Pirani-Messgeräte

PCG55x

Messgerät für den Bereich von Atmosphärendruck bis mittelhohes Vakuum

Preise und Verfügbarkeit

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Das INFICON Pirani-Kapazitätsmembran-Messgerät (PCG55x) kombiniert die patentierte INFICON Pirani-Technologie mit den Vorteilen eines keramischen Kapazitätsmembransensors in einem einzigen Produkt.

Im Messbereich zwischen 10 mbar und Atmosphärendruck bietet die Kapazitätsmembrantechnologie vom Gastyp unabhängige, höchstpräzise Werte für zuverlässige Druckmessungen. Darüber hinaus bietet das PCG55x eine Vielzahl an Funktionen, mit denen sich die richtige Produktkonfiguration für die gewünschte Anwendung erzielen lässt.

Vorteile

Unabhängig vom Gastyp über 10 mbar – sichere Lüftung mit beliebigen Gasmischungen
Hohe Genauigkeit und Reproduzierbarkeit bei Normaldruck für die zuverlässige Erkennung atmosphärischer Drücke
Gestaltungsfreiheit beim Werkzeugdesign durch vielseitige Montagemöglichkeiten
Mit Wolfram (PCG550)- oder Nickelfilament (PCG552) oder mit vollbeschichtetem (PCG554) Keramiksensor für hochkorrosive Anwendungen erhältlich
Latest EtherCAT protocol Standard ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0
Leicht auswechselbares Plug-and-Play-Sensorelement mit integrierten Kalibrierungsdaten sorgt für hohe Reproduzierbarkeit und niedrige Betriebskosten
Wählbares Ausgangssignal für einfache Integration
Optionaler Normaldruck-Schalter, Display und Digitalschnittstellen erhältlich
Compliance und Standards: CE, EN, UL, SEMI, RoHS

Typische Anwendungen

Schleusensteuerung
Vorvakuum-Druckmessung
Sicherheitsstromkreise in Vakuumsystemen
Allgemeine Vakuummessung und -steuerung im Mittel- und Grobvakuumbereich

Technische Daten

PCG550 Tungsten

PCG552 Nickel

PCG554 ceramic coated

Messbereich	mbar Torr	5×10^-5 … 1500 3.8×10^-5 … 1125

Genauigkeit (N₂)

5×10^-4 … 1×10^-3 mbar (N₂)	% of reading	±50
1×10^-3 … 100 mbar (N₂)	% of reading	±15
100 … 950 mbar	% of reading	±5
950 … 1050 mbar	% of reading	±2.5

Wiederholbarkeit

1×10^-3 … 1100 mbar (N₂)	% of reading	±2


Zulässige Temperatur

Betrieb (Umgebung)	°C	+10 … +50
Lagerung	°C	-20 … +65
Ausheizen am Flansch	°C	≤80
Ausheizen am Flansch, langes Rohr	°C	≤250

Versorgungsspannung	V (dc)	+15 … +30

Sollwert Relais

Anzahl Sollwerte		2
Bereich (N₂)	mbar	5×10^-5 … 1000
Relaiskontakt	Relay contact	n.o., potential free
Hysterese	% of threshold	10
Kontaktbelastung, Halbleiterrelais	V (dc) A (dc)	≤30 ≤0.3
Kontaktbelastung, mechanische Relais	V (dc) A (dc)	≤30 ≤1
Schaltzeit	ms	≤30

Werkstoffe gegen Vakuum		W, Ni, NiFe, Al₂O₃, SnAg, stainless steel, glass

Messbereich	mbar Torr	5×10^-5 … 1500 3.8×10^-5 … 1125

Genauigkeit (N₂)

5×10^-4 … 1×10^-3 mbar (N₂)	% of reading	±50
1×10^-3 … 100 mbar (N₂)	% of reading	±15
100 … 950 mbar	% of reading	±5
950 … 1050 mbar	% of reading	±2.5

Wiederholbarkeit

1×10^-3 … 1100 mbar (N₂)	% of reading	±2


Zulässige Temperatur

Betrieb (Umgebung)	°C	+10 … +50
Lagerung	°C	-20 … +65
Ausheizen am Flansch	°C	≤80
Ausheizen am Flansch, langes Rohr	°C	≤250

Versorgungsspannung	V (dc)	+15 … +30

Sollwert Relais

Anzahl Sollwerte		2
Bereich (N₂)	mbar	5×10^-5 … 1000
Relaiskontakt	Relay contact	n.o., potential free
Hysterese	% of threshold	10
Kontaktbelastung, Halbleiterrelais	V (dc) A (dc)	≤30 ≤0.3
Kontaktbelastung, mechanische Relais	V (dc) A (dc)	≤30 ≤1
Schaltzeit	ms	≤30

Werkstoffe gegen Vakuum		Ni, NiFe, Al₂O₃, SnAg, stainless steel, glass

Messbereich	mbar Torr	5×10^-5 … 1500 3.8×10^-5 … 1125

Genauigkeit (N₂)

5×10^-4 … 1×10^-3 mbar (N₂)	% of reading	±50
1×10^-3 … 100 mbar (N₂)	% of reading	±15
100 … 950 mbar	% of reading	±5
950 … 1050 mbar	% of reading	±2.5

Wiederholbarkeit

1×10^-3 … 1100 mbar (N₂)	% of reading	±2


Zulässige Temperatur

Betrieb (Umgebung)	°C	+10 … +50
Lagerung	°C	-20 … +65
Ausheizen am Flansch	°C	≤80
Ausheizen am Flansch, langes Rohr	°C	≤250

Versorgungsspannung	V (dc)	+15 … +30

Sollwert Relais

Anzahl Sollwerte		2
Bereich (N₂)	mbar	5×10^-5 … 1000
Relaiskontakt	Relay contact	n.o., potential free
Hysterese	% of threshold	10
Kontaktbelastung, Halbleiterrelais	V (dc) A (dc)	≤30 ≤0.3
Kontaktbelastung, mechanische Relais	V (dc) A (dc)	≤30 ≤1
Schaltzeit	ms	≤30

Werkstoffe gegen Vakuum		Al₂O₃, stainless steel

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Vacuum Instrumentation with EtherCAT Broschüre

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PCG55x Pirani Capacitance Diaphragm Gauge

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PCG55x JA

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PCG55x KO

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PCG55x ZH

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PCG55x

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PCG55x DE

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Handbücher

PxG55x PROFIBUS Communication Protocol

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PxG55x DeviceNet Communication Protocol

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PxG55x EtherCat Communication Protocol

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PxG55x EtherCAT, New Generation Communication Protocol

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PxG55x RS232C/RS485C Communication Protocol

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PCG55x Gebrauchsanleitung

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PCG55x Operating Manual

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PxG55x PROFINET Communication Protocol

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Andere

PCG with ATM Switch EtherCAT New Generation ESI V1.3

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PCG EtherCAT New Generation ESI V1.3

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PCG55x PSG55x GSDML V2.43

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EtherCAT ESI file PCG ATM V1_2_1_0

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EtherCAT ESI file PCG V1_2_1_0

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PCG55X-PC19 Int.eds

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PCG55X-PC20 Int.eds

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