HEISS-IONISATIONSMESSGERÄTE
BAG302
Mittlerer bis ultrahoher Vakuumbereich
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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Die einfache Bayard-Alpert-Heißionisationsmessröhre BAG402 von INFICON deckt einen breiten Messbereich von 1,3 × 10-9 bis 6,7×10-2 mbar (1 × 10-9 bis 5 × 10-2 Torr) ab. Das kompakte Komplettmessgerät BAG302 bietet einen einfach auszutauschenden Sensor mit zwei Filamenten, ein integriertes OLED-Display, ein Sollwertrelais und einen logarithmisch linearen Analogausgang sowie eine integrierte digitale RS485-Schnittstelle für mehr Flexibilität bei der Integration.
Diese Merkmale in Verbindung mit dem robusten Design machen das BAG302 zu einem erschwinglichen und reproduzierbaren Messinstrument für Prozess- bis Basisdruck zu einem guten Preis-Leistungs-Verhältnis.
Vorteile
- Breiter Messbereich von 1,3 × 10-9 bis 6,7×10-2 mbar(1 × 10-9 bis 5 × 10-2 Torr)
- Zwei standardmäßige langlebige Yttriumoxid-beschichtete Iridiumfilamente
- Aktives Komplettmessgerät mit integriertem Display, Sollwert, analogen Ausgangssignalen und standardmäßig integrierter RS485-Schnittstelle
- Helles, digitales OLED-Display mit Tastenfeld zur einfachen Einrichtung, Bedienung und Programmierung
- Benutzerprogrammierbares Sollwertrelais
- Benutzerprogrammierbare Einheiten in mbar, Torr oder Pa
- Vom Benutzer wählbare automatische Anpassung des Emissionsstroms
- Mechanische Festigkeit und Belastbarkeit
- Auswahl verschiedener Flanschvarianten
- Einfach auszutauschendes Fühlerelement
- Konformität & Standards: CE, RoHS
- Eins-zu-eins Drop-in-Modul (Austauschmodul) ersetzt Granville-Phillips® 354 Micro-Ion® Modul – identische Steuerfunktionen inklusive Softwarebefehle (RS485)
(Granville-Phillips® und Micro-Ion® sind eingetragene Marken von MKS Instruments, Andover, MA)
Typische Anwendungen
- Druckmessung in Halbleiterprozess- und Transferkammern
- Industrielle Beschichtung
- Allgemeine Vakuummessung und Steuerung im niedrigen bis ultrahohen Vakuumbereich
Spezifikationen
| Measurement range (air, O2, CO, N2) | mbar Torr Pa | 1.3 x 10-9 ... 6.7 x 10-2 1 x 10-9 ... 5 x 10-2 1.3 x 10-7 ... 6.7 |
| Accuracy (N2) | ||
| 1.3×10-8 … 6.7 ×10-2 mbar | % of reading | ±15 |
| 1×10-8 … 5×10-2 Torr | % of reading | ±15 |
| Repeatability | % of reading | ±5 |
| Temperature | °C | +10 … +50 |
| Operation (ambient) | °C | 0 ... +40 |
| Storage | °C | -40 ... +70 |
| Bakeout at flange (sensor only, electrics removed) | °C | 200 |
| Supply voltage | V (dc) | +20 ... +28 |
| Setpoint relay | 1 (single-pole double-throw relay (SPDT)) 1 A at 30 V (dc) resistive, or V (ac) non-inductive | |
| Materials exposed to vacuum | Yt2O3, Ir, W, Ta, stainless steel, glass, Ni |
Artikelnummer
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Handbücher
3D Step Files
352-050 BAG302-S 9DSub, 1SP, OLED, 16KF.STEP
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352-051 BAG302-S 9DSub. 1SP, OLED, 25KF.STEP
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352-052 BAG302-S 9DSub,OLED,40KF.STEP
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352-053 BAG302-S 9DSub,OLED,16CFR.STEP
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352-054 BAG302-S 9DSub, 1SP, OLED, 40CFR.STEP
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352-055 BAG302-S 9DSub,OLED,3_4 inch Tube.STEP
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352-056 BAG302-S 9DSub, OLED, 8FVCR.STEP
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