Kapazitätsmanometer

Edge® CDG025D2

Skalenendwert 0,1 ... 1000 Torr / mbar

Edge-CDG025D2-CDG045D2-CDG100D2
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Revolutionieren Sie Ihre Vakuummessgeräte-Erfahrung mit uns!

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Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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Das INFICON Edge™-Kapazitätsmembran-Vakuummessgerät bietet äußerst genaue Vakuummessungen in rauen Fertigungsumgebungen. 

Der bewährte, temperaturgesteuerte, korrosionsbeständige und ultrareine Keramiksensor bietet hervorragende Messbereichsstabilität über viele Jahre sowie modernste Nullpunktstabilität. Das Edge-Messgerät wird mit INFICONs patentierter Sensorabschirmung geliefert, die das Gerät vor unerwünschten Prozessnebenprodukten schützt. 

Die moderne Elektronik ermöglicht eine über einen breiten Bereich konfigurierbare Signalkonditionierung für alle Anwendungen sowie eine optionale EtherCAT™-Feldbus-Schnittstelle. Das innovative Heizkonzept ermöglicht die Berührung der Außenfläche und spart wertvollen Werkzeugbauraum. INFICON Edge ist das kleinste Vakuummessgerät seiner Art.

Vorteile

  • Einfache Integration, EtherCAT, grosse Angebotsbreite an Messbereichen und Flanschen, Standard mit zwei Schaltpunkten
  • Einfaches "zero"-Kommando, entweder manuell mit Knofdruck oder als digitales Signal, einstellbarer Null-Punkt-offset.
  • "Diagnostic"- Stecker für schnelle Wartung und Service
  • Korrosionsbeständiger Keramiksensor
  • Hervorragende Langzeit-Signalstabilität
  • Temperaturkompensiert
  • Kontaminationsgeschützter Sensor
  • Entspricht den Standards: CE, EN, UL, SEMI, RoHS

Typische Anwendungen

  • Ätz, PVD und andere Halbleiter Produktionsprozesse
  • Speichermedien- und Display-Fertigungs-Equipment
  • Industrielle Vakuumgeräte
  • Allgemeine hochgenaue Druckmessung

Spezifikationen

1000 Torr, 1100 mbar
500 ... 10 Torr / mbar
1 Torr / mbar
0.25 Torr / mbar
0.1 Torr / mbar
Genauigkeit% of reading0.2
Auflösungpercent FS0.003
Ausgangssignal (analog)V (dc)0 … +10
Ansprechzeit ms30
Werkstoffe gegen Vakuum Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L)
Genauigkeit% of reading0.2
Auflösungpercent FS0.003
Ausgangssignal (analog)V (dc)0 … +10
Ansprechzeitms30
Werkstoffe gegen Vakuum Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L)
Genauigkeit% of reading0.2
Auflösungpercent FS0.003
Ausgangssignal (analog)V (dc)0 … +10
Ansprechzeit ms30
Werkstoffe gegen Vakuum Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L)
Genauigkeit% of reading0.25
Auflösungpercent FS0.003
Ausgangssignal (analog)V (dc)0 … +10
Ansprechzeitms130
Werkstoffe gegen Vakuum Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L)
Genauigkeit% of reading0.5
Auflösungpercent FS0.003
Ausgangssignal (analog)V (dc)0 … +10
Ansprechzeitms130 / 30 (3)
Werkstoffe gegen Vakuum Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L)
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Artikelnummer

Edge CDG025D2 Ordering information
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