Edge® CDG100D2

Das Edge™-Kapazitätsmembranmessgerät von INFICON bietet äußerst genaue Vakuummessungen in rauen Fertigungsumgebungen.

Der bewährte, temperaturgesteuerte, korrosionsbeständige und ultrareine Keramiksensor bietet hervorragende Messbereichsstabilität über viele Jahre sowie modernste Nullpunktstabilität. Das Edge-Messgerät wird mit INFICONs patentierter Sensorabschirmung geliefert, die das Gerät vor unerwünschten Prozessnebenprodukten schützt. Die moderne Elektronik ermöglicht eine über einen breiten Bereich konfigurierbare Signalkonditionierung für alle Anwendungen sowie eine optionale EtherCAT™-Feldbus-Schnittstelle.

Das innovative Heizkonzept ermöglicht die Berührung der Außenfläche und spart wertvollen Werkzeugbauraum. Das INFICON Edge ist das kleinste Vakuummessgerät seiner Art.

Vorteile

Kompakt, spart wertvollen Werkzeugplatz
Einfache Integration, EtherCAT, eine Vielzahl von Messbereichen und Flanschen, standardmäßig mit zwei Sollwerten
Einfacher Nullbefehl per Tastendruck oder Remotesignal, Nullpunktverschiebung einstellbar
Diagnoseanschluss für schnelle Wartungsarbeiten
Zwei Jahre Garantie, längere Lebensdauer mit fortschrittlichem Heizkonzept und Messgerätschutz
Keine langfristige Neukalibrierung aufgrund von exzellenter Signalstabilität und Wiederholbarkeit, selbst bei anspruchsvollen Plasmaanwendungen
Compliance und Standards: CE, EN, UL, SEMI, RoHS

Spezifikationen

1000 ... 500 Torr / mbar

200 ... 1 Torr / mbar

Genauigkeit (1)	% of reading	0.15

Auflösung	percent FS	0.003

Ausgangssignal (analog)	V (dc)	0 … +10

Ansprechzeit (2)	ms	30

Werkstoffe gegen Vakuum		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L ⁽⁴⁾)
(1) Nichtlinearität, Hysterese, Wiederholbarkeit bei 25 °C Umgebungsbetriebstemperatur ohne Temperatureffekte nach 2-stündigem Betrieb (2) Anstieg 10 ... 90 % des Skalenendwerts (3) Nur für Druckregelungstyp (4) 18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe

Genauigkeit (1)	% of reading	0.15

Auflösung	percent FS	0.003

Ausgangssignal (analog)	V (dc)	0 … +10

Ansprechzeit (2)	ms	30

Werkstoffe gegen Vakuum		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L ⁽⁴⁾)
(1) Nichtlinearität, Hysterese, Wiederholbarkeit bei 25 °C Umgebungsbetriebstemperatur ohne Temperatureffekte nach 2-stündigem Betrieb (2) Anstieg 10 ... 90 % des Skalenendwerts (3) Nur für Druckregelungstyp (4) 18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe

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Typische Anwenduungen

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