Kapazitätsmanometer

SKY® CDG100D

100°C temperaturgesteuert, Skalenendwert 0,1 ... 1000 Torr / mbar

Drop-in-Optionen

Revolutionieren Sie Ihre Vakuummessgeräte-Erfahrung mit uns!

INFICON SKY CDG100D-Manometer sind die beste Wahl für präzise Gesamtdruckmessung und -steuerung.

CDG100D-Messgeräte sind zur besseren Leistung in anspruchsvollen Halbleiter- und Plasmaprozessen auf 100 °C temperaturgeregelt.. Sie sind erhältlich für Vollskalenbereiche von 100 mTorr bis 1000 Torr mit allen gebräuchlichen Flanschtypen und Feldbusschnittstellen und liefern ein lineares, vom Gastyp unabhängiges Drucksignal von 0 bis 10 V. Kapazitätsmanometer von INFICON verwenden eine ultrareine korrosionsbeständige Keramikmembran aus Aluminiumoxid.

Die Vorteile des Keramiksensors sind eine bessere Signalstabilität, schnellere Wiederherstellung von Atmosphärendruck, kurze Aufheizdauer und eine außerordentlich lange Lebensdauer. INFICON CDGs sind qualitativ hochwertige, kosteneffektive Drucksensoren für anspruchsvolle Halbleiter-, Plasma- und Vakuumanwendungen.

SKY® CDG100D ist auch mit mit digitaler EtherCAT-Schnittstelle erhältlich!

Vorteile

Niedrigere Gesamtbetriebskosten, 50 % schnellere Aufheizung und energieeffizienter niedriger Stromverbrauch
Einfache Integration, breites Spektrum an Vollskalen, Flanschen und Schnittstellen, standardmäßig mit zwei Sollwerten
Einfacher Nullbefehl per Tastendruck oder Remotesignal, Nullpunktverschiebung einstellbar
Diagnoseanschluss für schnelle Wartungsarbeiten
Zwei Jahre Garantie, längere Lebensdauer mit fortschrittlichem Heizkonzept und Messgerätschutz
Keine langfristige Neukalibrierung aufgrund von exzellenter Signalstabilität und Wiederholbarkeit, selbst bei anspruchsvollen Plasmaanwendungen
Compliance und Standards: CE, EN, UL, SEMI, RoHS

Typische Anwendungen

Ätz-, CVD-, PVD- und andere Halbleiterfertigungsprozesse
Chemische und korrosive Prozesse mit hohen Temperaturen
Allgemeine Dünnschicht- und Vakuumprozesse, die Messgerätschutz erfordern

Spezifikationen

1000 ... 500 Torr / mbar

200 ... 1 Torr / mbar

0.5 ... 0.1 Torr / mbar

Genauigkeit	% of reading	0.2

Auflösung	percent FS	0.003

Ausgangssignal (analog)	V (dc)	0 … +10

Ansprechzeit	ms	30

Werkstoffe gegen Vakuum		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L)

Genauigkeit	% of reading	0.2

Auflösung	percent FS	0.003

Ausgangssignal (analog)	V (dc)	0 … +10

Ansprechzeit	ms	30

Werkstoffe gegen Vakuum		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L)

Genauigkeit	% of reading	0.4

Auflösung	percent FS	0.003

Ausgangssignal (analog)	V (dc)	0 … +10

Ansprechzeit	ms	130 / 30 ⁽³⁾

Werkstoffe gegen Vakuum		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L)

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Broschüren

SKY® CDG100-200D Brochure

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Vacuum Instrumentation with EtherCAT Brochure

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Datenblätter

SKY® CDG100D Datasheet

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SKY® CDG100D 0.1 ...1000 Torr / mbar JA

pdf • 1,0 MB • Japanisch • Datenblätter

SKY® CDG100D 0.1 ... 1,000 Torr/mbar KO

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Datasheet_CDG100D-Torr-std_zh-cn

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SKY® CDG100D 0.1 ... 1000 Torr / mbar

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SKY® CDG100D 0.1 ... 1000 Torr / mbar DE

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Maßzeichnungen

CDG100D SKY Ordering information

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Handbücher

SKY® CDG100D Operating Manual

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SKY® CDG045D-100D, Edge® CDG025D2-100D2, Stripe® CDG045Dhs-200Dhs EtherCAT New Generation Communication Protocol

pdf • 2,1 MB • Englisch • Bedienungsanleitungen

SKY® CDG100D 4-20 mA Current Loop Operating Manual

pdf • 1,1 MB • Englisch • Bedienungsanleitungen

CDG100D Gebrauchsanleitung

pdf • 1,3 MB • Deutsch • Bedienungsanleitungen

Gebrauchsanleitung CDG100D 4-20 mA Current Loop

pdf • 1,1 MB • Deutsch • Bedienungsanleitungen

Manual CDG100D ZH

pdf • 1,4 MB • Chinesisch • Bedienungsanleitungen

SKY® CDG025D-200D RS232C Communication Protocol

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SKY® CDG025D-200D RS232C Kommunikationsanleitung

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SKY® CDG045D-100D PROFINET Communication Protocol

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SKY® CDG045D-100D, Edge® CDG025D2-100D2, Stripe® CDG045Dhs-100Dhs EtherCAT Communication Protocol

pdf • 972,1 KB • Englisch • Bedienungsanleitungen

SKY® CDG045D-200D DeviceNet Communication Protocol

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SKY® CDG045D-200D PROFIBUS Communication Protocol

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3D Step Files

SKY® CDG100D 3D 4-VCR-m P-NET

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SKY® CDG100D 3D 8-VCR-f P-NET

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SKY® CDG100D 3D 16KF P-NET

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SKY® CDG100D 3D Tube P-NET

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SKY® CDG100D 3D 16CF P-NET

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SKY® CDG100D 3D 4-VCR-m D-NET

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SKY® CDG100D 3D 8-VCR-f Long D-NET

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SKY® CDG100D 3D 4-VCR-m P-BUS

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SKY® CDG100D 3D 4-VCR-f P-BUS

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SKY® CDG100D 3D 8-VCR-f Long P-BUS

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SKY® CDG100D 3D 4-VCR-f P-NET

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SKY® CDG100D 3D 8-VCR-f Long P-NET

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SKY® CDG100D 3D 8-VCR-f Long E-CAT

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SKY® CDG100D 3D 16CF 9DSUB

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SKY® CDG100D 3D 4-VCR-m 9DSUB

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SKY® CDG100D 3D 4-VCR-f 15DSUB

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SKY® CDG100D 3D 8-VCR-f 9DSUB

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SKY® CDG100D 3D 16KF 15DSUB

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SKY CDG100D 16CF D-NET

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SKY CDG100D 16CF E-CAT

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SKY CDG100D 16CF P-BUS

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SKY CDG100D 16KF 9DSUB

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SKY CDG100D 16KF D-NET

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SKY CDG100D 16KF E-CAT

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SKY CDG100D 16KF P-BUS

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SKY CDG100D 4-VCR-f 9DSUB

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SKY CDG100D 4-VCR-f D-NET

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SKY CDG100D 4-VCR-f E-CAT

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SKY CDG100D 4-VCR-m 15DSUB

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SKY CDG100D 8-VCR-f D-NET

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SKY CDG100D 8-VCR-f E-CAT

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SKY CDG100D 8-VCR-f long 15DSUB

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SKY CDG100D 8-VCR-f P-BUS

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SKY CDG100D tube 15DSUB

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SKY CDG100D tube 9DSUB

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SKY CDG100D tube D-NET

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SKY CDG100D tube E-CAT

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SKY CDG100D tube P-BUS

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Other

SKY® CDG045D, Edge®, EtherCAT New Generation ESI V2

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SKY® CDG045D PROFINET GSDML

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SKY® CDG045D EtherCAT ESI

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SKY® CDG045D Software EDS

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SKY® CDG045D Software GSD

zip • 1,6 KB • Englisch

Das Produkt wird in folgenden Märkten verwendet

Analytische Instrumente

Der Markt für analytische Instrumente unterstützt mit seinen hochentwickelten Werkzeugen Anwender in einem breiten Feld von Anwendungen und Märkten.

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INFICONs Sensoren für den Display-Markt nutzen eine Reihe von Prozesssensortechnologien, darunter Dünnschichtregler, Restgasanalyse, optische Emissionsspektrometrie, Quarzkristall-Mikrowaagen, Leckdetektoren, Druckmesser und RF-Messungen.

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Produktivitätssteigerung und Unterstützung bei der Einhaltung von Compliance-Standards und Qualitätsanforderungen in der Pharmaindustrie

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Durch Grundlagenforschung die innersten Geheimnisse des Universums lüften. Wir liefern heute die Innovationen, die die Technologien von morgen ermöglichen.

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Halbleiterhersteller

Sensoren, die auf eine breite Palette von Anwendungen zugeschnitten sind und Produktsicherheit, höhere Erträge und maximale Produktivität gewährleisten.

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Vakuumbeschichtung

Die Märkte für die Vakuumbeschichtung gehen weit über die Optik hinaus und dehnen sich rasch auf Bereiche, Branchen und Folienschichten aus, die noch vor zehn Jahren fast unvorstellbar waren.

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