HEISS-IONISATIONSMESSGERÄTE

BCG450

Von Atmosphärendruck bis Ultrahochvakuum

Preise und Verfügbarkeit

Drop-in-Optionen

Revolutionieren Sie Ihre Vakuummessgeräte-Erfahrung mit uns!

Mehr Flexibilität. Bessere Stabilität.

Gleitender Emissionsmodus, herausnehmbarer Kalibrierchip, galvanisch getrennte Elektronik, optionales OLED-Display (90° drehbar) und mehr.

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Das INFICON BCG450 Kombinationsmessgerät (TripleGauge^®) vereinigt die Vorteile dreier verschiedenen Technologien in einem einzigen, kompakten und wirtschaftlichen Gerät zur Messung von Prozess- und Basisdruck im Bereich von 5×10^-10 bis 1500 mbar (3,75×10^-10 bis 1125 Torr).

Das BCG450 wurde entwickelt um drei Sensoren ersetzen zu können (Hot Ion, Pirani und Vakuumschalter). Dies reduziert die Kosten und verringert den Platzbedarf an der Anlage.

Auch mit digitaler ProfiNET-Schnittstelle erhältlich.

Vorteile

Das BCG450 spart Kosten und Stellfläche und vereinfacht die Installation und Einrichtung zur Vakuummessung
Gasart-unabhängige Druckmessung über 10 Torr bietet zuverlässigere Schleusensteuerung bei beliebigen Gasmischungen.
Pirani-Interlock schützt das heiße Filament vor vorzeitigem Ausbrennen
Automatische Hochvakuum-Pirani-Justierung reduziert die erforderlichen Eingriffe durch den Betreiber
Die Differenzdruckmessung bei Atmosphärendruck beseitigt Ungewissheit hinsichtlich der Änderung des atmosphärischen Drucks
Leicht auswechselbares Sensorelement mit integrierten Kalibrierungsdaten garantiert Reproduzierbarkeit
Optionale grafische Anzeige und Feldbus-Schnittstellen erhältlich
RoHS-Konformität

Typische Anwendungen

Druckmessung in Halbleiterprozessen, Transfer- und Schleusenkammern
Industrielle Beschichtung
Allgemeine Vakuummessung und -steuerung von Systemen im Bereich Grob- bis Ultrahochvakuum

Spezifikationen

Measurement range (air, O₂, CO, N₂)	mbar Torr	5×10^-10 … 1500 3.75×10^-10 … 1125

Accuracy

10^-8 … 50 mbar	% of reading	±15
50 … 950 mbar	% of reading	±5
950 … 1050 mbar	% of reading	±2.5

Repeatability

10^-8 … 10^-2 mbar	% of reading	5

Temperature

Operation (ambient)	°C	0 … +50
Storage	°C	-20 … +70
Bakeout at flange	°C	80
Bakeout electronics removed	°C	150

Supply voltage	V (dc) A (dc)	20 … 28 0.8

Materials exposed to vacuum		Yt₂O₃, Ir, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, AI₂O₃, SnAg, stainless steel, glass

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Broschüren

Hot Ion Gauge Brochure

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Vacuum Instrumentation with EtherCAT Broschüre

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Handbücher

TINA40E1 Triple Gauge BCG450 Operating manual_long

pdf • 1,8 MB • Englisch • Bedienungsanleitungen

BCG450 TripleGauge EtherCAT New Generation Communication Protocol

pdf • 773,5 KB • Englisch • Bedienungsanleitungen

BCG450 TripleGauge EtherCAT Communication Protocol

pdf • 350,6 KB • Englisch • Bedienungsanleitungen

BCG450 TripleGauge DeviceNet Communication Protocol

pdf • 289,8 KB • Englisch • Bedienungsanleitungen

BCG450 TripleGauge PROFIBUS Communication Protocol

pdf • 360,8 KB • Englisch • Bedienungsanleitungen

BCG450 TripleGauge PROFINET Communication Protocol

pdf • 824,0 KB • Englisch • Bedienungsanleitungen

TINA40D1 Triple Gauge BCG450 Gebrauchsanleitung_lang

pdf • 2,0 MB • Deutsch • Bedienungsanleitungen

3D Step Files

353-517 BCG450 PROFINET DN 25 ISO-KF

stp • 3,5 MB • 3D Dokumente

353-518 BCG450 PROFINET DN 40 CF-R

stp • 5,4 MB • 3D Dokumente

353-550 BCG450 DN 25 ISO-KF

zip • 451,7 KB • 3D Dokumente

353-551 BCG450 DN 40-CF-R

zip • 455,6 KB • 3D Dokumente

353-552 BCG450 LCD DN 25 ISO-KF

zip • 453,5 KB • 3D Dokumente

353-553 BCG450 LCD DN 40 CF-R

zip • 459,6 KB • 3D Dokumente

353-554 BCG450 PROFIBUS DN 25 ISO-KF

zip • 459,8 KB • 3D Dokumente

353-556 BCG450 PROFIBUS DN 40-CF-R

zip • 467,2 KB • 3D Dokumente

353-557 BCG450 DNET DN 25 ISO-KF

zip • 457,3 KB • 3D Dokumente

353-558 BCG450 DNET DN 40-CF-R

zip • 462,3 KB • 3D Dokumente

353-592 BCG450-SE EtherCAT 25 ISO-KF

stp • 5,1 MB • 3D Dokumente

353-593 BCG450-SE EtherCAT 40 CF-R

stp • 5,2 MB • 3D Dokumente

Andere

BCG450 TripleGauge int EDS

eds • 53,7 KB • Englisch

BCG450 TripleGauge Float EDS

eds • 53,7 KB • Englisch

BCG450 TripleGauge 08E6 GSD

GSD • 2,5 KB • Englisch

BCG450 TripleGauge EtherCAT New Generation ESI V2

xml • 424,7 KB • Englisch

BCG450 TripleGauge ESI V1.3

xml • 1,4 MB • Englisch

Inficon_450_SP_STEP7

zip • 857,1 KB • Englisch

PROFINET GSDML File for BCG450

zip • 3,2 KB • Englisch

Das Produkt wird in folgenden Märkten verwendet

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