinheit mit max. Kabellänge (2)V (dc)+16 … +30
RippleV (p-p)≤1
LeistungsaufnahmeW≤2
Werkstoffe gegen Vakuum stainless steel, Al2O3, FPM75, Mo, Ni, Au, W
   
(1) Ohne Elektronik und magnetische Abschirmung.
(2) Die Mindestspannung der Versorgungseinheit muss proportional zur der Länge des Sensorkabels erhöht werden.
Messbereich (Luft, N2)mbar
Torr		5 x 10-9 … 1000
3.8 x 10-9 … 760
Genauigkeit (N2)  
1 x 10-8 … 100 mbar% of reading≈±30%
Wiederholbarkeit  
1 x 10-8 … 100 mbar% of reading≈±5%
Zulässige Temperatur  
Betrieb (Umgebung)°C+5 … +55
Lagerung°C–40 … +65
Ausheizen (1)°C150
Versorgungsspannung  
An der MessröhreV (dc)+15 … +30
Bei Versorgungseinheit mit max. Kabellänge (2)V (dc)+16 … +30
RippleV (p-p)≤1
LeistungsaufnahmeW≤2
Werkstoffe gegen Vakuum stainless steel, Al2O3, Ag, Cu, Sn, Mo, Ni, Au, W
   
(1) Ohne Elektronik und magnetische Abschirmung.
(2) Die Mindestspannung der Versorgungseinheit muss proportional zur der Länge des Sensorkabels erhöht werden.
Spezifikationen herunterladen
Artikelnummern
Zubehör
Ersatzteile
MPG400 FPM sealed
ArtikelnummerBeschreibung
351-010MPG400 FPM sealed, DN 25 ISO-KF
351-011MPG400 FPM sealed, DN 40 ISO-KF
351-012MPG400 FPM sealed, DN 40 CF-F
  
MPG401 metal-sealed
ArtikelnummerBeschreibung
351-020MPG401, DN 25 ISO-KF
351-021MPG401 metal sealed, DN 40 ISO-KF
351-022MPG401 metal sealed, DN 40 CF-F
351-023Magnetische Abschirmung
MPG400 FPM sealed
ArtikelnummerBeschreibung
351-023Magnetische Abschirmung
  
MPG401 metal-sealed
ArtikelnummerBeschreibung
351-023Magnetische Abschirmung
MPG400 FPM sealed
ArtikelnummerBeschreibung
BN846469-TErsatz-Messsystem MPG400 DN25 ISO-KF
  
MPG401 metal-sealed
ArtikelnummerBeschreibung
BN846472-TErsatz-Messsystem MPG401 DN25 ISO-KF
  
MPG400 FPM sealed
ArtikelnummerBeschreibung
BN846470-TErsatz-Messsystem MPG400 DN40 ISO-KF
  
MPG401 metal-sealed
ArtikelnummerBeschreibung
BN846473-TErsatz-Messsystem MPG401 DN40 ISO-KF
  
MPG400 FPM sealed
ArtikelnummerBeschreibung
BN846471-TErsatz-Messsystem MPG400 DN40 CF-F
  
MPG401 metal-sealed
ArtikelnummerBeschreibung
BN846474-TErsatz-Messsystem MPG401 DN40CF-F
  
MPG400 FPM sealed
ArtikelnummerBeschreibung
351-994MPG40x/MAG470 Montagewerkzeug Zündhilfe
  
MPG401 metal-sealed
ArtikelnummerBeschreibung
351-994MPG40x/MAG470 Montagewerkzeug Zündhilfe
  
MPG400 FPM sealed
ArtikelnummerBeschreibung
351-995MxG4xx/50x Zündhilfesatz(10 Stk)
  
MPG401 metal-sealed
ArtikelnummerBeschreibung
351-995MxG4xx/50x Zündhilfesatz(10 Stk)
  
MPG400 FPM sealed
ArtikelnummerBeschreibung
351-998MPG400 Reparatursatz
  
MPG401 metal-sealed
ArtikelnummerBeschreibung
351-996
351-996
  
MPG400 FPM sealed
ArtikelnummerBeschreibung
351-999MPG400 Wartungssatz
  
MPG401 metal-sealed
Part NumberDescription
351-997MPG401/MAG470 Wartungssatz
Das Produkt wird in folgenden Märkten verwendet
Analytical-Instrumentation-Navi
Analytische Instrumente

Der Markt für analytische Instrumente unterstützt mit seinen hochentwickelten Werkzeugen Anwender in einem breiten Feld von Anwendungen und Märkten.

Mehr Erfahren
Battery-Market-Navi
Batterie

Von der Elektrodenproduktion bis zur End-of-Line-Prüfung

Mehr Erfahren
Display-Navi
Display

INFICONs Sensoren für den Display-Markt nutzen eine Reihe von Prozesssensortechnologien, darunter Dünnschichtregler, Restgasanalyse, optische Emissionsspektrometrie, Quarzkristall-Mikrowaagen, Leckdetektoren, Druckmesser und RF-Messungen.

Mehr Erfahren
energy-market-navi
Energie

Die herkömmliche Öl- und Gasförderung hat in den letzten Jahrzehnten eine steigende Nachfrage verzeichnet, die durch das Bevölkerungswachstum, die Verstädterung und die konsumierende Mittelschicht in den Entwicklungsländern angetrieben wird. 

Mehr Erfahren
HVACR-Navi
HVAC/R

Die Kälte- und Klimatechnik gehört zweifelsohne zu den wichtigen Themen des 21. Jahrhunderts. Nutzungseffektivität, Energieeffizienz, und nicht zuletzt optimale Temperaturen bzw. ein optimales Klima (im privaten als auch gewerblichen Sektor) spielen eine wichtige Rolle. 

Mehr Erfahren
Industrial-Manufacturing-Navi-2
Industrielle Fertigung

Vakuum wird immer häufiger eingesetzt, um eine saubere Umgebung zu gewährleisten und wird für verschiedene Prozesse benötigt, die ohne Vakuum nicht funktionieren. 

Mehr Erfahren
Mobility_and_Automotive-Navi
Mobilität & Automotive

Zuverlässige Lecktests in einer sich entwickelnden Industrie. Der Wandel in der Automobilindustrie macht Dichtheitsprüfung noch bedeutsamer.

Mehr Erfahren
Pharma_and_Medical-Navi
Pharma & Medizin

Produktivitätssteigerung und Unterstützung bei der Einhaltung von Compliance-Standards und Qualitätsanforderungen in der Pharmaindustrie 

Mehr Erfahren
Research-and-Academia-Navi
Forschung & Ausbildung

Durch Grundlagenforschung die innersten Geheimnisse des Universums lüften. Wir liefern heute die Innovationen, die die Technologien von morgen ermöglichen.

Mehr Erfahren
Semiconductur-IDM-and-Foundry-Navi
Halbleiterhersteller

Sensoren, die auf eine breite Palette von Anwendungen zugeschnitten sind und Produktsicherheit, höhere Erträge und maximale Produktivität gewährleisten.

Mehr Erfahren
Vacuum_Coating-Navi
Vakuumbeschichtung

Die Märkte für die Vakuumbeschichtung gehen weit über die Optik hinaus und dehnen sich rasch auf Bereiche, Branchen und Folienschichten aus, die noch vor zehn Jahren fast unvorstellbar waren.

Mehr Erfahren
Wir benötigen für Videoinhalte Ihre Zustimmung
Mehr Informationen