Dünnschichtabscheidung
INFICON's Lösungen für die Dünnschichtabscheidung bieten eine präzise Kontrolle über die Erzeugung ultradünner Materialschichten, die für hochpräzise Fertigungsprozesse unerlässlich sind. Unsere Werkzeuge liefern Echtzeit-Feedback und verbessern sowohl die Effizienz als auch die Produktqualität in verschiedenen Branchen.
Setzen Sie die Filter zurück um Ergebnisse zu erhalten.
Der standardmäßige AT-CUT Quarz von 25,4 mm (1 Zoll) Durchmesser wird hauptsächlich in Forschungsanwendungen in Verbindung mit dem INFICON System RQCM (Research Quartz Crystal Microbalance) verwendet.
- Maximierung der Prozessleistung durch Qualität, Zuverlässigkeit und Support
- Verringern Sie das Prozessrisiko mit einer großen Auswahl an Elektrodenmaterialien, die mit Flüssigkeits- und Gasprozessen kompatibel sind.
- Jeder Kristall wird getestet und geprüft, um Qualität und höchste Genauigkeit und Zuverlässigkeit zu gewährleisten
- Erhalten Sie fachkundige und persönliche Unterstützung für Ihre einzigartige Anwendung.
Bringt die Wiederholbarkeit, die Präzision und die Langlebigkeit der Quarzkristallmikrowagenmessung (QCM) zur Atomlagenabscheidung (ALD)
- Betriebstemperatur bis zu 450 °C
- Spülgasleitung verhindert Ablagerung von Abscheidungsmaterial auf der Kristallrückseite
- Angeschweißter Conflat-Flansch (CF40) als Alternative
- O-Klemmringverschraubung als Alternative
Für den Einsatz in kritischen Prozessen, bei denen ein zweiter Kristall in der Vakuumkammer empfehlenswert ist.
- Dualkristalle
- Cool Drawer-Kristallhalter
- Keine internen Kabel
- Kristallverschluss
Ermöglicht eine seitliche Kristallinstallation im Sensor. Dies ist besonders bei Systemen mit nicht genügend Raum für eine Kristallinstallation über Frontbeladung praktisch.
- Keine internen Kabel
- Cool Drawer-Kristallhalter
- Einfache Installation
- Ausheizbar bei Bestellung mit geschweißtem CF40-Flansch
In Kombination mit dem INFICON IC6-Dünnschichtabscheidungs-Controller wechselt der INFICON Crystal 12-Sensor seine Kristalle automatisch, ohne Ihren Prozess zu unterbrechen
- Enthält 12 Kristalle mit zuverlässigem, automatischem Wechsel für maximale Prozessbetriebszeit
- Leicht auszubauendes Karussell ermöglicht den raschen Austausch aller 12 Kristalle
- Stabile Kristalltemperatur durch pneumatisch angetriebenen Kristallwechsel (Einheiten anderer Hersteller verwenden wärmeerzeugende Motoren)
- Leicht abnehmbare vordere Abscheidungsabschirmung schützt die Kristalle und das Karussell vor Materialansammlungen und minimiert so die Notwendigkeit, den gesamten Sensor zur Wartung auszubauen
Von entscheidender Bedeutung für lange Prozesse, die eine kontinuierliche Ratensteuerung erfordern
- Enthält 6 Kristalle mit zuverlässigem, automatischem Wechsel für maximale Prozessbetriebszeit
- Stabile Kristalltemperatur aufgrund des pneumatisch angetriebenen Kristallwechsels (Einheiten anderer Hersteller verwenden wärmeerzeugende Motoren)
- 1/8-Zoll-Wasserkühlschläuche sorgen für thermische Stabilität und gestatten flexible Sensorplatzierung
- Optionaler Kristallverschluss erhältlich
Bietet ein außergewöhnliches Preis-Leistungsverhältnis durch Kombination der bewährten Qualität von INFICON mit einzigartigen Ausführungsmerkmalen, die zur Optimierung Ihres OLED-Prozesses beitragen.
- Die ModeLock-Technologie von INFICON bietet die stabilsten und höchsten Auflösungsraten und Dickenmessungen, selbst bei sehr niedrigen Raten.
- Auto Z verbessert die Dickengenauigkeit, indem das Z-Verhältnis automatisch bestimmt wird, sobald Material abgeschieden wird.
- Ein Cygnus 2 kann gleichzeitig bis zu sechs Quellen steuern, unabhängig voneinander oder in beliebigen Kombinationen, so dass die Verwendung von zwei oder drei Controllern nicht länger erforderlich ist
- Auf dem TFT-LCD-Farbdisplay können Sie Ihren Prozess schnell und einfach verfolgen
Bewährte Zuverlässigkeit und Langlebigkeit und besitzen die beste thermische Stabilität aller kommerziell erhältlichen Sensorköpfe
- Dualkristalle
- Kristallverschluss
- Kristallhalter zur Frontbeladung
- Einfache Installation
Bewährte Zuverlässigkeit und Langlebigkeit und besitzen die beste thermische Stabilität aller verfügbaren Sensorköpfe
- Kristallhalter zur Frontbeladung
- Einfache Installation
- Erhältlich mit 2,54-cm-(1 Zoll)-Bolzendurchführung / CF40-Durchführung
- Justierbare Länge bei Bestellung mit Klemmringverschraubungen
Bieten aufgrund ihrer langen Lebensdauer und ihrer geringen Wartung maximale Verfügbarkeit und minimieren Ihre Produktionskosten
- Minimale Investition mit niedrigsten Anfangskosten
- Niedrigste Gesamtbetriebskosten durch längere Lebensdauer der Sensoren
- Maximaler Durchsatz bei geringerem Wartungsaufwand
- Einfache Installation
Ausführungen mit 2,54 cm (1 Zoll) Bolzen oder CF40 (2,75 Zoll ConFlat®) mit durchgebohrten Rohrverschraubungen erhältlich
- Ausführungen mit 2,54 cm (1 Zoll) Bolzen oder CF40 (2,75 Zoll ConFlat®) erhältlich
- Erhältlich mit durchgebohrten Rohrverschraubungen
Gleichzeitige Abscheidung von bis zu 8 Materialien
- Monitor and control simultaneous deposition of up to 8 materials
- Deposition rates from 0.1 to 10,000 Å/s
- Integrated EIES and QCM thin film process control
- 12 relay outputs and 12 digital inputs
Bietet ein außergewöhnliches Preis-Leistungs-Verhältnis durch die Kombination der besten Leistung, Qualität und Funktionen aller anderen Quarzkristall-Controller
- Die INFICON ModeLock-Technologie sorgt für die stabilste, hochauflösendste Rate und Dickenmessung auf dem Markt, selbst bei sehr niedrigen Raten
- Auto Z verbessert die Dickengenauigkeit durch automatische Bestimmung des Z-Verhältnisses während des Materialauftrags
- Codepositionierung von bis zu sechs Quellen gleichzeitig
Schützen und steigern Sie Ihren Gewinn mit präziser Raten- und Dickenüberwachung
- Die INFICON ModeLock Technologie bietet die längste Lebensdauer der Kristalle und gewährleistet die stabilste, höchstauflösende Rate und Dickenmessung, die es gibt, selbst bei sehr niedrigen Raten
- Maximieren Sie Ihre Ausbeute mit der bestmöglichen QCM-Dickenmessung
Schützen und steigern Sie Ihren Gewinn mit präziser Raten- und Dickenüberwachung
- Die INFICON ModeLock-Technologie sorgt für die längste Lebensdauer der Kristalle und gewährleistet die stabilste, höchstauflösende Rate und Dickenmessung, die es gibt, selbst bei sehr niedrigen Raten.
- Maximieren Sie Ihren Ertrag mit der bestmöglichen QCM-Dickenmessung
- Einkanaliger Raten- und Dickenmonitor ohne unnötige Zusatzfunktionen zur Minimierung der Kosten
Kostengünstige Abscheidungssteuerung auf einer PCI Express-Karte
- PCI Express
- Drei Sensoreingänge, drei Steuerausgänge
- Installieren Sie mehrere Karten in einem PC
- Koabscheidung mehrerer Quellen
Einfache und kostengünstige Lösung bei QCM-Anwendungen, wenn ein Kristall möglicherweise nicht ausreicht.
- Dualkristalle
- Hohes Preis-Leistungsverhältnis
- Niederprofildesign
- Inklusive Kristallverschluss
Vielzahl von Quarzkristallmonitor(QCM)-Sensordurchführungen für unterschiedliche QCM-Sensor- und Kammerkonfigurationen
- Ausführungen mit 2,54-cm-(1 Zoll)-Bolzendurchführung oder CF40-Durchführung (2,75-Zoll-ConFlat®) erhältlich
- Erhältliche Ultra-Torr-O-Ringverschraubungen
- Kundenspezifische Durchführungskonfigurationen erhältlich
- Andere Durchführungsbauarten auf Anfrage erhältlich
Quarzkristalle bieten eine Qualität und Zuverlässigkeit, die sich in Millionen von erfolgreichen Prozessläufen mit einer breiten Spanne an Materialien, Anwendungen und in zahlreichen Branchen bewährt hat.
- Steigern Sie die Rentabilität und maximieren Sie kontinuierliche Prozessabläufe mit erhöhter Produktionszeit
- Minimieren Sie die Kosten für Verbrauchsmaterialien mit Kristallen höchster Qualität, um eine maximale
- Lebensdauer der Kristalle zu gewährleisten
- Optimieren Sie die Bestandsverwaltung mit flexiblen Lieferplänen und vorrätigen Produkten
Für anspruchsvolle Prozesse mit sehr dicken Schichten und mehreren verschiedenen Materialien
- Six crystals
- Position feedback (Controller dependent)
- Adjustable length (with optional flange)
- Rugged design
Hochpräzise sequenzielle oder kodierte Steuerung
- Helles, farbiges LCD-Display - verfügbar in Englisch oder Chinesisch
- Standardmäßig RS-232 und USB (RS-232 und Ethernet optional)
- Einfache Einrichtung und Bedienung mit einem "Quick Setup"-Menü, 6 kontextsensitiven Drucktasten und einem praktischen Parametereinstellknopf
- Windows®-Programm zum Entwickeln, Testen und Herunterladen von Prozessen sowie zum Aufzeichnen von Gerätedaten auf Ihrem PC zur Prozessanalyse und Qualitätskontrolle
Das SQM-160 verwendet bewährte Quarzkristall-Sensortechnik von INFICON, um Raten und Dicke bei Dünnschichtabscheidungsprozessen zu messen.
- Zwei Messkanäle sind Standard, vier weitere sind optional.
- Analoge Ausgänge zur Raten-/Dickenaufzeichnung
- Variante mit hoher Auflösung: 0,03 Hz bei 10 Messungen/s
- RS-232 standardmäßig, USB oder Ethernet optional
Vereint die Einfachheit der USB-Konnektivität mit der Genauigkeit eines Präzisionsmessprogramms
- Kostengünstiges Instrument
- USB-Anschluss
- Interner Oszillator
- Hohe Genauigkeit bei 10 Messungen pro Sekunde
Schützen und steigern Sie Ihren Gewinn mit präziser Raten- und Dickenüberwachung
- Prozessüberwachung in Echtzeit, in situ
- Verhindern Sie Überätzung, identifizieren Sie den Endpunkt der Kammerreinigung
- Identifizieren Sie Fehler in der Ausrüstung oder im Prozess
Der SemiQCM™ SR-Sensor ist eine Komponente eines Systems zur Precursor-Überwachung. Die anderen Komponenten sind ein IMM-200 und FabGuard (Version 19.12.00-a oder höher).
- Prozessüberwachung in Echtzeit, in situ
- Verhindern Sie Überätzung, identifizieren Sie den Endpunkt der Kammerreinigung
- Identifizieren Sie Fehler in der Ausrüstung oder im Prozess
Speziell für den Einsatz in Zerstäubungsverfahren konzipiert
- Sensorgehäuse und Kühlrohre aus vergoldetem Beryllium-Kupfer für maximale Kühlleistung
- Magnet zur Ablenkung freier Elektronen aus dem Monitorkristall
- Einfache Installation mit biegsamen Wasserschläuchen bietet Flexibilität bei der Sensorplatzierung
- Kristalleinsatz durch rückseitige Beladung ermöglicht einfachen Kristallaustausch
Bewährte Zuverlässigkeit und Langlebigkeit und die beste thermische Stabilität aller kommerziell erhältlichen Sensorköpfe
- Hochtemperaturgelötete & geschweißte Bauweise
- Ausheiztemperaturen bis 450 °C
- Kristallverschluss (optional)
- Kristallhalter zur Frontbeladung
Fortschrittliche, erschwingliche Ratensteuerung für Einfach- oder Mehrfachschichten
- Erhältlich in Modellen für Einfach- oder Mehrfachschichten
- Patentierte ModeLock-Technologie verhindert Schichtdickenfehler aufgrund von Modensprüngen
- Unterstützt INFICON Crystal 12®, Crystal Six® und automatische Dualsensor-Kristallumschaltung für maximale Produktivität
- Das XTC/3M-Modell für Mehrfachschichten unterstützt bis zu 99 Prozesse, 999 Ebenen, 32 Schichten, 2 Sensoren und 2 Quellen
Präzisionswerkzeuge für die genaue Abscheidung und Überwachung von Dünnschichten
Die Dünnschichttechnologie spielt eine entscheidende Rolle in Präzisionsfertigungsprozessen, da sie die Abscheidung ultradünner Materialschichten auf einer Vielzahl von Oberflächen ermöglicht. INFICON's Fachwissen im Bereich der Dünnschichtabscheidung bietet hochpräzise Lösungen, die konsistente, zuverlässige Ergebnisse für Branchen gewährleisten, die auf fortschrittliche Beschichtungen angewiesen sind. Eines unserer wichtigsten Werkzeuge in diesen Prozessen ist die Quarzkristallmikrowaage (QCM), die die Abscheidungsraten überwacht und eine präzise Materialschichtung gewährleistet.
Durch den Einsatz der Dünnschicht-Messtechnik von INFICON können Hersteller den Dünnschichtabscheidungsprozess vollständig kontrollieren. Diese Präzisionsmessgeräte sind so konzipiert, dass sie die Genauigkeit und Konsistenz gewährleisten, die in Bereichen wie Halbleiter, Optik und fortschrittliche Materialien von entscheidender Bedeutung ist. Die Integration der QCM-Technologie stellt sicher, dass selbst die empfindlichsten Dünnschichten nach anspruchsvollen Standards aufgetragen werden.
Die Geräte von INFICON verbessern nicht nur die Dünnschichtabscheidung, sondern liefern auch Echtzeit-Feedback, wodurch sich Parameter im laufenden Betrieb leichter anpassen lassen. Dies führt zu einer höheren Effizienz, weniger Ausschuss und einer besseren Produktqualität und festigt unser Engagement für die Weiterentwicklung von Lösungen für die Dünnschichttechnologie.