BAG05x
UHV Bayard Alpert Heißionen-Passiv-Vakuum-Messgerät
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Die passiven INFICON Bayard-Alpert-Vakuummessköpfe BAG050, BAG051, BAG052 und BAG053 sind für die Verwendung mit den INFICON-Vakuummesscontrollern VGC083A & VGC083B vorgesehen. Yttriumoxid-beschichtete Iridium-Filamente werden für allgemeine Vakuumanwendungen in Luft und Inertgasen wie N2 und Argon angeboten. Wählen Sie Wolfram-Filamente für Gase, die nicht mit Yttriumoxid-beschichteten Iridium-Filamenten kompatibel sind. BAG05x Messgeräte können auch mit kompatiblen Vakuummeter-Controllern anderer Hersteller betrieben werden. Die passiven Bayard-Alpert-Ionisationsvakuummeter (BAG05x) von INFICON werden in drei verschiedenen Konfigurationen angeboten:
BAG050 ist ein EB-degas UHV-Nackt-Ionisationsvakuummeter, das Druckmessungen bis zu 2×10-11 Torr ermöglicht.
BAG051 ist ein nacktes I2R-Ionisationsvakuummeter mit Widerstand, das Druckmessungen bis zu 4×10-10 Torr ermöglicht.
BAG052 und BAG053 sind glasgekapselte I2R-Ionisationsvakuummeter, die einen Druck von bis zu 4×10-10 Torr messen können.
Vorteile
- Zuverlässige und bewährte Messkopfkonstruktion
- Einsetzbar für die meisten nackten Heißionenmessköpfe
- Breiter Bereich von Emissionsströmen (100 μA bis 10 mA)
- Erhältlich mit einer/zwei yttriumoxidbeschichteten Iridium- und zwei Wolfram-Filament-Kathodenbaugruppen
- Entgasen: Alle Modelle können mit EB (Elektronenbeschuss) entgast werden.
- BAG051, BAG052 und BAG053 können auch mit Widerstandsentgasung (I2R) entgast werden.
Spezifikationen
| Measurement range | mbar Torr | 2.7 x 10-11 ... 1.3 x 10-3 2 x 10-11 ... 1 x 10-3 |
| X-ray limit | Torr | 2 x 10-11 |
| Bakeout temperature | °C | 450 |
| Insulator | ceramic | |
| Flange material | stainless steel 304 |
| Measurement range | mbar Torr | 5.3 x 10-10 ... 1.3 x 10-3 4 x 10-10 ... 1 x 10-3 |
| X-ray limit | Torr | 4 x 10-10 |
| Bakeout temperature | °C | 450 |
| Insulator | ceramic | |
| Flange material | stainless steel 304 |
| Measurement range | mbar Torr | 4 x 10-10 ... 1 x 10-3 5.3 x 10-8 ... 1.3 x 10-1 |
| X-ray limit | Torr | 4 x 10-10 |
| Bakeout temperature | °C | 450 |
| Insulator | glass to metal | |
| Flange material | glass Nonex 7720 |
| Measurement range | mbar Torr | 5.3 x 10-8 ... 1.3 x 10-1 4 x 10-10 ... 1 x 10-3 |
| X-ray limit | Torr | 4 x 10-10 |
| Bakeout temperature | °C | 450 |
| Insulator | glass to metal | |
| Flange material | glass Nonex 7720 |
| Measurement range | mbar Torr | 1.3×10-9 … 6.7×10-2 1×10-9 … 5×10-2 |
| X-ray limit | Torr | 5 x 10-10 |
| Bakeout temperature | °C | 200 |
| Insulator | glass | |
| Flange material | stainless steel 304 |
Artikelnummer
