Kapazitätsmanometer

SKY® CDG025D

Skalenendwert 0,1 ... 1000 Torr / mbar

Sky CDG025D

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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INFICON SKY CDG025D-Kapazitätsmembranmessgeräte sind hochpräzise temperaturkompensierte Manometer mit stabiler Leistung für anspruchsvolle Prozessumgebungen. Die fortschrittliche digitale Elektronik verbessert die Leistung des Messgeräts und umfasst Funktionen wie eine Nullfunktion per Knopfdruck und eine Sollwertjustierung. 

Der korrosionsbeständige ultrareine Keramiksensor bietet eine exzellente Nullstabilität mit einer langen Lebenserwartung von mehreren Millionen Druckzyklen, einschließlich Atmosphärendruckeinbrüchen. Der einzigartige, zum Patent angemeldete Sensorschutzschild schützt das Messgerät vor Prozessverunreinigung. Die robuste mechanische Konstruktion und die digitale Elektronik verbessern die EMC-Kompatibilität, Langzeitstabilität und Temperaturkompensation. 

Das CDG025D-Kapazitätsmembranmessgerät setzt neue Standards in Bezug auf schnelle Stabilität nach dem Einschalten und schnelle Erholung nach Atmosphärendruckexposition.

Vorteile

  • Vollskalenbereich von 100 mTorr bis 1000 Torr
  • Schnelle Stabilität nach dem Einschalten
  • Schnelle Wiederherstellung von Atmosphärendruck
  • Korrosionsbeständiger Keramiksensor
  • Ausgezeichnete langfristige Signalstabilität
  • Temperaturkompensiert
  • Sensor ist vor Verunreinigung geschützt
  • Nullung mit einem einzigen Tastendruck
  • Vielfältige Stromversorgungsmöglichkeiten

Typische Anwendungen

  • Geräte zur Halbleiterherstellung für Ätzen, CVD, PVD und ALD
  • Produktionsanlagen für Datenspeicher und Bildschirme
  • Ausrüstung für industrielle Vakuumverfahren
  • Allgemeine Druckmessung mit hoher Präzision

Spezifikationen

1000 Torr / 1100 mbar
500 ... 10 Torr / mbar
1 Torr / mbar
0.25 Torr
0.1 Torr / mbar
Genauigkeit (1)% of reading0.2
Auflösungpercent FS0.003
Ausgangssignal (analog)V (dc)0 … +10
Ansprechzeit (2)ms30
Werkstoffe gegen Vakuum Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70 (3), stainless steel (AISI 316L (4)), AgCuTi hard solder, sealing glass
(1) Nichtlinearität, Hysterese, Wiederholbarkeit bei 25 °C Umgebungsbetriebstemperatur ohne Temperatureffekte nach 2-stündigem Betrieb
(2) Anstieg 10 ... 90 % des Skalenendwerts
(3) 28% Ni, 23% Co, 49% Fe
(4) 18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe
Genauigkeit (1)% of reading0.2
Auflösungpercent FS0.003
Ausgangssignal (analog)V (dc)0 … +10
Ansprechzeit (2)ms30
Werkstoffe gegen Vakuum Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70 (3), stainless steel (AISI 316L (4)), AgCuTi hard solder, sealing glass
(1) Nichtlinearität, Hysterese, Wiederholbarkeit bei 25 °C Umgebungsbetriebstemperatur ohne Temperatureffekte nach 2-stündigem Betrieb
(2) Anstieg 10 ... 90 % des Skalenendwerts
(3) 28% Ni, 23% Co, 49% Fe
(4) 18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe
Genauigkeit (1)% of reading0.2
Auflösungpercent FS0.003
Ausgangssignal (analog)V (dc)0 … +10
Ansprechzeit (2)ms30
Werkstoffe gegen Vakuum Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70 (3), stainless steel (AISI 316L (4)), AgCuTi hard solder, sealing glass
(1) Nichtlinearität, Hysterese, Wiederholbarkeit bei 25 °C Umgebungsbetriebstemperatur ohne Temperatureffekte nach 2-stündigem Betrieb
(2) Anstieg 10 ... 90 % des Skalenendwerts
(3) 28% Ni, 23% Co, 49% Fe
(4) 18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe
Genauigkeit (1)% of reading0.25
Auflösungpercent FS0.003
Ausgangssignal (analog)V (dc)0 … +10
Ansprechzeit (2)ms130
Werkstoffe gegen Vakuum Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70 (3), stainless steel (AISI 316L (4)), AgCuTi hard solder, sealing glass
(1) Nichtlinearität, Hysterese, Wiederholbarkeit bei 25 °C Umgebungsbetriebstemperatur ohne Temperatureffekte nach 2-stündigem Betrieb
(2) Anstieg 10 ... 90 % des Skalenendwerts
(3) 28% Ni, 23% Co, 49% Fe
(4) 18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe
Genauigkeit (1)% of reading0.5
Auflösungpercent FS0.003
Ausgangssignal (analog)V (dc)0 … +10
Ansprechzeit (2)ms130
Werkstoffe gegen Vakuum Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70 (3), stainless steel (AISI 316L (4)), AgCuTi hard solder, sealing glass
(1) Nichtlinearität, Hysterese, Wiederholbarkeit bei 25 °C Umgebungsbetriebstemperatur ohne Temperatureffekte nach 2-stündigem Betrieb
(2) Anstieg 10 ... 90 % des Skalenendwerts
(3) 28% Ni, 23% Co, 49% Fe
(4) 18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe
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