HEISS-IONISATIONSMESSGERÄTE

BCG450

Von Atmosphärendruck bis Ultrahochvakuum

Das INFICON BCG450 Kombinationsmessgerät (TripleGauge^®) vereinigt die Vorteile dreier verschiedenen Technologien in einem einzigen, kompakten und wirtschaftlichen Gerät zur Messung von Prozess- und Basisdruck im Bereich von 5×10^-10 bis 1500 mbar (3,75×10^-10 bis 1125 Torr).

Das BCG450 wurde entwickelt um drei Sensoren ersetzen zu können (Hot Ion, Pirani und Vakuumschalter). Dies reduziert die Kosten und verringert den Platzbedarf an der Anlage.

Auch mit digitaler ProfiNET-Schnittstelle erhältlich.

Vorteile

Das BCG450 spart Kosten und Stellfläche und vereinfacht die Installation und Einrichtung zur Vakuummessung
Gasart-unabhängige Druckmessung über 10 Torr bietet zuverlässigere Schleusensteuerung bei beliebigen Gasmischungen.
Pirani-Interlock schützt das heiße Filament vor vorzeitigem Ausbrennen
Automatische Hochvakuum-Pirani-Justierung reduziert die erforderlichen Eingriffe durch den Betreiber
Die Differenzdruckmessung bei Atmosphärendruck beseitigt Ungewissheit hinsichtlich der Änderung des atmosphärischen Drucks
Leicht auswechselbares Sensorelement mit integrierten Kalibrierungsdaten garantiert Reproduzierbarkeit
Optionale grafische Anzeige und Feldbus-Schnittstellen erhältlich
RoHS-Konformität

Typische Anwendungen

Druckmessung in Halbleiterprozessen, Transfer- und Schleusenkammern
Industrielle Beschichtung
Allgemeine Vakuummessung und -steuerung von Systemen im Bereich Grob- bis Ultrahochvakuum

Spezifikationen

Measurement range (air, O₂, CO, N₂)	mbar Torr	5×10^-10 … 1500 3.75×10^-10 … 1125

Accuracy

10^-8 … 50 mbar	% of reading	±15
50 … 950 mbar	% of reading	±5
950 … 1050 mbar	% of reading	±2.5

Repeatability

10^-8 … 10^-2 mbar	% of reading	5

Temperature

Operation (ambient)	°C	0 … +50
Storage	°C	-20 … +70
Bakeout at flange	°C	80
Bakeout electronics removed	°C	150

Supply voltage	V (dc) A (dc)	20 … 28 0.8

Materials exposed to vacuum		Yt₂O₃, Ir, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, AI₂O₃, SnAg, stainless steel, glass

Spezifikationen herunterladen

Artikelnummern

Zubehör

Ersatzteile

Artikelnummer	Beschreibung
353-550	BCG450 DN 25 ISO-KF
353-551	BCG450 DN 40 CF-R
353-552	BCG450 LCD, DN 25 ISO-KF
353-553	BCG450 LCD, DN 40 CF-R
353-554	BCG450-SP PBus, DN 25 ISO-KF
353-556	BCG450-SP PBus, DN 40 CF-R
353-557	BCG450-SD DNet, DN 25 ISO-KF
353-558	BCG450-SD DNet, DN 40 CF-R
353-592	BCG450-SE ECAT, DN 25 ISO-KF
353-593	BCG450-SE ECAT, DN 40 CF-R
353-598	BCG450-SE ECAT, DN 25 ISO-KF
353-599	BCG450-SE ECAT, DN 40 CF-R
353-517	BCG450-PN Profinet, DN 25 ISO-KF
353-518	BCG450-PN Profinet, DN 40 CF-R

Artikelnummer	Beschreibung
353-511	Netzteil BPG400 24VDC 2.1A
353-512	Baffle zu BPG400
211-113	Zentrierring mit Baffle DN 25 KF

Artikelnummer	Beschreibung
354-492	BCG450 Ersatz-Messsystem DN25 KF
354-493	BCG450 Ersatz-Messsystem DN40 CF-R

Downloads

Broschüren

EtherCAT Brochure

pdf • 1,6 MB • Englisch

Hot Ion Gauge Brochure

pdf • 1,1 MB • Englisch

Handbücher

TIRB61E1 TripleGauge BCG450 Communication protocol Profinet

pdf • 824,0 KB • Englisch

TIRA41E1_TripleGauge BCG450 Communication protocol Profibus

pdf • 360,8 KB • Englisch

TIMA40E1 Triple Gauge BCG450 Operating manual_short

pdf • 748,1 KB • Englisch

TIMA41E1 Triple Gauge BCG450 Operating manual Fieldbusses_short

pdf • 748,3 KB • Englisch

TINA40E1 Triple Gauge BCG450 Operating manual_long

pdf • 1,8 MB • Englisch

TIRB52e1_BCG450_Communication protocol EtherCAT_New Generation

pdf • 773,5 KB • Englisch

TIRA87E1_TripleGauge BCG450_Communication protocol EtherCAT

pdf • 350,6 KB • Englisch

TIMA41E1_TripleGauge BCG450 Operating manual for DNET and Profibus_short

pdf • 260,8 KB • Englisch

TIRA40E1_TripleGauge BCG450 Communication protocol DeviceNet

pdf • 289,8 KB • Englisch

TIMA40D1 Triple Gauge BCG450 Gebrauchsanleitung_kurz

pdf • 744,0 KB • Deutsch

TIMA41D1 Triple Gauge BCG450 Gebrauchsanleitung Feldbusse_kurz

pdf • 752,2 KB • Deutsch

TINA40D1 Triple Gauge BCG450 Gebrauchsanleitung_lang

pdf • 1,9 MB • Deutsch

3D Step Files

353-517 BCG450 Profinet DN 25 ISO-KF

stp • 3,5 MB

353-518 BCG450 Profinet DN 40 CF-R

stp • 5,4 MB

353-550 BCG450 DN 25 ISO-KF

zip • 451,7 KB

353-551 BCG450 DN 40-CF-R

zip • 455,6 KB

353-552 BCG450 LCD DN 25 ISO-KF

zip • 453,5 KB

353-553 BCG450 LCD DN 40 CF-R

zip • 459,6 KB

353-554 BCG450 Profibus DN 25 ISO-KF

zip • 459,8 KB

353-556 BCG450 Profibus DN 40-CF-R

zip • 467,2 KB

353-557 BCG450 DNET DN 25 ISO-KF

zip • 457,3 KB

353-558 BCG450 DNET DN 40-CF-R

zip • 462,3 KB

353-592 BCG450-SE EtherCAT 25 ISO-KF

zip • 197,6 KB

353-593 BCG450-SE EtherCAT 40 CF-R

zip • 196,8 KB

Andere

BCG450-int.eds

eds • 53,7 KB • Englisch

BCG450-float.eds

eds • 53,7 KB • Englisch

BCG450_08E6.GSD

GSD • 2,5 KB • Englisch

EtherCAT new generation ESI file BCG450 V2_0_0_0.xml

xml • 218,7 KB • Englisch

ESI File_BCG450 V1_3_0_0

xml • 1,4 MB • Englisch

Inficon_450_SP_STEP7

zip • 857,1 KB • Englisch

Profinet GSDML File for BCG450

zip • 3,2 KB • Englisch

Das Produkt wird in folgenden Märkten verwendet

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