Edge® CDG100D2
100°C temperaturgesteuert, Skalenendwert 1 ... 1000 Torr / mbar
Revolutionieren Sie Ihre Vakuummessgeräte-Erfahrung mit uns!
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Das Edge™-Kapazitätsmembranmessgerät von INFICON bietet äußerst genaue Vakuummessungen in rauen Fertigungsumgebungen.
Der bewährte, temperaturgesteuerte, korrosionsbeständige und ultrareine Keramiksensor bietet hervorragende Messbereichsstabilität über viele Jahre sowie modernste Nullpunktstabilität. Das Edge-Messgerät wird mit INFICONs patentierter Sensorabschirmung geliefert, die das Gerät vor unerwünschten Prozessnebenprodukten schützt. Die moderne Elektronik ermöglicht eine über einen breiten Bereich konfigurierbare Signalkonditionierung für alle Anwendungen sowie eine optionale EtherCAT™-Feldbus-Schnittstelle.
Das innovative Heizkonzept ermöglicht die Berührung der Außenfläche und spart wertvollen Werkzeugbauraum. Das INFICON Edge ist das kleinste Vakuummessgerät seiner Art.
Vorteile
- Kompakt, spart wertvollen Werkzeugplatz
- Einfache Integration, EtherCAT, eine Vielzahl von Messbereichen und Flanschen, standardmäßig mit zwei Sollwerten
- Einfacher Nullbefehl per Tastendruck oder Remotesignal, Nullpunktverschiebung einstellbar
- Diagnoseanschluss für schnelle Wartungsarbeiten
- Zwei Jahre Garantie, längere Lebensdauer mit fortschrittlichem Heizkonzept und Messgerätschutz
- Keine langfristige Neukalibrierung aufgrund von exzellenter Signalstabilität und Wiederholbarkeit, selbst bei anspruchsvollen Plasmaanwendungen
- Compliance und Standards: CE, EN, UL, SEMI, RoHS
Typische Anwenduungen
- PVD, Etch, CVD und andere Verfahren in der Halbleiterfertigung
Spezifikationen
| Genauigkeit | % of reading | 0.15 |
| Auflösung | percent FS | 0.003 |
| Ausgangssignal (analog) | V (dc) | 0 … +10 |
| Ansprechzeit | ms | 30 |
| Werkstoffe gegen Vakuum | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
| Genauigkeit | % of reading | 0.15 |
| Auflösung | percent FS | 0.003 |
| Ausgangssignal (analog) | V (dc) | 0 … +10 |
| Ansprechzeit | ms | 30 |
| Werkstoffe gegen Vakuum | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
