HEISS-IONISATIONSMESSGERÄTE

BAG302

Mittlerer bis ultrahoher Vakuumbereich

Pirani-BAG302

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Personal information
Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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Die einfache Bayard-Alpert-Heißionisationsmessröhre BAG402 von INFICON deckt einen breiten Messbereich von 1,3 × 10-9 bis 6,7×10-2 mbar (1 × 10-9 bis 5 × 10-2 Torr) ab. Das kompakte Komplettmessgerät BAG302 bietet einen einfach auszutauschenden Sensor mit zwei Filamenten, ein integriertes OLED-Display, ein Sollwertrelais und einen logarithmisch linearen Analogausgang sowie eine integrierte digitale RS485-Schnittstelle für mehr Flexibilität bei der Integration. 

Diese Merkmale in Verbindung mit dem robusten Design machen das BAG302 zu einem erschwinglichen und reproduzierbaren Messinstrument für Prozess- bis Basisdruck zu einem guten Preis-Leistungs-Verhältnis.

Vorteile

  • Breiter Messbereich von 1,3 × 10-9 bis 6,7×10-2 mbar(1 × 10-9 bis 5 × 10-2 Torr)
  • Zwei standardmäßige langlebige Yttriumoxid-beschichtete Iridiumfilamente
  • Aktives Komplettmessgerät mit integriertem Display, Sollwert, analogen Ausgangssignalen und standardmäßig integrierter RS485-Schnittstelle
  • Helles, digitales OLED-Display mit Tastenfeld zur einfachen Einrichtung, Bedienung und Programmierung
  • Benutzerprogrammierbares Sollwertrelais
  • Benutzerprogrammierbare Einheiten in mbar, Torr oder Pa
  • Vom Benutzer wählbare automatische Anpassung des Emissionsstroms
  • Mechanische Festigkeit und Belastbarkeit
  • Auswahl verschiedener Flanschvarianten
  • Einfach auszutauschendes Fühlerelement
  • Konformität & Standards: CE, RoHS
  • Eins-zu-eins Drop-in-Modul (Austauschmodul) ersetzt Granville-Phillips® 354 Micro-Ion® Modul – identische Steuerfunktionen inklusive Softwarebefehle (RS485) 
    (Granville-Phillips® und Micro-Ion® sind eingetragene Marken von MKS Instruments, Andover, MA)

Typische Anwendungen

  • Druckmessung in Halbleiterprozess- und Transferkammern
  • Industrielle Beschichtung
  • Allgemeine Vakuummessung und Steuerung im niedrigen bis ultrahohen Vakuumbereich

Spezifikationen

Measurement range (air, O2, CO, N2)mbar
Torr
Pa
1.3 x 10-9 ... 6.7 x 10-2
1 x 10-9 ... 5 x 10-2
1.3 x 10-7 ... 6.7
   
Accuracy (N2)  
1.3×10-8 … 6.7 ×10-2 mbar% of reading±15
1×10-8 … 5×10-2 Torr% of reading±15
   
Repeatability% of reading±5
   
Temperature°C+10 … +50
Operation (ambient)°C0 ... +40
Storage°C-40 ... +70
Bakeout at flange (sensor only, electrics removed)°C200
   
Supply voltageV (dc)+20 ... +28
   
Setpoint relay 1 (single-pole double-throw relay (SPDT))
1 A at 30 V (dc) resistive, or V (ac) non-inductive
   
Materials exposed to vacuum Yt2O3, Ir, W, Ta, stainless steel, glass, Ni
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Artikelnummer

BAG302 Ordering information
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