Kapazitätsmanometer

Spot™ CDS500D

Skalenendwert 10 ... 1000 Torr / mbar

Spot-CDS500D
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Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Personal information
Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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Der keramische Kapazitätsmembransensor Spot CDS500D wurde für die Integration in den begrenzten Platz in Ihren spezifischen Vakuumgeräten und -systemen entwickelt. 

Der Miniatursensor bietet eine hohe Genauigkeit. Die Aluminiumoxid-Keramikzelle und die schweißbare Edelstahldurchführung sind mit Aluminiumoxid beschichtet. Die Sensorelektronik bietet eine digitale SPI-Schnittstelle für eine einfache Integration. 

Der Sensor zeichnet sich durch eine schnelle Datenzykluszeit für eine sofortige Reaktion auf Druckänderungen, eine hervorragende Wiederholbarkeit und Langzeitstabilität aus.

Vorteile

  • Der keramisch beschichtete, kapazitive Miniatur-Membransensor (Al2O3) bietet eine hohe Genauigkeit.
  • Ausgezeichnete Wiederholbarkeit und hervorragende Langzeitstabilität
  • Schweißbare Durchführung für kundenseitige Integration und Kalibration oder geschweißter Kundenflansch zur Integrierung eines werkseitig kalibrierten Sensors
  • Sensorelektronik mit SPI-Schnittstelle zur einfachen Integration und sicheren Datenübertragung
  • Kurze Ansprechzeit
  • Hohe Überdrucksicherheit

Typische Anwendungen

  • Zur Integration in kundenseitige Vakuumgeräte und -anlagen

Spezifikationen

100 Torr
100 Torr
Accuracy0.5 % of reading
Resolution0.01 % FS
Materials exposed to vacuumceramics (AI2O3), stainless steel (AISI 316L)
  
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