Heiß-Ionisationsmessgeräte

BAG05x

UHV Bayard Alpert Heißionen-Passiv-Vakuum-Messgerät

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Revolutionieren Sie Ihre Vakuummessgeräte-Erfahrung mit uns!

Die passiven INFICON Bayard-Alpert-Vakuummessköpfe BAG050, BAG051, BAG052 und BAG053 sind für die Verwendung mit den INFICON-Vakuummesscontrollern VGC083A & VGC083B vorgesehen. Yttriumoxid-beschichtete Iridium-Filamente werden für allgemeine Vakuumanwendungen in Luft und Inertgasen wie N2 und Argon angeboten. Wählen Sie Wolfram-Filamente für Gase, die nicht mit Yttriumoxid-beschichteten Iridium-Filamenten kompatibel sind. BAG05x Messgeräte können auch mit kompatiblen Vakuummeter-Controllern anderer Hersteller betrieben werden. Die passiven Bayard-Alpert-Ionisationsvakuummeter (BAG05x) von INFICON werden in drei verschiedenen Konfigurationen angeboten:

BAG050 ist ein EB-degas UHV-Nackt-Ionisationsvakuummeter, das Druckmessungen bis zu 2×10-11 Torr ermöglicht.

BAG051 ist ein nacktes I2R-Ionisationsvakuummeter mit Widerstand, das Druckmessungen bis zu 4×10-10 Torr ermöglicht.

BAG052 und BAG053 sind glasgekapselte I2R-Ionisationsvakuummeter, die einen Druck von bis zu 4×10-10 Torr messen können.

Vorteile

Zuverlässige und bewährte Messkopfkonstruktion
Einsetzbar für die meisten nackten Heißionenmessköpfe
Breiter Bereich von Emissionsströmen (100 μA bis 10 mA)
Erhältlich mit einer/zwei yttriumoxidbeschichteten Iridium- und zwei Wolfram-Filament-Kathodenbaugruppen
Entgasen: Alle Modelle können mit EB (Elektronenbeschuss) entgast werden.
BAG051, BAG052 und BAG053 können auch mit Widerstandsentgasung (I2R) entgast werden.

Spezifikationen

BAG050

BAG051

BAG052

BAG053

BAG055

Measurement range	mbar Torr	2.7 x 10^-11 ... 1.3 x 10^-3 2 x 10^-11 ... 1 x 10^-3

X-ray limit	Torr	2 x 10^-11

Bakeout temperature	°C	450

Insulator		ceramic

Flange material		stainless steel 304

Measurement range	mbar Torr	5.3 x 10^-10 ... 1.3 x 10^-3 4 x 10^-10 ... 1 x 10^-3

X-ray limit	Torr	4 x 10^-10

Bakeout temperature	°C	450

Insulator		ceramic

Flange material		stainless steel 304

Measurement range	mbar Torr	4 x 10^-10 ... 1 x 10^-3 5.3 x 10^-8 ... 1.3 x 10^-1

X-ray limit	Torr	4 x 10^-10

Bakeout temperature	°C	450

Insulator		glass to metal

Flange material		glass Nonex 7720

Measurement range	mbar Torr	5.3 x 10^-8 ... 1.3 x 10^-1 4 x 10^-10 ... 1 x 10^-3

X-ray limit	Torr	4 x 10^-10

Bakeout temperature	°C	450

Insulator		glass to metal

Flange material		glass Nonex 7720

Measurement range	mbar Torr	1.3×10-9 … 6.7×10-2 1×10-9 … 5×10-2

X-ray limit	Torr	5 x 10^-10

Bakeout temperature	°C	200

Insulator		glass

Flange material		stainless steel 304

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BAG05x Bayard-Alpert Gauges

pdf • 293,3 KB • Englisch • Datenblätter

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