Heiß-Ionisationsmessgeräte
BAG402
Mittlerer bis ultrahoher Vakuumbereich
Drop-in-Optionen
Revolutionieren Sie Ihre Vakuummessgeräte-Erfahrung mit uns!
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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Die einfache Bayard-Alpert-Heißionisationsmessröhre BAG402 deckt einen breiten Messbereich von 5×10-10 mbar bis 2,7×10-2 mbar (3,75×10-10 Torr bis 5×10-2 Torr) ab. Die INFICON BPG402 ermöglicht erschwingliche, wiederholbare Messungen im Bereich Ausgangsdruck bis Prozessdruck in einem kompakten aktiven Messpaket.
Die einzigartige Aufhängung der beiden Filamente garantiert unerreichte Genauigkeit, Langzeitstabilität und Langlebigkeit.
Vorteile
- Messbereich von 5 x 10-10 mbar bis 2,7 x 10-2 mbar (3,75 x 10-10 Torr bis 5 x 10-2 Torr)
- Ausgezeichnete Wiederholbarkeit im Prozessdruckbereich von 10-8 bis 10-2 mbar von 5%
- Überdruckerkennung schützt das Filament vor vorzeitigem Abbrand
- Zwei langlebige Yttriumoxid-beschichtete Iridiumfilamente
- Automatische Emissionsstromauswahl reduziert Steuerkomplexität
- Leicht austauschbares Sensorelement mit Onboard-Kalibrierungsdaten garantiert hohe Reproduzierbarkeit
- RoHS-Konformität
Typische Anwendungen
- Druckmessung in Halbleiterprozess- und Transferkammern
- Industrielle Beschichtung
- Allgemeine Vakuummessung und Steuerung im niedrigen bis ultrahohen Vakuumbereich
Spezifikationen
| Measurement range (air, O2, CO, N2) | mbar Torr | 5×10-10 … 2.7×10-2 3.75×10-10 5×10-2 |
| Accuracy | ||
| 10-8 … 10-2 mbar | % of reading | ±15 |
| Temperature | ||
| Operation (ambient) | °C | 0 … +50 |
| Storage | °C | -20 … +70 |
| Bakeout at flange without electronics | °C | 80 |
| Supply voltage | V (dc) A (dc) | +20 … +28 ≤0.8 |
Artikelnummern
Zubehör
Ersatzteile
| 353-600 | BAG402 DSUB9 KF25 |
| 353-601 | BAG402 DSUB9 CF40 |
| 303-333 | Diagnosekabel 1.9m (P3) |
| 354-484 | Ersatzsensor BAG402 DN 25 ISO-KF |
| 354-485 | Ersatzsensor BAG402 DN 40 CF-R |
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