HEISS-IONISATIONSMESSGERÄTE
BCG450
Von Atmosphärendruck bis Ultrahochvakuum

Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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Das INFICON BCG450 Kombinationsmessgerät (TripleGauge®) vereinigt die Vorteile dreier verschiedenen Technologien in einem einzigen, kompakten und wirtschaftlichen Gerät zur Messung von Prozess- und Basisdruck im Bereich von 5×10-10 bis 1500 mbar (3,75×10-10 bis 1125 Torr).
Das BCG450 wurde entwickelt um drei Sensoren ersetzen zu können (Hot Ion, Pirani und Vakuumschalter). Dies reduziert die Kosten und verringert den Platzbedarf an der Anlage.
Auch mit digitaler ProfiNET-Schnittstelle erhältlich.
Vorteile
- Das BCG450 spart Kosten und Stellfläche und vereinfacht die Installation und Einrichtung zur Vakuummessung
- Gasart-unabhängige Druckmessung über 10 Torr bietet zuverlässigere Schleusensteuerung bei beliebigen Gasmischungen.
- Pirani-Interlock schützt das heiße Filament vor vorzeitigem Ausbrennen
- Automatische Hochvakuum-Pirani-Justierung reduziert die erforderlichen Eingriffe durch den Betreiber
- Die Differenzdruckmessung bei Atmosphärendruck beseitigt Ungewissheit hinsichtlich der Änderung des atmosphärischen Drucks
- Leicht auswechselbares Sensorelement mit integrierten Kalibrierungsdaten garantiert Reproduzierbarkeit
- Optionale grafische Anzeige und Feldbus-Schnittstellen erhältlich
- RoHS-Konformität
Typische Anwendungen
- Druckmessung in Halbleiterprozessen, Transfer- und Schleusenkammern
- Industrielle Beschichtung
- Allgemeine Vakuummessung und -steuerung von Systemen im Bereich Grob- bis Ultrahochvakuum
Spezifikationen
Measurement range (air, O2, CO, N2) | mbar Torr | 5×10-10 … 1500 3.75×10-10 … 1125 |
Accuracy | ||
10-8 … 50 mbar | % of reading | ±15 |
50 … 950 mbar | % of reading | ±5 |
950 … 1050 mbar | % of reading | ±2.5 |
Repeatability | ||
10-8 … 10-2 mbar | % of reading | 5 |
Temperature | ||
Operation (ambient) | °C | 0 … +50 |
Storage | °C | -20 … +70 |
Bakeout at flange | °C | 80 |
Bakeout electronics removed | °C | 150 |
Supply voltage | V (dc) A (dc) | 20 … 28 0.8 |
Materials exposed to vacuum | Yt2O3, Ir, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, AI2O3, SnAg, stainless steel, glass |
Artikelnummern
Zubehör
Ersatzteile
Artikelnummer | Beschreibung |
353-550 | BCG450 DN 25 ISO-KF |
353-551 | BCG450 DN 40 CF-R |
353-552 | BCG450 LCD, DN 25 ISO-KF |
353-553 | BCG450 LCD, DN 40 CF-R |
353-554 | BCG450-SP PBus, DN 25 ISO-KF |
353-556 | BCG450-SP PBus, DN 40 CF-R |
353-557 | BCG450-SD DNet, DN 25 ISO-KF |
353-558 | BCG450-SD DNet, DN 40 CF-R |
353-592 | BCG450-SE ECAT, DN 25 ISO-KF |
353-593 | BCG450-SE ECAT, DN 40 CF-R |
353-598 | BCG450-SE ECAT, DN 25 ISO-KF |
353-599 | BCG450-SE ECAT, DN 40 CF-R |
353-517 | BCG450-PN Profinet, DN 25 ISO-KF |
353-518 | BCG450-PN Profinet, DN 40 CF-R |
Artikelnummer | Beschreibung |
353-511 | Netzteil BPG400 24VDC 2.1A |
353-512 | Baffle zu BPG400 |
211-113 | Zentrierring mit Baffle DN 25 KF |
Artikelnummer | Beschreibung |
354-492 | BCG450 Ersatz-Messsystem DN25 KF |
354-493 | BCG450 Ersatz-Messsystem DN40 CF-R |
Downloads
Broschüren
Handbücher
TIRB61E1 TripleGauge BCG450 Communication protocol Profinet
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824,0 KB
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Englisch
TIRA41E1_TripleGauge BCG450 Communication protocol Profibus
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360,8 KB
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Englisch
TIMA40E1 Triple Gauge BCG450 Operating manual_short
pdf
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748,1 KB
•
Englisch
TIMA41E1 Triple Gauge BCG450 Operating manual Fieldbusses_short
pdf
•
748,3 KB
•
Englisch
TINA40E1 Triple Gauge BCG450 Operating manual_long
pdf
•
1,8 MB
•
Englisch
TIRB52e1_BCG450_Communication protocol EtherCAT_New Generation
pdf
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773,5 KB
•
Englisch
TIRA87E1_TripleGauge BCG450_Communication protocol EtherCAT
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350,6 KB
•
Englisch
TIMA41E1_TripleGauge BCG450 Operating manual for DNET and Profibus_short
pdf
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260,8 KB
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Englisch
TIRA40E1_TripleGauge BCG450 Communication protocol DeviceNet
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289,8 KB
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Englisch
TIMA40D1 Triple Gauge BCG450 Gebrauchsanleitung_kurz
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744,0 KB
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Deutsch
TIMA41D1 Triple Gauge BCG450 Gebrauchsanleitung Feldbusse_kurz
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752,2 KB
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Deutsch
TINA40D1 Triple Gauge BCG450 Gebrauchsanleitung_lang
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1,9 MB
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Deutsch
3D Step Files
353-517 BCG450 Profinet DN 25 ISO-KF
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3,5 MB
353-518 BCG450 Profinet DN 40 CF-R
stp
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5,4 MB
353-550 BCG450 DN 25 ISO-KF
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451,7 KB
353-551 BCG450 DN 40-CF-R
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455,6 KB
353-552 BCG450 LCD DN 25 ISO-KF
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453,5 KB
353-553 BCG450 LCD DN 40 CF-R
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459,6 KB
353-554 BCG450 Profibus DN 25 ISO-KF
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459,8 KB
353-556 BCG450 Profibus DN 40-CF-R
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467,2 KB
353-557 BCG450 DNET DN 25 ISO-KF
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457,3 KB
353-558 BCG450 DNET DN 40-CF-R
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353-592 BCG450-SE EtherCAT 25 ISO-KF
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353-593 BCG450-SE EtherCAT 40 CF-R
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Andere
BCG450-int.eds
eds
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Englisch
BCG450-float.eds
eds
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Englisch
BCG450_08E6.GSD
GSD
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2,5 KB
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Englisch
EtherCAT new generation ESI file BCG450 V2_0_0_0.xml
xml
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218,7 KB
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Englisch
ESI File_BCG450 V1_3_0_0
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1,4 MB
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Englisch
Inficon_450_SP_STEP7
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Profinet GSDML File for BCG450
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