HEISS-IONISATIONSMESSGERÄTE

BPG400

Atmosphärendruck bis Ultrahochvakuum

Pirani-BAG402-BPG400-BPG402

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Personal information
Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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Das Bayard-Alpert-Pirani-Kombinationsmessgerät BPG400 von INFICON bietet zwei Messgeräte in einer einzigen kompakten Einheit und misst im Bereich von 5×10-10 mbar (3,8×10-10 Torr) bis Atmosphärendruck . Durch Kombination verschiedener Technologien wird Installation, Einrichtung und Integration vereinfacht. 

Das BPG400 ermöglicht erschwingliche, wiederholbare Messungen im Prozess- bis Basisdruckbereich in einem kostengünstigen Paket.

Vorteile

  • Extrem großer Messbereich von 5 x 10-10 mbar bis Atmosphärendruck (3,8 x 10-10 Torr bis Atmosphärendruck)
  • Ausgezeichnete Wiederholbarkeit im Prozessdruckbereich von 10-8 bis 10-2 mbar von 5%
  • Das Pirani-Interlock schützt das Bayard-Alpert-System vor vorzeitigem Ausbrennen des Filaments und übermäßiger Verunreinigung durch Hochdruckbetrieb
  • Langlebiges Yttriumoxid-beschichtetes Iridiumfilament
  • Optionale grafische Anzeige und Feldbus-Schnittstellen erhältlich
  • Automatische Hochvakuum-Pirani-Justierung reduziert die erforderlichen Eingriffe durch den Betreiber
  • RoHS-Konformität
  • Allgemeine Vakuummessung und Steuerung im niedrigen bis ultrahohen Vakuumbereich

Typische Anwendungen

  • Druckmessung in Halbleiterprozess- und Transferkammern
  • Industrielle Beschichtung
  • Allgemeine Vakuummessung und Steuerung im niedrigen bis ultrahohen Vakuumbereich

Spezifikationen

Measurement range (air, O2, CO, N2)mbar
Torr
5×10-10 … 1000
3.8×10-10 … 750
   
Accuracy  
10-8 … 10-2 mbar% of reading±15
   
Repeatability  
10-8 … 10-2 mbar% of reading5
   
Temperature  
Operation (ambient)°C0 … +50
Storage°C-20 … +70
Bakeout at flange with extension°C150
Bakeout at flange without extension°C80
Bakeout electronics removed°C150
   
Supply voltageV (dc)
A (dc)
+20 … +28
0.8
   
Materials exposed to vacuum Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
Spezifikationen herunterladen
Artikelnummer
Zubehör
Ersatzteile
ArtikelnummerBeschreibung
353-500BPG400 DN 25 ISO-KF
353-501BPG400 LCD, DN 25 ISO-KF
353-502BPG400 DN 40 CF-R
353-503BPG400 LCD, DN 40 CF-R
353-505BPG400-SP PBus, DN 25 ISO-KF
353-506BPG400-SP PBus, DN 40 CF-R
353-507BPG400-SD DNet, DN 25 ISO-KF
353-508BPG400-SD DNet, DN 40 CF-R
354-490Ersatz-Messsystem BPG400; DN 25 ISO-KF
354-491Ersatz-Messsystem BPG400; DN 40 CF-R
ArtikelnummerBeschreibung
353-511Netzteil BPG400 24VDC 2.1A
353-510Ausheizverlängerung
353-512Baffle zu BPG400
211-113Zentrierring mit Baffle DN 25 KF
ArtikelnummerBeschreibung
354-490Ersatz-Messsystem BPG400; DN 25 ISO-KF
354-491Ersatz-Messsystem BPG400; DN 40 CF-R
354-498Ersatz-Elektronik BPG400 o. Display
354-499Ersatz-Elektronik BPG400 m. Display

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