Heiß-Ionisationsmessgeräte

BAG05x

UHV Bayard Alpert Heißionen-Passiv-Vakuum-Messgerät

BAG05X-UHV

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
Request
Personal information
Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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Die passiven INFICON Bayard-Alpert-Vakuummessköpfe BAG050, BAG051, BAG052 und BAG053 sind für die Verwendung mit den INFICON-Vakuummesscontrollern VGC083A & VGC083B vorgesehen. Yttriumoxid-beschichtete Iridium-Filamente werden für allgemeine Vakuumanwendungen in Luft und Inertgasen wie N2 und Argon angeboten. Wählen Sie Wolfram-Filamente für Gase, die nicht mit Yttriumoxid-beschichteten Iridium-Filamenten kompatibel sind. BAG05x Messgeräte können auch mit kompatiblen Vakuummeter-Controllern anderer Hersteller betrieben werden. Die passiven Bayard-Alpert-Ionisationsvakuummeter (BAG05x) von INFICON werden in drei verschiedenen Konfigurationen angeboten:

BAG050 ist ein EB-degas UHV-Nackt-Ionisationsvakuummeter, das Druckmessungen bis zu 2×10-11 Torr ermöglicht.

BAG051 ist ein nacktes I2R-Ionisationsvakuummeter mit Widerstand, das Druckmessungen bis zu 4×10-10 Torr ermöglicht.

BAG052 und BAG053 sind glasgekapselte I2R-Ionisationsvakuummeter, die einen Druck von bis zu 4×10-10 Torr messen können.

Vorteile

  • Zuverlässige und bewährte Messkopfkonstruktion
  • Einsetzbar für die meisten nackten Heißionenmessköpfe
  • Breiter Bereich von Emissionsströmen (100 μA bis 10 mA)
  • Erhältlich mit einer/zwei yttriumoxidbeschichteten Iridium- und zwei Wolfram-Filament-Kathodenbaugruppen
  • Entgasen: Alle Modelle können mit EB (Elektronenbeschuss) entgast werden.
  • BAG051, BAG052 und BAG053 können auch mit Widerstandsentgasung (I2R) entgast werden.

Spezifikationen

BAG050
BAG051
BAG052
BAG053
BAG055
Measurement rangembar
Torr
2.7 x 10-11 ... 1.3 x 10-3
2 x 10-11 ... 1 x 10-3
X-ray limitTorr2 x 10-11
Bakeout temperature°C450
Insulator ceramic
Flange material stainless steel 304
Measurement rangembar
Torr
5.3 x 10-10 ... 1.3 x 10-3
4 x 10-10 ... 1 x 10-3
X-ray limitTorr4 x 10-10
Bakeout temperature°C450
Insulator ceramic
Flange material stainless steel 304
Measurement rangembar
Torr
4 x 10-10 ... 1 x 10-3
5.3 x 10-8 ... 1.3 x 10-1
X-ray limitTorr4 x 10-10
Bakeout temperature°C450
Insulator glass to metal
Flange material glass Nonex 7720
Measurement rangembar
Torr
5.3 x 10-8 ... 1.3 x 10-1
4 x 10-10 ... 1 x 10-3
X-ray limitTorr4 x 10-10
Bakeout temperature°C450
Insulator glass to metal
Flange material glass Nonex 7720
Measurement rangembar
Torr
1.3×10-9 … 6.7×10-2
1×10-9 … 5×10-2
X-ray limitTorr5 x 10-10
Bakeout temperature°C200
Insulator glass
Flange material stainless steel 304

Artikelnummer

BAG050_051_052_053_055 Ordering information
BAG050_051_052_053_055 Ordering information
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