Kapazitätsmanometer

SKY® CDG100D

100°C temperaturgesteuert, Skalenendwert 0,1 ... 1000 Torr / mbar

SKY-CDG-100D-160D-200D

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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INFICON SKY CDG100D-Manometer sind die beste Wahl für präzise Gesamtdruckmessung und -steuerung. 

CDG100D-Messgeräte sind zur besseren Leistung in anspruchsvollen Halbleiter- und Plasmaprozessen auf 100 °C temperaturgeregelt.. Sie sind erhältlich für Vollskalenbereiche von 100 mTorr bis 1000 Torr mit allen gebräuchlichen Flanschtypen und Feldbusschnittstellen und liefern ein lineares, vom Gastyp unabhängiges Drucksignal von 0 bis 10 V. Kapazitätsmanometer von INFICON verwenden eine ultrareine korrosionsbeständige Keramikmembran aus Aluminiumoxid. 

Die Vorteile des Keramiksensors sind eine bessere Signalstabilität, schnellere Wiederherstellung von Atmosphärendruck, kurze Aufheizdauer und eine außerordentlich lange Lebensdauer. INFICON CDGs sind qualitativ hochwertige, kosteneffektive Drucksensoren für anspruchsvolle Halbleiter-, Plasma- und Vakuumanwendungen.

SKY® CDG100D ist auch mit mit digitaler EtherCAT-Schnittstelle erhältlich!

Vorteile

  • Niedrigere Gesamtbetriebskosten, 50 % schnellere Aufheizung und energieeffizienter niedriger Stromverbrauch
  • Einfache Integration, breites Spektrum an Vollskalen, Flanschen und Schnittstellen, standardmäßig mit zwei Sollwerten
  • Einfacher Nullbefehl per Tastendruck oder Remotesignal, Nullpunktverschiebung einstellbar
  • Diagnoseanschluss für schnelle Wartungsarbeiten
  • Zwei Jahre Garantie, längere Lebensdauer mit fortschrittlichem Heizkonzept und Messgerätschutz
  • Keine langfristige Neukalibrierung aufgrund von exzellenter Signalstabilität und Wiederholbarkeit, selbst bei anspruchsvollen Plasmaanwendungen
  • Compliance und Standards: CE, EN, UL, SEMI, RoHS

Typische Anwendungen

  • Ätz-, CVD-, PVD- und andere Halbleiterfertigungsprozesse
  • Chemische und korrosive Prozesse mit hohen Temperaturen
  • Allgemeine Dünnschicht- und Vakuumprozesse, die Messgerätschutz erfordern

Spezifikationen

1000 ... 500 Torr / mbar
200 ... 1 Torr / mbar
0.5 ... 0.1 Torr / mbar
Genauigkeit (1)% of reading0.2
Auflösungpercent FS0.003
Ausgangssignal (analog)V (dc)0 … +10
Ansprechzeit (2)ms30
Werkstoffe gegen Vakuum Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4))
(1) Nichtlinearität, Hysterese, Wiederholbarkeit bei 25 °C Umgebungsbetriebstemperatur ohne Temperatureffekte nach 2-stündigem Betrieb
(2) Anstieg 10 ... 90 % des Skalenendwerts 
(3) Nur für Druckregelungstyp.
(4) 18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe
Umgebungstemperaturen >40 °C können Oberflächentemperaturen über die SEMI S2-Konformitätsstufen ansteigen lassen
Genauigkeit (1)% of reading0.2
Auflösungpercent FS0.003
Ausgangssignal (analog)V (dc)0 … +10
Ansprechzeit (2)ms30
Werkstoffe gegen Vakuum Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4))
(1) Nichtlinearität, Hysterese, Wiederholbarkeit bei 25 °C Umgebungsbetriebstemperatur ohne Temperatureffekte nach 2-stündigem Betrieb
(2) Anstieg 10 ... 90 % des Skalenendwerts 
(3) Nur für Druckregelungstyp.
(4) 18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe
Umgebungstemperaturen >40 °C können Oberflächentemperaturen über die SEMI S2-Konformitätsstufen ansteigen lassen
Genauigkeit (1)% of reading0.4
Auflösungpercent FS0.003
Ausgangssignal (analog)V (dc)0 … +10
Ansprechzeit (2)ms130 / 30 (3)
Werkstoffe gegen Vakuum Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4))
(1) Nichtlinearität, Hysterese, Wiederholbarkeit bei 25 °C Umgebungsbetriebstemperatur ohne Temperatureffekte nach 2-stündigem Betrieb
(2) Anstieg 10 ... 90 % des Skalenendwerts 
(3) Nur für Druckregelungstyp.
(4) 18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe
Umgebungstemperaturen >40 °C können Oberflächentemperaturen über die SEMI S2-Konformitätsstufen ansteigen lassen
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CDG100D_8-VCR female long_P-Net
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CDG100D 16CF P-Net
zip 241,3 KB Englisch
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zip 185,0 KB Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch
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CDG100D 8VCR P-Bus
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CDG100D tubeP-Bus
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Edge CDGxxxD2 16KF
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Edge CDGxxxD2 16KF EtherCAT
stp 1,4 MB Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch
Edge CDGxxxD2 8VCR
zip 480,8 KB Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch
Edge CDGxxxD2 8VCR EtherCAT
stp 1,5 MB Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch
Edge CDGxxxD2 tube
zip 470,5 KB Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch
Edge CDGxxxD2 tube EtherCAT
stp 1,4 MB Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch
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