1. RSH-600 Drehsensor
Sensoren & Durchführungen

RSH-600 Drehsensor

Hervorragende Kristallleistung in anspruchsvollen Anwendungen

RSH-600-Rotary-Sensor

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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Die drehbaren RSH-600-Sensorköpfe eignen sich für anspruchsvolle Prozesse mit sehr dicken Schichten und mehreren verschiedenen Materialien. Der RSH-600 enthält sechs Kristalle in einem wärmeisolierten, wassergekühlten Gehäuse und bietet eine ausgezeichnete Kristallleistung in Umgebungstemperaturen bis zu 300 °C. Die Kristalle befinden sich in einem leicht entfernbaren Kristallhalter aus Teflon® und Edelstahl.

Merkmale

  • Sechs Kristalle
  • Positionsrückmeldung (Controllerabhängig)
  • Einstellbare Länge (mit optionalem Flansch)
  • Robuste Bauweise

Spezifikationen

Anzahl der Kristalle6
Einbauöffnung50.8 mm (2.0 in.) diameter
Betriebstemperatur (mit Wasserkühlung)300° C max with stainless steel head cover
400° C max with copper head cover
Spezifikationen herunterladen

Zubehör

Zubehör
Verbrauchsmaterialien
Ersatzteile
ArtikelnummerBeschreibung
153202Adjustable Flange, RSH-600
153204Crystal Retainer Assembly, Flat, RSH-600
153204-2Crystal Retainer Assembly,Angled,RSH-600
153731Copper Cover, Flat, RSH-600
153731-2Copper Cover, Angled, RSH-600
153708Stainless Steel Cover, Flat, RSH-600
153713Stainless Steel Cover, Angled, RSH-600
Quarzmonitorkristalle
ArtikelnummerBeschreibung
153706Spring Retainer Assembly, Flat, RSH-600
153707Solenoid Valve, 24 VDC, RSH-600
153709Retainer Screw, RSH-600, Flat Head
153710Crystal Holder, Flat, RSH-600
153714Spring Retainer Assembly, Angled,RSH-600
153715Retainer Screw, RSH-600, Angled Head
153716Crystal Holder, Angled, RSH-600
153722Signal/Ground Contact Module, RSH-600
153724Spring Retainer Contact Kit, RSH-600
153726Spring Contact, RSH-600
889128Position Feedback Cable, RSH-600
889128-27-Pol-Steckbuchse
144-101M3x6 SOC-Kopfschraube für Flachkristallhalter
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