IRG080

Der neue Standard für Ionisationsvakuummeter

IRG080
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Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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Das Hochvakuum-Druck Referenzmessgerät IRG080 ist ein neuartiger Vakuumsensor, das für die präzise Messung des Gesamtdrucks in Vakuumsystemen entwickelt wurde. Das IRG080 basiert auf einem innovativen Konzept eines Ionisationsvakuummessgeräts (die Glühkathode emittiert Elektronen, die sich auf einem geraden Weg in einen Faradayschen Becher bewegen) und eignet sich als Referenzstandard im Bereich von 10-8 mbar bis 10-4 mbar.

Das IRG080 bietet eine unübertroffene Genauigkeit von bis zu 1 %, eine voraussagbar Gasempfindlichkeit mit einer sehr geringen Streuung sowie eine sehr gute kurzfristige Wiederholbarkeit und Reproduzierbarkeit. Das Messgerät ist die ideale Lösung für Metrologie und Kalibrierung. Das IRG080 wird über die Anzeige- und Bedieneinheit IRC081 angeschlossen und gesteuert.

Vorteile

  • Entwickelt für Anwendungen, die eine hohe Messgenauigkeit im Hoch- und Ultrahochvakuumbereich erfordern
  • Elektrodensystemkonfiguration gemäß ISO TS 6737
  • Echter Druck für alle Gasspezies dank voraussagbar relativer Gasempfindlichkeit mit geringer Unsicherheit
  • Stabile Elektronenemission und keine Beeinflussung durch ESD- oder Röntgeneffekte
  • Reproduzierbar und leicht zu transportieren
  • Ausheizbar bis 165 °C (mit temperaturbeständigem Kabel) oder bis 400 °C ohne Anschlusseinheit
  • Mu-Metall-Zwischenstück zur magnetischen Abschirmung erhältlich

Betriebseinheiten

  • Ionen-Referenzmessgerät Betriebs- und Steuergerät IRC081

Referenz Standard

  • Genauigkeit unter 1% für N2
  • Voraussagbar Gasempfindlichkeit mit sehr geringer Streuung (<1,5%)
  • Echte Gesamtdruckmessung
  • Sehr gute kurzfristige Wiederholbarkeit (<1%) und Reproduzierbarkeit (<1%)

Prinzip der Messung

Die Elektronen verlassen die Kathode (linke Seite), werden von der Anode auf 200 eV beschleunigt und durch den Ionenkollektor gebündelt. Die Länge der Elektronenbahn ist gut charakterisiert, so dass die Empfindlichkeit des Messgeräts voraussagbar ist. Ionen, die von Elektronen innerhalb des Anodengitters erzeugt werden, werden zum Kollektor beschleunigt und als Strom gemessen. Ionen, die außerhalb des Anodengitters erzeugt werden, werden durch den Deflektor aufgefangen.

IRG080_Measurement principle
IRG080_Measurement principle

Ein komplettes Paket

  • Bedien- und Anzeigeschnittstelle über den Ion Reference Gauge Betriebs-und Steuergerät IRC081
  • Der Benutzer hat die Kontrolle über die Parameter des IRG080-Messgeräts
  • Einstellungen und Messwerte werden in der IRC081-Benutzerschnittstellensoftware (LabVIEWTM) angezeigt
  • Daten- und Parameterprotokollierungsfunktion
IRG080_one complete package
IRG080_one complete package

Spezifikationen

MesssystemHeißkathoden-Ionisation
Konfiguration des Elektrodensystemsgemäss ISO TS 6737
Messbereich (N2) mit IRC081 Controller<1×10-8 … 1×10-4 mbar
Empfindlichkeit (N2, typisch)29 mbar-1
Genauigkeit (N2, typisch)<±1% vom Messwert
Reproduzierbarkeit (N2)<1% vom Messwert
DurchführungAl2O3 Keramik
Ausheiztemperatur≤400 °C
Vakuum ausgesetztes Materialienrostfreier Stahl, NiFeCo, Al2O3, Ta, W
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Artikelnummer

Artikelnummer
Zubehör
 IRG080
399-874IRG080 DN 63 CF-R, BNC- und Multipin-Steckverbinder
399-875IRG080 DN 63 CF-F, BNC- und Multipin-Steckverbinder, Zwischenstück aus Mu-Metall
 Hitzebeständiger Messkopfkabelsatz nach IRC081, mit Berührungsschutz
nach IRG080 165 °C
399-8835 m (16.4 ft)
399-88410 m (32 ft)
399-88515 m (49.5 ft)
  
399-890Ersatz-Kathode
399-891Mu-Metall-Zwischenstück, DN 63 CF-F
399-892Schutzgitter für Zwischenstück
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