Kaltkathoden-Messgeräte
MPG40X
Von Atmosphärendruck bis Ultrahochvakuum
Drop-in-Optionen
Revolutionieren Sie Ihre Vakuummessgeräte-Erfahrung mit uns!
Die invertierten Magnetron-Pirani-Messgeräte MPG400 und MPG401 von INFICON messen von 5 x 10-9 mbar (3,8 x 10-9 Torr) bis Atmosphärendruck.
Die Kombination von Technologien in einem einzigen kompakten Gerät mit nur einem logarithmischen analogen Ausgangssignal vereinfacht die Installation, Einrichtung und Integration in Ihre Anlage.
Vorteile
- Kombinationsmessgerät – invertiertes Magnetron und Pirani
- Großer Messbereich von 5 x 10-9 mbar bis Atmosphärendruck
- Kein Filament, das ausbrennen kann
- Ausgezeichnete Zündeigenschaften
- Leicht zu reinigen
- FPM- oder metallversiegelte Durchführung
- LED-Anzeige für anliegende Hochspannung
- Logarithmisches analoges Ausgangssignal
Typische Anwendungen
- Hochvakuum-Drucküberwachung
- Basisdruck für Verdampfungs- und Sputter-Systeme
- Allgemeine Vakuummessung und -steuerung im Mittel- und Hochvakuumbereich
Spezifikationen
MPG400 FPM sealed
MPG401 metal-sealed
| Messbereich (Luft, N2) | mbar Torr | 5 x 10-9 … 1000 3.8 x 10-9 … 760 |
| Genauigkeit (N2) | ||
| 1 x 10-8 … 100 mbar | % of reading | ≈±30% |
| Wiederholbarkeit | ||
| 1 x 10-8 … 100 mbar | % of reading | ≈±5% |
| Zulässige Temperatur | ||
| Betrieb (Umgebung) | °C | +5 … +55 |
| Lagerung | °C | –40 … +65 |
| Ausheizen (1) | °C | 150 |
| Versorgungsspannung | ||
| An der Messröhre | V (dc) | +15 … +30 |
| Bei Versorgungseinheit mit max. Kabellänge (2) | V (dc) | +16 … +30 |
| Ripple | V (p-p) | ≤1 |
| Leistungsaufnahme | W | ≤2 |
| Werkstoffe gegen Vakuum | stainless steel, Al2O3, FPM75, Mo, Ni, Au, W | |
| (1) Ohne Elektronik und magnetische Abschirmung. (2) Die Mindestspannung der Versorgungseinheit muss proportional zur der Länge des Sensorkabels erhöht werden. | ||
| Messbereich (Luft, N2) | mbar Torr | 5 x 10-9 … 1000 3.8 x 10-9 … 760 |
| Genauigkeit (N2) | ||
| 1 x 10-8 … 100 mbar | % of reading | ≈±30% |
| Wiederholbarkeit | ||
| 1 x 10-8 … 100 mbar | % of reading | ≈±5% |
| Zulässige Temperatur | ||
| Betrieb (Umgebung) | °C | +5 … +55 |
| Lagerung | °C | –40 … +65 |
| Ausheizen (1) | °C | 150 |
| Versorgungsspannung | ||
| An der Messröhre | V (dc) | +15 … +30 |
| Bei Versorgungseinheit mit max. Kabellänge (2) | V (dc) | +16 … +30 |
| Ripple | V (p-p) | ≤1 |
| Leistungsaufnahme | W | ≤2 |
| Werkstoffe gegen Vakuum | stainless steel, Al2O3, Ag, Cu, Sn, Mo, Ni, Au, W | |
| (1) Ohne Elektronik und magnetische Abschirmung. (2) Die Mindestspannung der Versorgungseinheit muss proportional zur der Länge des Sensorkabels erhöht werden. | ||
Artikelnummer
Artikelnummern
Zubehör
Ersatzteile
| MPG400 FPM sealed | |
| Artikelnummer | Beschreibung |
| 351-010 | MPG400 FPM sealed, DN 25 ISO-KF |
| 351-011 | MPG400 FPM sealed, DN 40 ISO-KF |
| 351-012 | MPG400 FPM sealed, DN 40 CF-F |
| MPG401 metal-sealed | |
| Artikelnummer | Beschreibung |
| 351-020 | MPG401, DN 25 ISO-KF |
| 351-021 | MPG401 metal sealed, DN 40 ISO-KF |
| 351-022 | MPG401 metal sealed, DN 40 CF-F |
| 351-023 | Magnetische Abschirmung |
| MPG400 FPM sealed | |
| Artikelnummer | Beschreibung |
| 351-023 | Magnetische Abschirmung |
| MPG401 metal-sealed | |
| Artikelnummer | Beschreibung |
| 351-023 | Magnetische Abschirmung |
| MPG400 FPM sealed | |
| Artikelnummer | Beschreibung |
| BN846469-T | Ersatz-Messsystem MPG400 DN25 ISO-KF |
| MPG401 metal-sealed | |
| Artikelnummer | Beschreibung |
| BN846472-T | Ersatz-Messsystem MPG401 DN25 ISO-KF |
| MPG400 FPM sealed | |
| Artikelnummer | Beschreibung |
| BN846470-T | Ersatz-Messsystem MPG400 DN40 ISO-KF |
| MPG401 metal-sealed | |
| Artikelnummer | Beschreibung |
| BN846473-T | Ersatz-Messsystem MPG401 DN40 ISO-KF |
| MPG400 FPM sealed | |
| Artikelnummer | Beschreibung |
| BN846471-T | Ersatz-Messsystem MPG400 DN40 CF-F |
| MPG401 metal-sealed | |
| Artikelnummer | Beschreibung |
| BN846474-T | Ersatz-Messsystem MPG401 DN40CF-F |
| MPG400 FPM sealed | |
| Artikelnummer | Beschreibung |
| 351-994 | MPG40x/MAG470 Montagewerkzeug Zündhilfe |
| MPG401 metal-sealed | |
| Artikelnummer | Beschreibung |
| 351-994 | MPG40x/MAG470 Montagewerkzeug Zündhilfe |
| MPG400 FPM sealed | |
| Artikelnummer | Beschreibung |
| 351-995 | MxG4xx/50x Zündhilfesatz(10 Stk) |
| MPG401 metal-sealed | |
| Artikelnummer | Beschreibung |
| 351-995 | MxG4xx/50x Zündhilfesatz(10 Stk) |
| MPG400 FPM sealed | |
| Artikelnummer | Beschreibung |
| 351-998 | MPG400 Reparatursatz |
| MPG401 metal-sealed | |
| Artikelnummer | Beschreibung |
| 351-996 | 351-996 |
| MPG400 FPM sealed | |
| Artikelnummer | Beschreibung |
| 351-999 | MPG400 Wartungssatz |
| MPG401 metal-sealed | |
| Part Number | Description |
| 351-997 | MPG401/MAG470 Wartungssatz |
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351-011 MPG400 FPM sealed, DN 40 CF-F
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351-011 MPG400 FPM sealed, DN 40 ISO-KF
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