Kapazitätsmanometer

SKY® CDG100D

100°C temperaturgesteuert, Skalenendwert 0,1 ... 1000 Torr / mbar

INFICON SKY CDG100D-Manometer sind die beste Wahl für präzise Gesamtdruckmessung und -steuerung.

CDG100D-Messgeräte sind zur besseren Leistung in anspruchsvollen Halbleiter- und Plasmaprozessen auf 100 °C temperaturgeregelt.. Sie sind erhältlich für Vollskalenbereiche von 100 mTorr bis 1000 Torr mit allen gebräuchlichen Flanschtypen und Feldbusschnittstellen und liefern ein lineares, vom Gastyp unabhängiges Drucksignal von 0 bis 10 V. Kapazitätsmanometer von INFICON verwenden eine ultrareine korrosionsbeständige Keramikmembran aus Aluminiumoxid.

Die Vorteile des Keramiksensors sind eine bessere Signalstabilität, schnellere Wiederherstellung von Atmosphärendruck, kurze Aufheizdauer und eine außerordentlich lange Lebensdauer. INFICON CDGs sind qualitativ hochwertige, kosteneffektive Drucksensoren für anspruchsvolle Halbleiter-, Plasma- und Vakuumanwendungen.

SKY® CDG100D ist auch mit mit digitaler EtherCAT-Schnittstelle erhältlich!

Vorteile

Niedrigere Gesamtbetriebskosten, 50 % schnellere Aufheizung und energieeffizienter niedriger Stromverbrauch
Einfache Integration, breites Spektrum an Vollskalen, Flanschen und Schnittstellen, standardmäßig mit zwei Sollwerten
Einfacher Nullbefehl per Tastendruck oder Remotesignal, Nullpunktverschiebung einstellbar
Diagnoseanschluss für schnelle Wartungsarbeiten
Zwei Jahre Garantie, längere Lebensdauer mit fortschrittlichem Heizkonzept und Messgerätschutz
Keine langfristige Neukalibrierung aufgrund von exzellenter Signalstabilität und Wiederholbarkeit, selbst bei anspruchsvollen Plasmaanwendungen
Compliance und Standards: CE, EN, UL, SEMI, RoHS

Typische Anwendungen

Ätz-, CVD-, PVD- und andere Halbleiterfertigungsprozesse
Chemische und korrosive Prozesse mit hohen Temperaturen
Allgemeine Dünnschicht- und Vakuumprozesse, die Messgerätschutz erfordern

Spezifikationen

1000 ... 500 Torr / mbar

200 ... 1 Torr / mbar

0.5 ... 0.1 Torr / mbar

Genauigkeit (1)	% of reading	0.2

Auflösung	percent FS	0.003

Ausgangssignal (analog)	V (dc)	0 … +10

Ansprechzeit (2)	ms	30

Werkstoffe gegen Vakuum		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L ⁽⁴⁾)
(1) Nichtlinearität, Hysterese, Wiederholbarkeit bei 25 °C Umgebungsbetriebstemperatur ohne Temperatureffekte nach 2-stündigem Betrieb (2) Anstieg 10 ... 90 % des Skalenendwerts (3) Nur für Druckregelungstyp. (4) 18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe Umgebungstemperaturen >40 °C können Oberflächentemperaturen über die SEMI S2-Konformitätsstufen ansteigen lassen

Genauigkeit (1)	% of reading	0.2

Auflösung	percent FS	0.003

Ausgangssignal (analog)	V (dc)	0 … +10

Ansprechzeit (2)	ms	30

Werkstoffe gegen Vakuum		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L ⁽⁴⁾)
(1) Nichtlinearität, Hysterese, Wiederholbarkeit bei 25 °C Umgebungsbetriebstemperatur ohne Temperatureffekte nach 2-stündigem Betrieb (2) Anstieg 10 ... 90 % des Skalenendwerts (3) Nur für Druckregelungstyp. (4) 18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe Umgebungstemperaturen >40 °C können Oberflächentemperaturen über die SEMI S2-Konformitätsstufen ansteigen lassen

Genauigkeit (1)	% of reading	0.4

Auflösung	percent FS	0.003

Ausgangssignal (analog)	V (dc)	0 … +10

Ansprechzeit (2)	ms	130 / 30 ⁽³⁾

Werkstoffe gegen Vakuum		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L ⁽⁴⁾)
(1) Nichtlinearität, Hysterese, Wiederholbarkeit bei 25 °C Umgebungsbetriebstemperatur ohne Temperatureffekte nach 2-stündigem Betrieb (2) Anstieg 10 ... 90 % des Skalenendwerts (3) Nur für Druckregelungstyp. (4) 18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe Umgebungstemperaturen >40 °C können Oberflächentemperaturen über die SEMI S2-Konformitätsstufen ansteigen lassen

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Downloads

Broschüren

Brochure CDG100-200D

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EtherCAT Brochure

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Datenblätter

SKY® CDG100D 0.1 ... 1000 Torr / mbar

pdf • 879,0 KB • Englisch

SKY® CDG100D 0.1 ... 1000 Torr / mbar ES

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SKY® CDG100D 0.1 ...1000 Torr / mbar JA

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SKY® CDG100D 0.1 ... 1,000 Torr/mbar KO

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Datasheet_CDG100D-Torr-std_zh-cn

pdf • 1,0 MB • Chinesisch

SKY® CDG100D 0.1 ... 1000 Torr / mbar DE

pdf • 889,7 KB • Deutsch

Maßzeichnungen

CDG100D SKY Ordering information

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Handbücher

Manual CDG100D 4-20 mA Current loop

pdf • 1,1 MB • Englisch

Communication protocol Profinet

pdf • 874,8 KB • Englisch

Communication protocol EtherCAT new generation

pdf • 2,1 MB • Englisch

CDG100D manual

pdf • 1,0 MB • Englisch

CDG100D Gebrauchsanleitung

pdf • 1,0 MB • Deutsch

CDGxxxD Communication manual RS232C

pdf • 187,4 KB • Englisch

CDGxxxD Kommunikationsanleitung RS232C

pdf • 188,5 KB • Deutsch

Communication Protocol - DeviceNet - CDG045D-200D EN

pdf • 474,8 KB • Englisch

Communication protocol EtherCAT

pdf • 972,1 KB • Englisch

Communication protocol Profibus

pdf • 592,8 KB • Englisch

Gebrauchsanleitung CDG100D 4-20 mA Current Loop

pdf • 1,1 MB • Deutsch

Manual CDG100D ZH

pdf • 1,3 MB • Chinesisch

3D Step Files

CDG100D_9DSUB_16CF

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CDG100D_9DSUB_tube

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CDG100D_9DSUB_4VCR male

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CDG100D_9DSUB_4VCR female

stp • 3,0 MB • Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch

CDG100D_9DSUB_8VCRf

stp • 3,0 MB • Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch

CDG100D_8-VCR female long_P-Bus

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CDG100D_4-VCR male_P-Net

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CDG100D_4-VCR female_P-Net

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CDG100D_8-VCR female long_P-Net

stp • 1,9 MB • Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch

CDG100D_8VCR_long_ECAT_II

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CDG100D_9DSUB_16KF

stp • 2,9 MB • Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch

CDG100D_4-VCR female

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CDG100D_4-VCR male_D-Net

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CDG100D_8-VCR female long_D-Net

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CDG100D_4-VCR male_P-Bus

stp • 5,0 MB • Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch

CDG100D_4-VCR female_P-Bus

stp • 4,9 MB • Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch

CDG100D 8VCR P-Net

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CDG100D 16KF P-Net

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CDG100D tube P-Net

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CDG100D 16CF P-Net

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CDG100D 16CF

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CDG100D 16CF D-Net

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CDG100D 16CF ECAT

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CDG100D 16CF P-Bus

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CDG100D 16KF

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CDG100D 16KF D-Net

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CDG100D 16KF ECAT

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CDG100D 16KF P-Bus

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CDG100D 4VCR D-Net

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CDG100D 4VCR ECAT

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CDG100D 4VCR female

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CDG100D 4VCR male

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CDG100D 8VCR D-Net

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CDG100D 8VCR ECAT

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CDG100D 8VCR female

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CDG100D 8VCR female long

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CDG100D 8VCR P-Bus

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CDG100D tube

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CDG100D tube D-Net

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CDG100D tube ECAT

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CDG100D tubeP-Bus

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Edge CDGxxxD2 16CF

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Edge CDGxxxD2 16CF EtherCAT

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Edge CDGxxxD2 16KF

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Edge CDGxxxD2 16KF EtherCAT

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Edge CDGxxxD2 8VCR

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Edge CDGxxxD2 8VCR EtherCAT

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Edge CDGxxxD2 tube

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Edge CDGxxxD2 tube EtherCAT

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Other

EtherCAT new generation ESI file CDG V2_0_0_0

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Profinet GSDML File for CDGxxxD

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EtherCAT ESI file CDG V1_4_0_0

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Software EDS for CDGxxxD

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Software GSD for CDGxxxD

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Das Produkt wird in folgenden Märkten verwendet

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