Optische Gasanalysatoren
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Optische Gasanalysatoren
Quantus® HP100
Echtzeit-Leckerkennung, Endpunkt-Erkennung und Prozessüberwachung für modernste Halbleiterfertigungsprozesse und andere Gasanalyseanwendungen
Quantus® HP100
- Arbeitsbereich von 1 Torr bis zu 450 Torr
- Überlegene Nachweisgrenze < 1 ppm
- Langfristige Zuverlässigkeit: keine Pumpen erforderlich
- Einfache Installation über einen Standard KF25-Anschluss
Optische Gasanalysatoren
Augent™ OPG550
Hochgeschwindigkeits-Kammerlecktest - Gasanalyse
Augent™ OPG550
- Hochgeschwindigkeits-Lecksuche ermöglicht Kammer-Lecktest
- Steigerung von Produktivität und Ertrag
- Lange Lebensdauer, kein brennbares Filament, Schutz vor Lufteinbrüchen
Optische Gasanalysatoren
Quantus® LP100
Echtzeit-Leckerkennung und Endpunkt-Erkennung für kritische Prozessumgebungen
Quantus® LP100
- Betriebsbereich von 10 mTorr bis 1 Torr
- Ausgezeichnete Nachweisgrenzen bis hinunter zu niedrigen ppm-Werten
- Langfristige Zuverlässigkeit: keine Pumpen erforderlich
- Einfache Installation über einen Standard KF25-Anschluss