IRG080
Der neue Standard für Ionisationsvakuummeter
Revolutionieren Sie Ihre Vakuummessgeräte-Erfahrung mit uns!
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Das Hochvakuum-Druck Referenzmessgerät IRG080 ist ein neuartiger Vakuumsensor, das für die präzise Messung des Gesamtdrucks in Vakuumsystemen entwickelt wurde. Das IRG080 basiert auf einem innovativen Konzept eines Ionisationsvakuummessgeräts (die Glühkathode emittiert Elektronen, die sich auf einem geraden Weg in einen Faradayschen Becher bewegen) und eignet sich als Referenzstandard im Bereich von 10-8 mbar bis 10-4 mbar.
Das IRG080 bietet eine unübertroffene Genauigkeit von bis zu 1 %, eine voraussagbar Gasempfindlichkeit mit einer sehr geringen Streuung sowie eine sehr gute kurzfristige Wiederholbarkeit und Reproduzierbarkeit. Das Messgerät ist die ideale Lösung für Metrologie und Kalibrierung. Das IRG080 wird über die Anzeige- und Bedieneinheit IRC081 angeschlossen und gesteuert.
Vorteile
- Entwickelt für Anwendungen, die eine hohe Messgenauigkeit im Hoch- und Ultrahochvakuumbereich erfordern
- Elektrodensystemkonfiguration gemäß ISO TS 6737
- Echter Druck für alle Gasspezies dank voraussagbar relativer Gasempfindlichkeit mit geringer Unsicherheit
- Stabile Elektronenemission und keine Beeinflussung durch ESD- oder Röntgeneffekte
- Reproduzierbar und leicht zu transportieren
- Ausheizbar bis 165 °C (mit temperaturbeständigem Kabel) oder bis 400 °C ohne Anschlusseinheit
- Mu-Metall-Zwischenstück zur magnetischen Abschirmung erhältlich
Betriebseinheiten
- Ionen-Referenzmessgerät Betriebs- und Steuergerät IRC081
Referenz Standard
- Genauigkeit unter 1% für N2
- Voraussagbar Gasempfindlichkeit mit sehr geringer Streuung (<1,5%)
- Echte Gesamtdruckmessung
- Sehr gute kurzfristige Wiederholbarkeit (<1%) und Reproduzierbarkeit (<1%)
Prinzip der Messung
Die Elektronen verlassen die Kathode (linke Seite), werden von der Anode auf 200 eV beschleunigt und durch den Ionenkollektor gebündelt. Die Länge der Elektronenbahn ist gut charakterisiert, so dass die Empfindlichkeit des Messgeräts voraussagbar ist. Ionen, die von Elektronen innerhalb des Anodengitters erzeugt werden, werden zum Kollektor beschleunigt und als Strom gemessen. Ionen, die außerhalb des Anodengitters erzeugt werden, werden durch den Deflektor aufgefangen.
Ein komplettes Paket
- Bedien- und Anzeigeschnittstelle über den Ion Reference Gauge Betriebs-und Steuergerät IRC081
- Der Benutzer hat die Kontrolle über die Parameter des IRG080-Messgeräts
- Einstellungen und Messwerte werden in der IRC081-Benutzerschnittstellensoftware (LabVIEWTM) angezeigt
- Daten- und Parameterprotokollierungsfunktion
Spezifikationen
| Messsystem | Heißkathoden-Ionisation |
| Konfiguration des Elektrodensystems | gemäss ISO TS 6737 |
| Messbereich (N2) mit IRC081 Controller | |
| Empfindlichkeit (N2, typisch) | 29 mbar-1 |
| Genauigkeit (N2, typisch) | <±1% vom Messwert |
| Reproduzierbarkeit (N2) | <1% vom Messwert |
| Durchführung | Al2O3 Keramik |
| Ausheiztemperatur | ≤400 °C |
| Vakuum ausgesetztes Materialien | rostfreier Stahl, NiFeCo, Al2O3, Ta, W |
Artikelnummer
| IRG080 | |
| 399-874 | IRG080 DN 63 CF-R, BNC- und Multipin-Steckverbinder |
| 399-875 | IRG080 DN 63 CF-F, BNC- und Multipin-Steckverbinder, Zwischenstück aus Mu-Metall |
| Hitzebeständiger Messkopfkabelsatz nach IRC081, mit Berührungsschutz nach IRG080 165 °C | |
| 399-883 | 5 m (16.4 ft) |
| 399-884 | 10 m (32 ft) |
| 399-885 | 15 m (49.5 ft) |
| 399-890 | Ersatz-Kathode |
| 399-891 | Mu-Metall-Zwischenstück, DN 63 CF-F |
| 399-892 | Schutzgitter für Zwischenstück |
