HEISS-IONISATIONSMESSGERÄTE

BPG402-Sx

Das Bayard-Alpert-Pirani-Kombinationsmessgerät BPG402-S von INFICON bietet zwei Messgeräte in einer einzigen kompakten Einheit und misst im Bereich von 5×10-10 mbar bis Atmosphärendruck (3,8×10-10 Torr bis Atmosphärendruck).

Pirani-BAG402-BPG400-BPG402

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Personal information
Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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Das Bayard-Alpert-Pirani-Kombinationsmessgerät BPG402-S von INFICON bietet zwei Messgeräte in einer einzigen kompakten Einheit und misst im Bereich von 5×10-10 mbar bis Atmosphärendruck (3,8×10-10 Torr bis Atmosphärendruck). 

Durch Kombination verschiedener Technologien wird Installation, Einrichtung und Integration vereinfacht. Das BPG402-S mit dualen Yttriumoxid-beschichteten Iridiumfilamenten ermöglicht erschwingliche, wiederholbare Messungen im Prozess- bis Basisdruckbereich in einem kostengünstigen Paket. 

Sensorelemente mit Onboard-Kalibrierdaten garantieren hohe Reproduzierbarkeit beim Austausch der Sensoren.

Vorteile

  • Extrem großer Messbereich von 5 x 10-10 mbar bis Atmosphärendruck (3,8 x 10-10 Torr bis Atmosphärendruck)
  • Ausgezeichnete Wiederholbarkeit im Prozessdruckbereich von 10-8 bis 10-2 mbar von 5%
  • Das Pirani-Interlock schützt das Filament vor vorzeitigem Ausbrennen
  • Zwei langlebige Yttriumoxid-beschichtete Iridiumfilamente
  • Optionale grafische Anzeige und Feldbus-Schnittstellen erhältlich
  • Automatische Hochvakuum-Pirani-Justierung reduziert die erforderlichen Eingriffe durch den Betreiber
  • Leicht austauschbares Sensorelement mit Onboard-Kalibrierungsdaten garantiert hohe Reproduzierbarkeit
  • RoHS-Konformität

Typische Anwendungen

  • Druckmessung in Halbleiterprozess- und Transferkammern
  • Industrielle Beschichtung
  • Allgemeine Vakuummessung und Steuerung im niedrigen bis ultrahohen Vakuumbereich

Spezifikationen

Measurement range (air, O2, CO, N2)mbar
Torr
5×10-10 … 1000
3.8×10-10 … 750
   
Accuracy  
10-8 … 10-2 mbar% of reading±15
   
Repeatability  
10-8 … 10-2 mbar% of reading5
   
Temperature  
Operation (ambient)°C0 … +50
Storage°C-20 … +70
Bakeout at flange without electronics BPG402-S°C80
Bakeout at flange without electronics BPG402-SL°C150
   
Supply voltageV (dc)
A (dc)
+20 … +28
≤0.8
   
Materials exposed to vacuum Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
Spezifikationen herunterladen
Artikelnummern
Zubehör
Ersatzteile
ArtikelnummerBeschreibung
353-570BPG402-S DN 25 ISO-KF
353-571BPG402-S DN 40 CF-R
353-572BPG402-S LCD, DN 25 ISO-KF
353-573BPG402-S LCD, DN 40 CF-R
353-578BPG402-SL long tube DN 40 CF-R
353-574BPG402-SP PBus, DN 25 ISO-KF
353-575BPG402-SP PBus, DN 40 CF-R
353-576BPG402-SD DNet, DN 25 ISO-KF
353-577BPG402-SD DNet, DN 40 CF-R
353-590BPG402-SE ECAT, DN 25 ISO-KF
353-591BPG402-SE ECAT, DN 40 CF-R
353-596BPG402-SE ECAT, DN 25 ISO-KF
353-597BPG402-SE ECAT, DN 40 CF-R
354-494BPG402 Ersatz-Messsystem DN25 KF
354-495BPG402 Ersatz-Messsystem DN40 CF-R
ArtikelnummerBeschreibung
353-511Netzteil BPG400 24VDC 2.1A
353-512Baffle zu BPG400
211-113Zentrierring mit Baffle DN 25 KF
ArtikelnummerBeschreibung
354-494BPG402 Ersatz-Messsystem DN25 KF
354-495BPG402 Ersatz-Messsystem DN40 CF-R

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