Kapazitätsmanometer

Edge® CDG100D2

100°C temperaturgesteuert, Skalenendwert 1 ... 1000 Torr / mbar

Drop-in-Optionen

Revolutionieren Sie Ihre Vakuummessgeräte-Erfahrung mit uns!

Das Edge™-Kapazitätsmembranmessgerät von INFICON bietet äußerst genaue Vakuummessungen in rauen Fertigungsumgebungen.

Der bewährte, temperaturgesteuerte, korrosionsbeständige und ultrareine Keramiksensor bietet hervorragende Messbereichsstabilität über viele Jahre sowie modernste Nullpunktstabilität. Das Edge-Messgerät wird mit INFICONs patentierter Sensorabschirmung geliefert, die das Gerät vor unerwünschten Prozessnebenprodukten schützt. Die moderne Elektronik ermöglicht eine über einen breiten Bereich konfigurierbare Signalkonditionierung für alle Anwendungen sowie eine optionale EtherCAT™-Feldbus-Schnittstelle.

Das innovative Heizkonzept ermöglicht die Berührung der Außenfläche und spart wertvollen Werkzeugbauraum. Das INFICON Edge ist das kleinste Vakuummessgerät seiner Art.

Vorteile

Kompakt, spart wertvollen Werkzeugplatz
Einfache Integration, EtherCAT, eine Vielzahl von Messbereichen und Flanschen, standardmäßig mit zwei Sollwerten
Einfacher Nullbefehl per Tastendruck oder Remotesignal, Nullpunktverschiebung einstellbar
Diagnoseanschluss für schnelle Wartungsarbeiten
Zwei Jahre Garantie, längere Lebensdauer mit fortschrittlichem Heizkonzept und Messgerätschutz
Keine langfristige Neukalibrierung aufgrund von exzellenter Signalstabilität und Wiederholbarkeit, selbst bei anspruchsvollen Plasmaanwendungen
Compliance und Standards: CE, EN, UL, SEMI, RoHS

Typische Anwenduungen

PVD, Etch, CVD und andere Verfahren in der Halbleiterfertigung

Spezifikationen

1000 ... 500 Torr / mbar

200 ... 1 Torr / mbar

Genauigkeit	% of reading	0.2

Auflösung	percent FS	0.003

Ausgangssignal (analog)	V (dc)	0 … +10

Ansprechzeit	ms	30

Werkstoffe gegen Vakuum		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L)

Genauigkeit	% of reading	0.2

Auflösung	percent FS	0.003

Ausgangssignal (analog)	V (dc)	0 … +10

Ansprechzeit	ms	30

Werkstoffe gegen Vakuum		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L)

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Broschüren

Vacuum Instrumentation with EtherCAT Brochure

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Edge_Web

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Datenblätter

Edge® CDG100D2 Datasheet

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Edge CDG100D2 1 … 1000Torr / mbar JA

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Edge CDG100D2 1 … 1000Torr/mbar KO

pdf • 621,3 KB • Koreanisch • Datenblätter

Edge CDG100D2 1 … 1000 托 / 毫巴 ZH

pdf • 732,5 KB • Chinesisch • Datenblätter

Edge CDG100D2 1 … 1000Torr / mbar

pdf • 616,1 KB • Spanisch • Datenblätter

Edge CDG100D2 1 … 1000Torr / mbar DE

pdf • 575,7 KB • Deutsch • Datenblätter

Maßzeichnungen

CDG100D2 dimension drawing

png • 224,7 KB • Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch • Maßzeichnungen

Handbücher

SKY® CDG045D-100D, Edge® CDG025D2-100D2, Stripe® CDG045Dhs-200Dhs EtherCAT New Generation Communication Protocol

pdf • 2,1 MB • Englisch • Bedienungsanleitungen

Gebrauchsanleitung Edge CDG045D2 CDG100D2 DE

pdf • 1,7 MB • Deutsch • Bedienungsanleitungen

Manual Edge CDG045D2 CDG100D2

pdf • 1,7 MB • Englisch • Bedienungsanleitungen

Manual Edge CDG045D2 CDG100D2 CN

pdf • 1,8 MB • Chinesisch • Bedienungsanleitungen

SKY® CDG025D-200D RS232C Communication Protocol

pdf • 187,4 KB • Englisch • Bedienungsanleitungen

SKY® CDG025D-200D RS232C Kommunikationsanleitung

pdf • 188,5 KB • Deutsch • Bedienungsanleitungen

SKY® CDG045D-100D, Edge® CDG025D2-100D2, Stripe® CDG045Dhs-100Dhs EtherCAT Communication Protocol

pdf • 972,1 KB • Englisch • Bedienungsanleitungen

3D Step Files

Edge® CDG100D2 3D 16CF 15DSUB

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SKY® CDG100D 3D 16KF 15DSUB

stp • 937,0 KB • 3D Dokumente

Edge® CDG100D2 3D tube E-CAT

zip • 252,0 KB • 3D Dokumente

Edge® CDG100D2 3D Tube 15DSUB

zip • 470,5 KB • 3D Dokumente

Edge® CDG100D2 3D Tube 9DSUB

zip • 1,1 MB • 3D Dokumente

Edge® CDG100D2 3D 16KF E-CAT

zip • 254,1 KB • 3D Dokumente

Edge® CDG100D2 3D 8-VCR-f E-CAT

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Edge® CDG100D2 3D 8-VCR-f 15DSUB

zip • 480,8 KB • 3D Dokumente

Edge® CDG100D2 3D 4-VCR-m 15DSUB

zip • 623,5 KB • 3D Dokumente

Edge® CDG100D2 3D 4-VCR-f 15DSUB

zip • 602,7 KB • 3D Dokumente

Edge® CDG100D2 3D 4-VCR-f 9DSUB

zip • 1,1 MB • 3D Dokumente

Edge® CDG100D2 3D 16CF 9DSUB

zip • 1,1 MB • 3D Dokumente

Edge® CDG100D2 3D 8-VCR-f 9DSUB

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Edge® CDG100D2 3D 16KF 9DSUB

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Edge® CDG100D2 3D 16CF E-CAT

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Edge® CDG100D2 3D 16KF 15DSUB

zip • 471,5 KB • 3D Dokumente

Edge® CDG100D2 3D 4-VCR-m E-CAT

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Edge® CDG100D2 3D 4-VCR-m 9DSUB

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Edge CDG100D2 4-VCR-f E-CAT

zip • 2,0 MB • 3D Dokumente

Andere

SKY® CDG045D, Edge®, EtherCAT New Generation ESI V2

zip • 10,5 KB • Japanisch, Englisch

SKY® CDG045D EtherCAT ESI

xml • 1,3 MB • Englisch

Das Produkt wird in folgenden Märkten verwendet

Analytische Instrumente

Der Markt für analytische Instrumente unterstützt mit seinen hochentwickelten Werkzeugen Anwender in einem breiten Feld von Anwendungen und Märkten.

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Display

INFICONs Sensoren für den Display-Markt nutzen eine Reihe von Prozesssensortechnologien, darunter Dünnschichtregler, Restgasanalyse, optische Emissionsspektrometrie, Quarzkristall-Mikrowaagen, Leckdetektoren, Druckmesser und RF-Messungen.

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Die herkömmliche Öl- und Gasförderung hat in den letzten Jahrzehnten eine steigende Nachfrage verzeichnet, die durch das Bevölkerungswachstum, die Verstädterung und die konsumierende Mittelschicht in den Entwicklungsländern angetrieben wird.

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Mobilität & Automotive

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Durch Grundlagenforschung die innersten Geheimnisse des Universums lüften. Wir liefern heute die Innovationen, die die Technologien von morgen ermöglichen.

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Halbleiterhersteller

Sensoren, die auf eine breite Palette von Anwendungen zugeschnitten sind und Produktsicherheit, höhere Erträge und maximale Produktivität gewährleisten.

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Vakuumbeschichtung

Die Märkte für die Vakuumbeschichtung gehen weit über die Optik hinaus und dehnen sich rasch auf Bereiche, Branchen und Folienschichten aus, die noch vor zehn Jahren fast unvorstellbar waren.

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