SemiQCM® CR-Sensoren für die Überwachung von Vorläuferstoffen
Wiederholbar exzellente Leistungen
Schützen und steigern Sie Ihren Gewinn mit präziser Raten- und Dickenüberwachung
Der SemiQCM CR-Sensor ist ein chemisch inerter Sensor, der in einigen der rauesten CVD- oder ALD-Kammern installiert werden kann. SemiQCM CR ist eine Komponente eines Systems zur Precursor-Überwachung. Die anderen Komponenten sind ein IMM-200 und FabGuard (Version 19.12.00-a oder höher).
Semi Process Monitoring kann in Halbleiteranwendungen zur Endpunkterkennung und Fehlerbeseitigung eingesetzt werden, indem die Menge an Precursor in der Vorlaufleitung oder im Kammerauslass überwacht wird. Der Einsatz eines in situ QCM ermöglicht eine kostengünstige Prozessüberwachung und eine verbesserte Rentabilität des Halbleiterprozesses.
Das Versagen der Versorgung eines Wafers mit Precursor kann bereits bei einem einzigen Wafer erkannt werden.
Merkmale
- QCM-Daten werden mit 10 Hz überwacht
- FabGuard korreliert die QCM-Daten mit dem Werkzeugzustand und dem Prozessschritt
- Präzise Messung von Abscheide- oder Ätzraten
- Empfindlichkeit und Präzision für die Messung der Sub-Monolayer-Dicke
Vorteile
- Prozessüberwachung in Echtzeit, in situ
- Verhindern Sie Überätzung, identifizieren Sie den Endpunkt der Kammerreinigung
- Identifizieren Sie Fehler in der Ausrüstung oder im Prozess
Typische Anwendungen
- Halbleiterherstellung
Spezifikationen
| Maximale Temperatur | 200°C |
| Sensor-Kopfgröße (maximales Maß) | 23,9 mm Außendurchmesser × 29,2 mm (0,94 in. × 1,15 in.) |
| Sensorlänge (im Vakuum) | 50–150 mm (1,97–5,91 in.) |
| Montage-Durchführung | ISO KF/CF-Flansch |
| Materialien | |
| Gehäuse und Halter | Aluminium |
| Federn | Beryllium-Nickel |
| Koaxialleitung | 6,4 mm (0,250 in.) Außendurchmesser, Nickel 625 |
| Weitere mechanische Teile | Nickel 200, Aluminium oder Nickel C276 |
| Isolatoren | >96 % Al₂O₃ im Vakuum, Teflon® außerhalb |
| Leitungen | Ni im Vakuum, Ni-beschichtetes Cu außerhalb |
| Lötung | Vakuumprozess-Hochtemperatur-NiCr-Legierung |
| Kristall | 14,0 mm (0,551 in.) Durchmesser |
Verbrauchsmaterial
| Artikelnummer | Beschreibung |
| 750-1090-G10 | SC-cut Sensor-Kristalle, Legierung, Packung mit 10 Stück |
| 750-1137-G5 | SC-cut Sensor-Kristalle, Yttriumoxid (Yttria), Packung mit 5 Stück |
| 750-1138-G5 | SC-cut Sensor-Kristalle, Aluminiumoxid (Alumina), Packung mit 5 Stück |
Ersatzteile
| Artikelnummer | Beschreibung |
| 750-7046-G1S | 14MM CR Kristallhalter Baugruppe Ersatz |
| 750-7074-G1S | 14MM CR Verriegelbarer Kristallhalter Ersatz |
| 750-7075-G1S | 14MM CR Verriegelbares Sensorgehäuse Baugruppe Ersatz |
| 750-7085-G1S | 14MM CR Kristallhalter Baugruppe Ersatz Yttriumoxid (Yttria) |
| 750-7085-G2S | 14MM CR Kristallhalter Baugruppe Ersatz Aluminiumoxid (Alumina) |
| 750-7085-G3S | 14MM CR Kristallhalter Baugruppe Ersatz Legierung |
